Snabb termisk bearbetning
RTP-utrustning för sammansatta halvledare、SlC、LED och MEMS
* Oxid, nitrid tillväxt
* Ohmsk kontakt snabb legering
* Glödgning av silicidlegering
* Oxidationsreflux
* Galliumarsenidprocess
* Andra snabba värmebehandlingsprocesser
Helautomatisk dubbelkammar RTP
* Kompatibel med 6-8 tums WAFER
* Den maximala temperaturen kan nå 1250°c
* Stabil temperaturreproducerbarhet
* Helautomatisk dubbelkammardesign för att öka produktionskapaciteten
* Enhetlighet av ultrahög temperaturfält
* Möta efterfrågan på SlC massproduktionsprocess
Halvautomatisk RTP
* Infraröd halogenlampa uppvärmning, kylning med luftkylning;
* PlD temperaturkontroll för lampkraft, som kan kontrollera temperaturökningen exakt, vilket säkerställer god reproducerbarhet och temperaturjämnhet;
* Materialets inlopp är placerat på WAFER-ytan för att undvika kallpunktsproduktion under glödgningsprocessen och säkerställa god temperaturjämnhet hos produkten;
* Både atmosfäriska och vakuumbehandlingsmetoder kan väljas, med förbehandling och rening av kroppen;
* Två uppsättningar processgaser är standard och kan utökas till upp till 6 uppsättningar processgaser;
* Den maximala storleken på ett mätbart enkristallkiselprov är 12tum (300x300MM);
* De tre säkerhetsåtgärderna för säkert temperaturöppningsskydd, skydd för öppning av temperaturkontroller och säkerhetsskydd för nödstopp för utrustning är fullt implementerade för att säkerställa instrumentets säkerhet;
Desktop RTP
* Infraröd halogenlampa uppvärmning, kylning med luftkylning;
* PlD temperaturkontroll för lampkraft, som kan kontrollera temperaturökningen exakt, vilket säkerställer god reproducerbarhet och temperaturjämnhet;
* Materialets inlopp är placerat på WAFER-ytan för att undvika kallpunktsproduktion under glödgningsprocessen och säkerställa god temperaturjämnhet hos produkten;
* Både atmosfäriska och vakuumbehandlingsmetoder kan väljas, med förbehandling och rening av kroppen;
* Två uppsättningar processgaser är standard och kan utökas till upp till 6 uppsättningar processgaser;
* Den maximala storleken på ett mätbart enkristallkiselprov är 12tum (300x300MM);
* De tre säkerhetsåtgärderna för säkert temperaturöppningsskydd, skydd för öppning av temperaturkontroller och säkerhetsskydd för nödstopp för utrustning är fullt implementerade för att säkerställa instrumentets säkerhet;
Vi har 16 års erfarenhet av utrustningsförsäljning, och kan förse dig med en one-stop IC Package Line Equipment-lösning!
Letar du efter pålitlig RTP-utrustning för dina tillverkningsprocedurer för SlC LED MEMS för sammansatta halvledare? Se inte längre jämfört med Minder-Hightech.
Uppvisar exceptionella förmågor för snabb bearbetning är termisk vilket gör det perfekt för att skapa förstklassiga aspekter av halvledare, SlC MEMS-prylar och lysdioder. Tillsammans med Minder-Hightech innovation till ditt förfogande, kan du uppnå temperaturnivån är exakt, konstant hemuppvärmning och minskad problemtjocklek i dina tjänster eller produkter.
Innehåller ett individuellt användargränssnitt är lätt att använda och skapar specifikt det är lätt för förare av alla nivåer att använda och navigera. Dess egna avancerade automatiseringsförmåga gör det möjligt för dig att förbättra dina tillverkningsprocedurer, vilket minskar kravet på handbok som skyddar och fungerar dig pengar och möjligheter.
Vikten förstås genom vårt team av utrustningspålitlighet. Det är därför våra RTP-enheter är utvecklade tillsammans med toppkvalitetsaspekter och utvecklade för att uthärda omfattande användning är vardaglig frånvaro av effektivitet eller till och med funktioner. Vårt team tillhandahåller också rutinmässiga assistans- och underhållslösningar för att garantera din utrustnings hållbarhet.
Oavsett om du är associerad med områdena tillverkning av sammansatta halvledare, LED-produktion eller till och med MEMS-systemframsteg, erbjuder Minder-Hightech RTP-utrustning oöverträffad effektivitet och noggrannhet. Därför, varför hänga runt? Uppdatera din produktionsprocedur mot examen efter att du köpt Minder-Hightech RTP-utrustning idag.
Om du behöver högkvalitativ RTP-utrustning för att öka effektiviteten och effektiviteten hos din tillverkningsprocedur för sammansatta halvledare SlC LED MEMS, lita på Minder-Hightech. Vår avancerade innovation, pålitliga enheter och exceptionella kundsupport skapar vårt team till de ledande alternativen för affärer över hela världen.
Inte hänga runt någon typ av mycket mycket längre för att få din produktion förfarande mot följande grad.
Köp RTP-utrustning från Minder-Hightech idag.