Ny generation av plasmarengöringsmaskin för plasmarengöring för mikrovågsmaskiner Semiconductor Packaging Solution Utrustning , Kina Ny generation Microwave plasmarenare plasmarengöringsmaskin Semiconductor Packaging Solution Utrustning Tillverkare, leverantörer, Fabrik

Produktbeskrivning

Plasmarengörare för mikrovågsugn

SPV-100MWR är ett plasmarengöringssystem för lågspänningsmikrovågor för halvledare. Genom att applicera mikrovågsugn med frekvensen 2.45 GHz på fönstret på väggen i vakuumkaviteten genereras ett stort antal kontinuerligt plasma och chipet rengörs genom att gå in i hålrummet.

Ny generation mikrovågsplasma renare plasmarengöringsmaskin Semiconductor Förpackningslösning utrustning tillverkning

Ny generation av mikrovågsplasma renare plasmarengöringsmaskin Semiconductor Packaging utrustningsleverantör

Tillämpningar

Ny generation mikrovågsplasma renare plasmarengöringsmaskin Semiconductor Packaging utrustning fabrik

Specifikation

Vakuumplasmavärd
Utrustningens storlek	1230X1800X1100mm (bredd x höjd x djup)
Vikt	450kg
effektbehov	AC380V, 50/60Hz, 5-ledare, 30A
Specifikationer för plasmageneratorer
Strömförsörjning för mikrovågsugn	Effekt	0 ~ 1250W
		Frekvens	2.45GHz
Vakuum system
Material	Aluminiumlegering (anpassningsbar kammare i rostfritt stål)
Tjocklek	25mm
Kavitetens inre mått	480mmX470mmX480mm
arbetsytor	6 magasinsavdelningar
ECR	Slotted Magazine ger ECR-förstärkt bearbetningseffekt
Plasma kapacitet
Bearbetningsförmåga	35um Pitch 40μm Bump 15X15mm Maximal formstorlek