Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Få offert

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> Semicon Inspect
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer

Spektroskopisk Ellipsometer

Få en gratis offert
Produktbeskrivning

Spektroskopisk Ellipsometer

Spektral ellipsometer kan slutföra snabba och flerpunktsautomatiska tester och kan testa provens enhetlighet med en enda klick. Produkten är utrustad med polarisator, analysator och kompensator som båda är utrustade med absolut kodningshögprecisionsspärrande enheter med bandgap-kompensationsfunktion, vilket förbättrar systemets noggrannhet och stabilitet. Genom att använda en dual fiberarkitektur för att förstärka ljuskollektioneffektiviteten kan tillräckliga spektra samlas in från skurna syror polerade ytor eller konventionella pyramidfrämmande för testning och analys. Den har också grundläggande funktioner som autofokus, ljusintensitetssökning och fas-kompensation.
Utvecklad för högprecisions- och högeffektiv analys av optiska egenskaper hos material. Den kan arbeta automatiskt, snabbt och
många exakt refraktionsindex, dämpningskoefficient och filmdjup hos material. Den är lämplig för tunnfilms- och materialspecifikationsbehov inom vetenskaplig forskning, halvledare, fotovoltaik, optiska beläggningar, visningspaneler och andra områden.

Mätobjekt:

Optiskt lag: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Visa: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektroder(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaisk: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Halvledare: Fototacksamhet, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Övrigt: OCD, 2-D material, Van der Waals heterojunction och enhet...

Produktfunktion:

Brytningsindexmätning: Mät precist brytningsindexet för material vid olika våglängder, vilket ger nyckeldata för optisk design och materialforskning.
Dämpningskoefficientmätning: Analysera ljusabsorptionskaraktäristikerna hos material för att hjälpa till att optimera prestandan på optoelektroniska enheter.
Mätning av filmsjukhet: Stöder mätning av tjockleken på nanometer- till mikronnivåer med hög upplösning och god reproducerbarhet.
Snabb automatisk testning: Med flerpunktsautomatisk skannerningsfunktion når mäthastigheten 1 sekund/punkt, vilket förbättrar effektiviteten vid batchtestning avsevärt.

Mätningsprincip:

Ellipsometrimätningsprincipen bygger på förändringen av polariseringsläget hos optiska reflektioner före och efter mediumytan för att få information om optiska egenskaper och struktur.
Elektriska fältet i det inkommande strålet delas upp i två vertikala riktningar, där p-ljuset är parallellt med ljusets vibration.
våg, s-ljus är vinkelrätt på vibrationen av ljusvågen. Amplituderna och faserna av p- och s-ljuset förändras när strålen speglas från mediets yta.
Korrelationen mellan fysiska egenskaper hos mediet och förändringen av polariseringsläget.

Arbetsmiljö för instrument:

Ström: 220VAC+10%
Rumstemperatur: miljötemperatur (10-30)℃
Relativ fuktighet: (20-80)%RH

Spektrometer:

Detekteringsenhet: 2048 pixel snabb bakljusad CCD-detektor
Detaljparametrar:
1. spektrumomfattning bättre än 350nm-1000nm
2. strölande ljus<0,02%@400nm
3. signal-till-brusförhållande 4800
4. dynamiskt omfång 50000:1
5. holografisk ljusväg
6. digital upplösning 16-bitars
7. läsfart >400kHz
8. datatransmissionshastighet 600MB/s
9. minsta integreringstid/justeringssteg 6 us/1us
10. extern utlöst försening 95ns+/–20ns
11. datorgränssnitt USB4.1C/2.0
12. operativsystem Win 7/in 8/Win 10
genomsnittlig QE i UV-regionen bakljusdets CCD, genomsnittlig QE ≥75% Kylsystem mikro TE-kyla, temperatur efter kyling är 30'c
lägre än miljötemperatur.
Integreringsmetod programvarukontrollerad automatisk integreringstidsinställning, kan uppnå bäst

Ljuskällsystem:

Ljuskälla halogenlampa med kvartsboll, våglängdsområde 350nm-2000nm, ingen nedbrytning livslängd längre än 50000 timmar.
Strömförnäringsenhet oberoende ström för halogenlampa spänning 4.9vd

Stage med autofokusfunktion:

Flytta prov till den bästa mätpositionen med autofokusfunktion Sträckvidd: 100mm
Noggrannhet: 0.0005mm Platsbegränsning med både positiv och negativ gräns och nollpositionsensor; startposition, slutposition, steglängd för autofokusfunktionen kan ställas in i programvaran med Gaussisk regressionsmetod; ange specificerad integreringstid och samla intensitet av Fokusmetoden
Produktstruktur
Specificitet
Optiskt system:
Incidensvinkel
65°
Strålförskjutning
< 0.3°
Mätparametrar
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polariserare
Glan-Thompson
Material
a-BBO
Kompressor
kvarts-vågfasförsenning, hyperakromatisk
Intensitetsval
Linjär optisk täthetselement. Garanterar god signal-till-brusförhållande under mätfasen, förbättrar data noggrannhet,
undviker att ljusintensiteten sättas i saturering eller blir för svag för att minska signal-till-brusförhållandet och noggrannheten
Optisk konstruktion
dubbel fiber transporterar ljuset från lampan till spektrometer genom polariseringselement; stabil ljusväg, enkelt att byta ut lampor
Fiber
anti-UV passivering; NA=0,22; klar apertur 600um
Mikro ljuspunkt
diameter ≤200um, för att skilja mellan den användbara ljuset som speglas från framsidan och det oanvändbara ljuset som speglas från
baksidan, enkelt att montera och demontera
Slit
1 50um, för att skilja mellan den användbara ljuset som speglas från framsidan och det oanvändbara ljuset som speglas från baksidan
yta
Grundparametervals tabell:
Spektralt intervall
350-1000nm
C
Synlig
210-1000nm
UC
UV-Visibel
210-1700nm
Förenade kungariket
UV-Vis-NIR
Optisk kompensator
Rc
Enkompensator
RC2
C2
Dubbelkompensator
Spektralt intervall
X-Y
M
Stor sträckning upp till 230mm
X-R
R
Stor diameter upp till 300mm
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Minder-Hightech är försäljning och service representant inom utrustning för halvledar- och elektronikproduktsindustrin. Sedan 2014 har företaget ägnat sig åt att erbjuda kunderna Överlägsna, Pålitliga och Enskede Lösningar för maskinutrustning.
Vanliga frågor
1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

Mer produkter

Fråga

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Integritspolicy

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt