MDXN-25D4 Högprecisionsmaskjusterare , China MDXN-25D4 Högprecisionsmaskjusterare Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

Denna utrustning används huvudsakligen för utveckling och produktion av små och medelstora integrerade kretsar, halvledarkomponenter och ytorrörelseenheter. På grund av den avancerade nivelleringssystemet och låg nivelleringsspänning är denna maskin inte bara lämplig för exponering av olika typer av substrat, utan också för exponering av lättbräckliga substrat som kaliumarsenid och fosfatstål, samt exponering av icke-cirkulära och små substrat.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Specificitet

Huvudsakliga tekniska parametrar

1. Exponeringstyp: enkel sids exponering
2. Exponeringsområde: 110X110mm;
3. Exponeringsjämnhet: ≥ 97%;
4. Exponeringsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar;
5. UV-strålningsvinkel: ≤ 3 °
6. Centralvåglängd för ultraviolett ljus: 365nm;
7. UV-ljuskällans livslängd: ≥ 20000 timmar;(2 års garantitid)
8. Använder elektronisk skottapparat;
9. Exponeringsupplösning: 1 μ M
10. Kameravyns omfattning: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Justeringsomfattning: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Justeringsnoggrannhet: 1um (under god miljöförhållanden).
13. Separationsavståndsomfattning: 0-50um justerbar.
14. Exponeringsmetod: kontaktexponering.(hård/mjuk/mikro beröring)
15. Balansmetod: Luftflytande.
16. Mikroskopiskt system: dubbel synfält CCD-system, objektivlins 1.6X~10X, datorbaserat bildbehandlingsystem, 19 "LCD-skärm; Total förstoring 91-570x. avstånd till objektiv: 50-120mm.
17. Maskstorlek: 127*127mm;102*102mm
18. Substratstorlek: Φ102mm;Φ76mm
19. Substrat tjocklek: ≤1mm
20. Exponeriding: 0-999.9 sekunder justerbar.
21.Kraft: 220V 50Hz 1,5kw.
22.luftkälla? 0,4Mpa
23. Vakuumgrad: -0.07MPa~-0.09Mpa

Förpackning & Leverans

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet av utrustningsförsäljning. Vi kan erbjuda en total lösning för professionella semikonduktorequipageringslinjer från Kinas framsidan och bakslut.