Artikel | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Produktstorlek | ≤6 tum | ≤8 tum | ≤8 tum | ||
RF-strömkälla | 0-300W/500W/1000W Justerbar, automatisk matchning | ||||
Molekylär pump | -/620(L/s)/1300(L/s)/Anpassad | Antiseptisk 620(L/s)/1300(L/s)/Anpassad | |||
Foreline pump | Mekanisk pump/torrpump | Torr pump | |||
Processtryck | Okontrollerat tryck/0-1Torr kontrollerat tryck | ||||
Gasstyp | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Anpassad (Upp till 9 kanaler, ingen frätande och giftig gas) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gasspis | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Ja Nej | Ja | |||
Exempel på temperaturkontroll | 10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Anpassad | -30°C~100°C /Anpassad | |||
Bakre heliumkylning | Ja Nej | Ja | |||
Processkavitetsfoder | Ja Nej | Ja | |||
Kavitetsväggs temperaturkontroll | Nej/Rumsnamn~60/120°C | Rumstemperatur-60/120°C | |||
Styrsystem | Auto/anpassad | ||||
Etsningsmaterial | Kiselbaserad: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiska material/legeringsmaterial Metalliskt material: Ni/Cr/Al/Au. Organiskt material: PR/PMMA/HDMS/Ekologisk film. | Kiselbaserad: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetiska material/legeringsmaterial Metalliskt material: Ni/Cr/A1/Au. Organiskt material: PR/PMMA/HDMS /organisk film. |
Lämplig för mikrovågsenheter, kraftenheter, etc.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE)-maskinen är en toppmodern teknik som kan etsa och analysera olika typer av material med otrolig precision. Denna maskin är designad för användning i olika industrier där mikrotillverkning eller etsning krävs regelbundet. Den är tillverkad av högkvalitativa material som gör den hållbar, pålitlig och kan ge utmärkta resultat.
Utrustad med en RF plasmagenerator är effektiv. RIE-systemet använder en koppling som är induktiv för att komma upp med plasma från matarbensinen. Denna teknik skapar en plasma med hög densitet som ökar etsningshastigheten i samband med produkten. Etsningsprocessen för RIE-maskinen är effektiv, exakt och mycket kontrollerbar, vilket möjliggör ett djup som är specifikt för att uppnås. Denna funktion är unik och är ett utmärkt val för forskning eller industriarbeten.
Maskinen har ett brett utbud av, inklusive mikroelektronik, MEMS-tillverkning och halvledartillverkning. Denna maskin spelar en viktig roll vid etsning och mikrobearbetning av halvledarmaterial som kisel, galliumarsenid och germanium i halvledarindustrin. Minder-High-tech RIE-enheten har dessutom etablerats i MEMS-industrin för tillverkning av mjuka och material som är hårda som polyimid, kiseldioxid och kiselnitrid. Dessutom är den tillgänglig för felanalys i branscher som är associerade med tjänster och produkter som är elektroniska.
Innehåller funktioner som är olika gör det enkelt att använda. Det är en mjukvara som är användarvänlig och ger operatören fullständig kontroll över de etsningsparametrar som används i enheten. Maskininställningarna sparas i dess minne är internt den kan lagra över 100 uppsättningar inställningar. En pekskärm har en skärm som låter operatören ställa in parametrar som gasrörelse, krafttjocklek och tryck. Minder-High-tech RIE-maskinen har också en temperaturkontrollfunktion som säkerställer att materialen etsas vid rätt temperatur och stoppar skador på dem.
Perfekt för företag som kräver en pålitlig och effektiv maskin kan ge exakta och exakta resultat. Denna enhet har designats med förstklassig teknik och en nivå är mycket. Dess mångsidighet och användarvänliga funktioner gör det till ett val av mycket bra forskning och industriapplikationer inom olika sektorer.
Den har också ett effektivt felanalyssystem som gör det möjligt för maskinen att upptäcka och korrigera eventuella mekaniska problem så snart som möjligt. Detta system säkerställer att RIE-maskinen håller hög kvalitet och tillförlitlighet under hela sin livscykel. För alla branscher som kräver exakt och effektiv etsning eller mikrotillverkning är Minder-High-tech RIE-maskinen den perfekta lösningen.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade