Vakuumplasmavärd (200) |
||||
Utrustningsstorlek |
1050×1700×1050mm (bredd, höjd och djup) |
|||
vikt |
800 kg |
|||
krävd effekt |
AC380V, 50/60Hz, 5 ledare, 30A |
|||
Plasmageneratorns specifikationer |
||||
nätström |
radarfrekvens |
IF |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Nätfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
||
Vakuumsystem |
||||
vakuumpump |
Feiyue enkla pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|||
vacuumledning |
Alla rostfria stålrör och högkvalitativa vakuum bellows |
|||
material |
Aluminiumlegering |
|||
tjocklek |
25 mm |
|||
tätning |
Militär nivå värmsluten tätning |
|||
Hålrummets inre dimensioner |
600×600×600mm (B×H×D) |
|||
Effektiv storlek på elektrodblad |
472 X 451mm (B×D) |
|||
tillgängligt utrymme |
35 mm |
|||
Lay-out för elektrodplatta |
Horisontell elektrodpalt |
|||
arbetslåda |
En uppsättning är standard, och materialet är valfritt (aluminium, stålmasa) |
|||
Arbetsplats |
8 våningar |
|||
Processgas |
||||
Flödesområde |
0~300SCCM |
|||
Cirkulation för processgas |
Utstyrd med O2, Ar, N2 trevägs gas |
|||
Kontrollsystem |
||||
systemkontroll |
PC-kontroll |
|||
interaktivt läge |
Windows-gränssnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved