MDHS-AL8 8" Fullständigt automatisk enkel-sidig litografi maskin , China MDHS-AL8 8" Fullständigt automatisk enkel-sidig litografi maskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

MDHS-AL8 8" Fullständigt automatisk enkel-sidig litografi maskin

1. Arbetsläge: Laddningsroboten laddar automatiskt skivor från A-B (återanvändbar) skivlåda till förhandspositionering

arbetsbänk, och genom justeringen av kamerans positionssystem för wafern och automatisk rotationsanordning åstadkommes förpositioneringen av wafern; Laddningsroboten laddar sedan de förpositionerade wafernarna på justeringsbänken. Genom datorbaserad bildigenkänning och justering av det automatiserade justeringsystemet kan den automatiserade justeringen av grafiken på masken och wafernarna åstadkommas. Det är också möjligt att utföra en exponering utan att justera grafiken. Efter automatisk exponering av överexponeringssystemet placerar utladdningsroboten automatiskt wafernarna i C-D (återanvändbar) waferlåda.
2. Exponeringsområde: 160 × 160mm;
3. Ojämna exponeringsljusstyrka: ≤ 3%;
4. Exponeringsintensitet: 0~≥ 40mw/cm2 justerbar (strålningsvinkel 2 °);
5. UV-strålningsvinkel: ≤ 3 °;
6. Centervåglängd för ultraviolett ljus: 365nm;
7. Livslängd för UV-ljuskälla: ≥ 20000 timmar;
8. Separationskapacitet: 0~≥ 1000um justerbar;
9. Justeringsnoggrannhet: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Exponeringsnoggrannhet: Kontaktexponering ± 1 μm. Nära exponering med avstånd på 20 μm, strålningsvinkel 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Exponeringsmetoder: hård kontakt, mjuk kontakt och närkontaktsexponering;
12. Exponeringsläge: Du kan välja mellan enstaka exponering eller offset-exponering
13. Förhandspositioneringsbildigenkänning och automatiserat rotationsystem (inklusive förhandspositioneringsarbetsbänk): rotationsvinkel Q ≥ ± 180 °, rotationsnoggrannhet Q ≤ 0,01 °;
14. Bildigenkänning och automatiserat justeringssystem (inklusive UVW-justeringsarbetsbänk): justeringsomfattning X Y ≥ ± 5mm, rotationsvinkel Q ≥ ± 3 °, och de två mikroskoplinserna kontrolleras av två XYZ-elplatformer.
15. Maskstorlek: 5 "× 5" och 7" × 7 ";
16. Waferstorlek: 4 "och 6";
17. Övre och undre filmboxarbetsstationer: dubbel arbetsstation;
18. Fotkuddens luftkavaj
19. Laddnings- och avlastningsdubbelarmsrobotarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Antal plattor i plattlådan: bestäms utifrån antalet plattor i kundens plattlåda;
21. Upphöjning av positioneringstabellen: Z ≥ ± 25mm;
22. Exponeringstid: justerbar från 0 till 999,9 sekunder;
23. Produktionsrytm: >120 stycken per timme;
24. Strömförsörjning: enfasig AC220V 50Hz, energiförbrukning ≤ 3KW;
25. Rent lufttryck: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumgrad: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Storlek: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Vikt: Cirka 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Denna maskin består av en LED-ultraviolett exponeringshuvud, ett bildigenkännande och automatiserat rotationsystem, en förhandspositionerad arbetsbänk och ett bildlikt igenkännande och automatiserat justeringsystem, justeringsarbetsbänkar, laddningsrobotar, avladdningsrobotar, hyllor och elektrisk kontroll Bestående av utrustning, reservdelar mm.

Specificitet

1. Exponeringshuvud: Ett LED-ultraviolett exponeringshuvud (365nm);
2. Bildigenkänning och förhandsjusteringsarbetsbänk:
1) 1 kamera (1,3 miljoner pixlar)
2) Centralpositionerande fäste
3) 1 styck rotationsplattform (använder servomotor)
4) 1 styck positioneringssystem
3. Bildigenkänning och automatiserat justeringssystem:
1) 2 kameror (5-miljon-pixel hög bildfrekvens)
2) 2 linser (4x högupplösningslins)
3) En industriell dator
4) En kontroller (styrd av PLC)
5) En uppsättning av justeringsplattform (använder 5-fas stegmotor)
6) En uppsättning av rörelsesystem
7) Topplåddevicen använder en motor för att höja och sänka
7) Programvaran använder den senaste versionen av LabVIEW Professional Edition
4. Laddning och avladdning mekanisk arm:
1) X Y. En Z automatiskt rörlig mekanism
2) Dubbelarmad robotarm (laddnings- och avladdningsarmar)
5. Waferlåda fixeringsmekanism:
1) AB är den fast positioneringen av filmboxen vid matning
2) CD är den fasta positioneringen av skärningsfilmboksen
3) G är den fasta positioneringen av NG-positionsfilmboksen
6. Kamerafasta plattform:
7. Två satser Y.Z elektriska justeringsmekanismer (styrs av servomotorer)
8. Taktpjäs och elektrokontrollkonsol:
1) 1 industriell dator
2) En sats PLC;
3) En sats elektromagnetvärden och styssystem
4) En sats digitala pneumatiska instrument
5) En sats kontrollkonsol
8. Reservdelar:
1) Tracheal: 15 meter
2) 2 solenoidvärden
3) Vakuumpump: 1 enhet
9. Tekniska data:
1) En användarhandledning
2) Ett godkännandecertifikat
10. Ytterligare
Programvaran för utrustningen måste vara utrustad med SECS-kommunikationsprotokoll, och köparen tillhandahåller en dynamisk bibliotek med funktionen att koppla upp mot köparens MES-system, automatiskt registrera produktbatchnummer, jobbnummer och driftstillstånd samt ladda upp dem. Samtidigt har den funktionen att identifiera QR-koden på maskplattan, jämföra den med QR-koden för maskplattan i MES-systemet och förhindra att fel maskplatta tas.

Förpackning & Leverans