Vakuum plasma värdenhet(150) |
||
Utrustningens storlek |
L 1100×B 940×H 1755mm |
|
vikt |
600Kg |
|
Begär strömförsörjning |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjer, 25A (total öppen typ över C) |
|
Specifikation för plasmagenerator |
||
kraft |
radiofrekvens |
mellanfrekvens |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
leveransfrekvens |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakuum system |
||
Vakuumpump |
Leap monopol pump VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
vakuumrörledning |
Helt i rostfritt stål, samt höghållfasta vakuumbälgar |
|
materialkvalitet |
alufer |
|
tjocklek |
25mm |
|
åtdragning |
Militärsvetsningstätning |
|
Kavitetens inre mått |
500*500*600mm (Bredd* hög * djup) |
|
Elektrisk platta effektiv storlek |
372(W) X 451(D)mm |
|
Tillgängligt utrymmesavstånd |
24mm |
|
Elektroplåtarrangemang |
Horisontell elektrodplatta |
|
brickor |
Standardset, material valfritt (aluminium, ståltrådsnät) |
|
arbetsplats |
8 skikt |
|
Processgas |
||
Flödesområde |
0~300SCCM |
|
Processgasväg |
Standard med två sätt, kan anpassas. Processgasledningen är gjord av ferroflon |
|
Styrsystem |
||
SC |
PC-kontroll |
|
interaktivt läge |
Windows-gränssnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade