vara |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Produktstorlek |
≤6 tum |
≤8 tum |
≤8 tum |
||
RF-effektkälla |
0-300W/500W/1000W Justerbart, automatisk matchning |
||||
Molekylpump |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Antiseptisk620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Forelinepump |
Maskinpump\/torkpump |
Torrpump |
|||
Processtryck |
Obekämpad tryck\/0-1Torr reglerat tryck |
||||
Gastyp |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Anpassad (Upp till 9 kanaler, inga korrosiva & giftiga gaser) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Upp till 9 kanaler) |
|||
Gasområde |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/anpassad |
||||
LoadLock |
Ja/Nej |
ja |
|||
Provtemperaturkontroll |
10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Anpassad |
-30°C~100°C/Anpassad |
|||
Bakheliumkylning |
Ja/Nej |
ja |
|||
Bearbetningshållvattlining |
Ja/Nej |
ja |
|||
Hållväggstemperaturkontroll |
Nej/Rumstemperatur~60/120°C |
Rumstemperatur-60/120°C |
|||
Kontrollsystem |
Auto/anpassad |
||||
Graveringsmaterial |
Silikongbaserat: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiska material/lägermaterial Metallmaterial: Ni/Cr/Al/Au. Organiskt material: PR/PMMA/HDMS/Organiskt lager. |
Silikongbaserat: Si/SiO2/SiNx. III-V (not 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (not 3): CdTe. Magnetiska material/lägermaterial Metallmaterial: Ni/Cr/A1/Au. Organisk material: PR/PMMA/HDMS /organisk film. |
Lämplig för mikrovågsenheter, kraftkomponenter etc.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) maskinen är en modern teknik som kan rista och analysera olika typer av material med fantastisk noggrannhet. Denna maskin är utformad för användning i olika branscher där mikrofabrikation eller ristning krävs regelbundet. Den är tillverkad av högkvalitativa material som gör den hållbar, pålitlig och kapabel att producera utmärkta resultat.
Utrustad med en RF-plasmagenerator är effektiv. RIE-systemet använder en induktiv koppling för att skapa plasma från füttningsgasen. Denna teknik skapar ett högdensitet plasma som ökar ristningshastigheten för produkten. Ristningsprocessen hos RIE-maskinen är effektiv, noggrann och mycket kontrollerbar, vilket möjliggör en specifik djupgrad att uppnå. Denna funktion gör den till en utmärkt val för forskning eller industriarbete.
Maskinen har ett brett tillämpningsområde, inklusive mikroelektronik, MEMS-fabrikation och halvledarfabrikation. Denna maskin spelar en viktig roll vid etchning och mikromekanik av halvledarmaterial som silicium, galliumarsenid och germanium inom halvledarindustrin. Minder-High-tech RIE-enheten har också etablerats inom MEMS-industrin för att fabrikera mjuka och hårda material som polyimid, silikadioxid och silikatnitrid. Dessutom är den tillgänglig för felanalys inom industrier som är relaterade till elektroniska produkter och tjänster.
Innehåller funktioner som på olika sätt gör det enkelt att använda. Det är en mjukvara som är användarvänlig och ger operatören fullständig kontroll över de gravéringsparametrar som används i enheten. Maskinställningarna sparas till dess interna minne, vilket kan lagra mer än 100 uppsättningar av inställningar. Den har också en beröringskänslig skärm som låter operatören ange parametrar som gasflöde, effektintensitet och tryck. Minder-High-tech RIE-maskinen har även en temperaturkontrollfunktion som säkerställer att materialen graveras vid rätt temperatur och förhindrar skador på dem.
Perfekt för företag som behöver en pålitlig och effektiv maskin som kan ge exakta och precisa resultat. Denna enhet har designats med toppklass teknik och ett mycket högt nivå. Dess mångsidighet och användarvänliga funktioner gör det till en mycket bra val för forsknings- och industritanter inom olika sektorer.
Den har också ett effektivt felanalysystem som möjliggör för maskinen att upptäcka och korrigera alla mekaniska problem så snabbt som möjligt. Detta system säkerställer att RIE-maskinen behåller hög kvalitet och pålitlighet under hela sin livscykel. För vilken industri som helst som kräver precist och effektivt etchning eller mikrofabrikation är Minder-High-tech RIE-maskinen den perfekta lösningen.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved