Modell |
MDTS-WT2200 |
Antal tunnande axlar |
2 |
Antal arbetsbänkar |
3, Indexmetod |
Smygspindel |
Antal luftspindlar: 2 Spindelmotor: 7,5kW variabelfrekvensmotor Hastighet: 0~6000rpm, steglöst justerbar Slitagehjulspecificering: Φ203mm Slitagehjulstyp: diamantslagagehjul |
Slitagehjulsförsystem |
Antal: 2 set Metod för styra födosystem: LM-skivrail och bollskruv Kombination Drivmotor: servomotor Minsta födosnabbhet: 0.1um/sec Högsta födosnabbhet: 50mm/sec |
Arbetsbänk |
Antal: 3, Indexläge Spindelmotor: Servomotor Hastighet: 0~300varv/min, stegvis justerbar Adsorptionsmetod: Vacuumsorption |
Arbetsbänksroteringsplatta |
Drivläge: servomotor Rotationsomfång: 0~240° Positioneringsform: sensorstödd positionering |
Automatisk tjocklek Mätningssystem |
Mätmetod: IPG kontakt online realtidsmätning Antal mäthuvuden: 2 Mätsensor: 0,1 µm nivåsensor |
Automatisk laddning/ avladdningssystem |
Ladtyp: 6-8 tum Cassette, 25 lager Metod för automatisk laddning/avladdning: wafermanipulator används för att säkerställa att tunna wafers transporteras utan skada Vaffertjocklek: 150um-1000um |
Arbetsyttas rensningsfunktion |
Rensningsmetod: Oljeplånbearbetning & DI-vatten+luft tvåfasig spölning |
Automatisk rensning/ torkningssystem |
Rensning: DIW-duschrensningsnozzel Torkningsmetod: Blåsning +torkning Hastighet: max 1000rpm stegfritt justerbart |
Statisk eliminationssystem |
Jonstreck Orion ventilator |
Spindelkylare |
Temperatur: 18-22°C Flöde: 4~8L/min |
Kontrollsystem |
Styrsystem: PC-styrsystem, skärmtangentbord 3-färgsalarmlys Kinesisk/Engelsk man-maskininteraktion |
Maximal plattstorlek |
Maximalt kompatibelt med 8 tum |
hastighetsområde |
0~6000 OM/Min |
Z-axelns rörelse |
160mm |
Förbränningshastighet på Z-axeln |
0.1~100um/sec |
Z-axel snabb retraktionshastighet |
50mm/sec |
Upplösning på Z-axeln |
0.1um |
Mätomfång för tjockleksmätning online |
0~1800um |
Upplösning för online-tjockleksmätning |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved