Ge pålitlig RTP-utrustning för sammansatta halvledare, SlC, LED och MEMS
Användning inom industrin
* Temperering av silicidlager * Oxidationsåterflöde * Gallium arsenid process * Andra snabba värmebehandlingar
Specificitet
Testrapport
Sammanfallning av 20-gradskurvor
20 kurvor för temperaturkontroll vid 850 ℃
Sammanfallning av 20 genomsnittliga temperaturkurvor
Temperaturkontroll vid 1250 ℃
RTP-temperaturstyrning Process vid 1000 ℃
Process vid 960 ℃, kontrolleras av infrarött pyrometer
LED-processdata
RTD Wafer är en temperatursensor som använder speciella bearbetningstekniker för att införa temperatursensorer (RTDs) på specifika platser på ytan av en wafer, vilket möjliggör realtidsmätning av ytemperatur på wafvern.
Riktiga temperaturmätningar på specifika platser på wafvern och den totala temperaturfördelningen på wafvern kan erhållas via RTD Wafer; Den kan också användas för kontinuerlig övervakning av tillfälliga temperaturförändringar på wafvern under värmeanteringen.
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Vi har 16 års erfarenhet från utrustningsförsäljning. Vi kan erbjuda er en total lösning för Semiconductor front- och back-end Paketlinjeutrustning från Kina!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
