MDXN-25D Mask aligner , Kina MDXN-25D Mask aligner Tillverkare, leverantörer, fabrik

Produktbeskrivning

Denna utrustning är en precisionslitografimaskin utvecklad av vårt företag speciellt för användningsegenskaper hos litografimaskiner i olika högskolor och forskningsinstitutioner. Den används huvudsakligen för utveckling och produktion av små och medelstora integrerade kretsar, halvledarkomponenter, optoelektroniska enheter, och anordningar för akustiska ytvågor.
Med förutsättningen att utrustningens ursprungliga huvudsakliga tekniska indikatorer bibehålls, har vi optimerat vissa strukturer och komponenter i utrustningen, minskat några onödiga mekaniska åtgärder och sett till att utrustningens felpunkter minimeras så mycket som möjligt och driften. av utrustningen är också mycket stabil och pålitlig.

Specifikation

Huvudsakliga tekniska parametrar

1.Exponeringstyp: enkelsidig.
2.Exponeringsområde:110×110mm.
3.Ojämn exponeringsbelysning: ≤±3%.
4.Exponeringsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar.
5.UV-strålvinkel: ≤3°.
6. Central våglängd för ultraviolett ljus: 365 nm.
7.UV-ljuskällans livslängd: ≥500 timmar.
8.Anta elektronisk slutare.
9.Exponeringsupplösning:1 μm;
10. Mikroskopiskt skanningsområde: X:±15mm Y:±15mm;
11. Inriktningsområde: X,Y-justering±4mm;Q-riktningsjustering±3°;
12. Graveringsnoggrannhet: 1 μ Noggrannheten för användarens "version" och "chip" måste överensstämma med nationella bestämmelser,
och miljö, temperatur, luftfuktighet och damm kan kontrolleras strikt. Importerad positiv fotoresist används, och tjockleken på den enhetliga fotoresisten kan b.e strikt kontrollerad. Dessutom är de främre och bakre processerna avancerade;
13.Separationsmängd;0~50 μm justerbar;
14. Exponeringsmetod: nära exponering, vilket kan uppnå hård kontakt, mjuk kontakt och kontaktexponering med mikrokraft; 15. Kvadratisk hitta formel: luft

Förpackning och leverans

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet av försäljning av utrustning. Vi kan förse dig med One-stop Semiconductor Front-end och Back end Package Lines professionell lösning från Kina.