MDXN-25X Hög Precision Ensidig Litografi Maskin , China MDXN-25X Hög Precision Ensidig Litografi Maskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

Denna utrustning är en precisionslitografmaskin som utvecklats av vårt företag specifikt för användningskaraktären hos litografmaskiner i olika högskolor och forskningsinstitutioner. Den används huvudsakligen för utveckling och produktion av små och medelstora integrerade kretsar, halvledarkomponenter, optoelektroniska enheter och ytorrörliga vårenheter.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specificitet

Huvudsakliga tekniska parametrar

1. Enheter kan suga upp en 5 "X5" kvadratisk mask, utan speciella krav på plattjockleken (rangerar från 1 till 3mm).
2. Enheten kan användas på en cirkulär substraat med diameter ф 100mm;
3. Substraattjocklek ≤ 5mm;
4. Belysning:
Ljuskälla: GCQ350Z ultra-högtryckskväve direktströmshg-lampa används.
Belysningsområde: ≤ ф 117mm Exponeringsområde: ф 100mm
inom ett område av ф 100mm är exponeringens ojämnahet ≤ ± 3%, och exponeringsintensiteten är >6mw/cm2 (denna indikator mäts med en UV-ljuskälla I-linje 365nm).
5. Denna enhet använder en importerad tidrelé för att styra den pneumatiska skymningsluckan, vilket säkerställer noggrann och pålitlig drift.
6. Denna maskin är en kontaktexponeringsmaskin som kan uppnå:
7. Hård kontaktexponering: Använd pipelinevacuum för att få hög vacuumkontakt, vacuum ≤ -0,05MPa
8. mjuk kontaktexponering: kontaktrycket kan höja vakuumet till mellan -0,02MPa och -0,05MPa.
9. mikrokontaktexponering: mindre än mjuk kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. exponeringsupplösning: upplösningen av hårdkontaktexponeringen för detta enhet kan nå 1 μm eller mer (användarens "platta" och "chip" måste följa nationella regler, och miljö, temperatur, fuktighet och damm kan strängt kontrolleras. Importerad positiv fototacksamhet används, och tjockleken på den likformiga fototacksamheten kan strängt kontrolleras. Dessutom är de första och senare processerna avancerade).
11. justering: observasjonssystemet består av två CCD-kameror monterade på två enkla mikroskoprörrör och anslutna till skärmen via en videokabel.

Förpackning & Leverans

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet av utrustningsförsäljning. Vi kan erbjuda en total lösning för professionella semikonduktorequipageringslinjer från Kinas framsidan och bakslut.