MDXN-25X högprecision ensidig litografimaskin, Kina MDXN-25X högprecision enkelsidig litografimaskin, tillverkare, leverantörer, fabrik

Produktbeskrivning

Denna utrustning är en precisionslitografimaskin utvecklad av vårt företag speciellt för användningsegenskaperna hos litografimaskiner i olika högskolor och forskningsinstitutioner. Det används huvudsakligen för utveckling och produktion av små och medelstora integrerade kretsar, halvledarkomponenter, optoelektroniska enheter och akustiska ytvågsenheter.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine Factory

Specifikation

Huvudsakliga tekniska parametrar

1. Enheten kan vakuumadsorbera en 5 "X5" fyrkantig mask, utan några speciella krav på plattans tjocklek (från 1 till 3 mm).
2. Enheten kan appliceras på ф 100 mm cirkulärt substrat;
3. Substrattjocklek ≤ 5 mm;
4. Ljussättning:
Ljuskälla: GCQ350Z ultrahögtrycks kvicksilverlikström kvicksilverlampa används.
Ljusintervall: ≤ ф 117 mm Exponeringsområde: ф 100 mm
stanna ф Inom ett område av 100 mm är exponeringens ojämnhet ≤ ± 3 %, och exponeringsintensiteten är >6mw/cm2 (denna indikator mäts med en UV-ljuskälla I-line 365nm).
5. Denna enhet använder ett importerat tidsrelä för att styra den pneumatiska slutaren, vilket säkerställer exakt och tillförlitlig drift.
6. Denna maskin är en kontaktexponeringsmaskin som kan uppnå:
7. Hård kontaktexponering: Använd rörledningsvakuum för att erhålla högvakuumkontakt, vakuum ≤ -0.05 MPa
8. Mjuk kontaktexponering: Kontakttrycket kan höja vakuumet till mellan -0.02 MPa och -0.05 MPa.
9. Mikrokontaktexponering: mindre än mjuk kontakt, vakuum ≥ -0.02 MPa.
10. Exponeringsupplösning: Upplösningen för hård kontakt med denna enhet kan nå 1 μ över m (noggrannheten på användarens "platta" och "chip" måste överensstämma med nationella bestämmelser, och miljö, temperatur, fuktighet och damm kan vara strikt kontrollerad importerad positiv fotoresist, och tjockleken på den enhetliga fotoresisten kan kontrolleras strikt.
11. Inriktning: Observationssystemet består av två CCD-kameror monterade på två enkelrörsmikroskop och anslutna till bildskärmen via en videokabel.

Förpackning och leverans

Leverantör av MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Maskindetaljer

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet av försäljning av utrustning. Vi kan förse dig med One-stop Semiconductor Front-end och Back end Package Lines professionell lösning från Kina.