Vakuumplasmavärd(200) |
||
Utrustningens storlek |
1050×1700×1050mm (bredd, höjd och djup) |
|
vikt |
800Kg |
|
kräva kraft |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Specifikationer för plasmageneratorer |
||
nätström |
radiofrekvens |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Effektfrekvens |
13.56MHz |
40 KHz |
Vakuum system |
||
Vakuumpump |
Feiyue unipolär pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|
vakuumledning |
Alla rostfria rör och höghållfasta vakuumbälgar |
|
Materialet |
aluminiumlegering |
|
tjocklek |
25mm |
|
åtdragning |
Militärsvetsad tätning |
|
Kavitets inre mått |
600×600×600 mm(B×H×D) |
|
Effektiv storlek på elektrodplattan |
472 X 451 mm (B×D) |
|
utrymme tillgängligt |
35mm |
|
Elektrodplatta layout |
Horisontell elektrodplatta |
|
arbetsbricka |
En uppsättning är standard, och materialet är valfritt (aluminium, stålnät) |
|
Arbetsyta |
8 golv |
|
Processgas |
||
Flödesområde |
0~300SCCM |
|
Processgaskrets |
Utrustad med O2, Ar, N2 trevägsgas |
|
Styrsystem |
||
systemkontroll |
PC-kontroll |
|
interaktivt läge |
Windows -gränssnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade