1. Energi som krävs för utrustning: Stordatorströmförsörjning: 220V, 50HZ, strömförbrukning≤1.5KW;
2. Utrustad med en vakuumpump med en strömförsörjning på 220V;
3.Storlek och vikt: Storlek:1200(längd)×720(bredd)×1500(hög). Vikt ≤170 kg;
4. Placera maskinkroppen på en särskild arbetsbänk;
5. Exponeringstyp: kontakttyp, plåtinriktning, dubbelsidig exponering;
6.Exponeringsområde:φ100mm;
7.Ojämn exponering: ≤±3%;
8.Exponeringsintensitet: ≥5mw/cm2;
9.Exponeringsupplösning: 2μm;
10.Exponeringsläge: Dubbelsidig samtidig exponering;
11. Inriktningsområde: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Gravyrnoggrannhet: 2μm;
13.Rotationsintervall: Q-riktnings rotationsjustering ≤±5°;
14.Mikroskopiskt system: CCD-system med dubbla synfält, objektiv 1.6X~10X, datorbildbehandlingssystem, 19" LCD-skärm;
15. Maskstorlek: Kan absorberas i vakuum