1. Energi som krävs för utrustning: Huvudströmförsörjning: 220V, 50HZ, energiförbrukning ≤1.5KW;
2. Utstyrd med en vakuumpump med strömförsörjning på 220V;
3. Storlek och vikt: Storlek: 1200 (längd) × 720 (bredd) × 1500 (höjd). Vikt ≤170kg;
4. Placera maskinkroppen på en dedikerad arbetsbänk;
5. Exponeringstyp: kontakttyp, plattjustering, dubbelväggad exponering;
6. Exponeringsområde: φ100mm;
7. Ojämna exponeringar: ≤±3%;
8. Exponeringsintensitet: ≥5mw/cm2;
9. Exponeringsupplösning: 2μm;
10. Expositionsläge: Dubbel-sided samtidig exponering;
11. Justeringsområde: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Graveringsnoggrannhet: 2μm;
13. Rotationsomfattning: Q-riktning rotationsjustering ≤±5°;
14. Mikroskopssystem: dubbel synfält CCD-system, objektivlinse 1.6X~10X, datorbaserat bildbehandlingsystem, 19"LCD-skärm;
15. Maskstorlek: Kan utföra vakuumadsorption