Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hem
Om Oss
MH Utrustning
Lösning
Utomeuropeiska användare
Video
Kundservice
Hem> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys
  • Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys

Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalys Sverige

Produktbeskrivning 
Reaktivt jonetsningssystem
Reaktivt jonetsningssystem RIE maskin RIE Leverantör av felanalys
Ansökan
Passiveringsskikt: SiO2, SiNx
Bakre kisel
Limskikt: TaN
Genomgående hål: W
Leverans
1. Etsning av passiveringsskikt med eller utan hål;  
2. Etsning av limskikt;  
3. Bakre silikonetsning
Specifikation
Projektkonfiguration och maskinstrukturdiagram
Artikel
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Produktstorlek
≤6 tum
≤8 tum
≤8 tum


RF-strömkälla
0-300W/500W/1000W Justerbar, automatisk matchning


Molekylär pump
-/620(L/s)/1300(L/s)/Anpassad

Antiseptisk 620(L/s)/1300(L/s)/Anpassad

Foreline pump
Mekanisk pump/torrpump

Torr pump

Processtryck
Okontrollerat tryck/0-1Torr kontrollerat tryck


Gasstyp
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Anpassad
(Upp till 9 kanaler, ingen frätande och giftig gas) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Gasspis
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Ja Nej

Ja

Exempel på temperaturkontroll
10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Anpassad

-30°C~100°C /Anpassad

Bakre heliumkylning
Ja Nej

Ja

Processkavitetsfoder
Ja Nej

Ja

Kavitetsväggs temperaturkontroll
Nej/Rumsnamn~60/120°C

Rumstemperatur-60/120°C

Styrsystem
Auto/anpassad


Etsningsmaterial
Kiselbaserad: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Magnetiska material/legeringsmaterial
Metalliskt material: Ni/Cr/Al/Au. 
Organiskt material: PR/PMMA/HDMS/Ekologisk film. 

Kiselbaserad: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Magnetiska material/legeringsmaterial
Metalliskt material: Ni/Cr/A1/Au. 
Organiskt material: PR/PMMA/HDMS /organisk film. 

1. Förhindra att chips flyger
2. Minsta nod som kan bearbetas: 14nm:
3. SiO2/SiNx etsningshastighet: 50~150 nm/min;
4. Etsad ytråhet:5. Stöd passiveringsskikt, vidhäftningsskikt och bakre silikonetsning;
6. Urvalsförhållande av Cu/Al:>50
7. Allt-i-ett-maskin LxBxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Stöd körning med ett klick
Processresultat

Silikonbaserad materialetsning

Silikonbaserade material, nano-imprintmönster, array
mönster och linsmönsteretsning
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysfabrik

InP normaltemperaturetsning

Mönsteretsning av InP-baserade enheter som används i optisk kommunikation, inklusive vågledarstruktur, resonantkavitetsstruktur.
Reaktivt jonetsningssystem RIE maskin RIE Leverantör av felanalys

SiC-materialetsning

Lämplig för mikrovågsenheter, kraftenheter, etc.


Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysdetaljer

Fysisk sputtering, etsning Organisk material tching

Det används för etsning av svåretsade material som vissa metaller (som Ni/Cr) och keramik, och
mönstrad stickning.
Den används för etsning och borttagning av organiska föreningar som fotoresist (PR)/PMMA/HDMS/polymer
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysfabrik
Visning av felanalysresultat
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Tillverkning av felanalys
Produktinformation 
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysdetaljer
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Tillverkning av felanalys
Reaktivt jonetsningssystem RIE maskin RIE Leverantör av felanalys
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysfabrik
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Tillverkning av felanalys
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysfabrik
Förpackning och leverans 
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysfabrik
Reaktivt jonetsningssystem RIE-maskin RIE Felanalysdetaljer
lödningsmaskin
Företagsprofil

Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE)-maskinen är en toppmodern teknik som kan etsa och analysera olika typer av material med otrolig precision. Denna maskin är designad för användning i olika industrier där mikrotillverkning eller etsning krävs regelbundet. Den är tillverkad av högkvalitativa material som gör den hållbar, pålitlig och kan ge utmärkta resultat. 

 

Utrustad med en RF plasmagenerator är effektiv. RIE-systemet använder en koppling som är induktiv för att komma upp med plasma från matarbensinen. Denna teknik skapar en plasma med hög densitet som ökar etsningshastigheten i samband med produkten. Etsningsprocessen för RIE-maskinen är effektiv, exakt och mycket kontrollerbar, vilket möjliggör ett djup som är specifikt för att uppnås. Denna funktion är unik och är ett utmärkt val för forskning eller industriarbeten. 

 

Maskinen har ett brett utbud av, inklusive mikroelektronik, MEMS-tillverkning och halvledartillverkning. Denna maskin spelar en viktig roll vid etsning och mikrobearbetning av halvledarmaterial som kisel, galliumarsenid och germanium i halvledarindustrin. Minder-High-tech RIE-enheten har dessutom etablerats i MEMS-industrin för tillverkning av mjuka och material som är hårda som polyimid, kiseldioxid och kiselnitrid. Dessutom är den tillgänglig för felanalys i branscher som är associerade med tjänster och produkter som är elektroniska. 

 

Innehåller funktioner som är olika gör det enkelt att använda. Det är en mjukvara som är användarvänlig och ger operatören fullständig kontroll över de etsningsparametrar som används i enheten. Maskininställningarna sparas i dess minne är internt den kan lagra över 100 uppsättningar inställningar. En pekskärm har en skärm som låter operatören ställa in parametrar som gasrörelse, krafttjocklek och tryck. Minder-High-tech RIE-maskinen har också en temperaturkontrollfunktion som säkerställer att materialen etsas vid rätt temperatur och stoppar skador på dem. 

 

Perfekt för företag som kräver en pålitlig och effektiv maskin kan ge exakta och exakta resultat. Denna enhet har designats med förstklassig teknik och en nivå är mycket. Dess mångsidighet och användarvänliga funktioner gör det till ett val av mycket bra forskning och industriapplikationer inom olika sektorer. 

 

Den har också ett effektivt felanalyssystem som gör det möjligt för maskinen att upptäcka och korrigera eventuella mekaniska problem så snart som möjligt. Detta system säkerställer att RIE-maskinen håller hög kvalitet och tillförlitlighet under hela sin livscykel. För alla branscher som kräver exakt och effektiv etsning eller mikrotillverkning är Minder-High-tech RIE-maskinen den perfekta lösningen.


Förfrågan

Förfrågan E-postadress WhatsApp WeChat
★★★★
×

Kontakta oss