Semi-automatisk RTP Snabb Termisk Bearbetning för wafer halvledare SlC LED MEMS , China Semi-automatisk RTP Snabb Termisk Bearbetning för wafer halvledare SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

Snabb Termisk Bearbetning

Ge pålitlig RTP-utrustning för sammansatta halvledare, SlC, LED och MEMS

Funktion

* Infrarött halogenrör för uppvärmning, avkylning med luftkylning;
* PlD-temperaturreglering för lampeffekt, vilket kan noggrant kontrollera temperaturstigning, och säkerställa god reproducerbarhet och temperaturjämlikhet;
* Materialinmatningen är placerad på WAFER-ytan för att undvika kallpunktsbildning under annekaleringsprocessen och säkerställa god temperaturjämlikhet för produkten;
* Både atmosfäriska och vakuum behandlingsmetoder kan väljas, med förbehandling och renande av materialet;
* Två uppsättningar av processgaser är standard och kan utökas till upp till 6 uppsättningar av processgaser;
* Den maximala storleken på ett mätbart enstaka kristallsiavsample är 12 tum (300x300 MM);
* De tre säkerhetsåtgärderna för trygghetstemperaturöppnings skydd, temperaturkontrollöröppningsbehörighetsskydd och utrustningens nödstoppssäkerhetsskydd har fullt ut genomförts för att säkerställa instrumentets säkerhet;

Testrapport

Sammanfallning av 20-gradskurvor

20 kurvor för temperaturkontroll vid 850 ℃

Sammanfallning av 20 genomsnittliga temperaturkurvor

Temperaturkontroll vid 1250 ℃

RTP-temperaturkontroll för 1000 ℃-process

Process vid 960 ℃, kontrolleras av infrarött pyrometer

LED-processdata

RTD Wafer är en temperatursensor som använder speciella bearbetningstekniker för att införa temperatursensorer (RTDs) på specifika platser på ytan av en wafer, vilket möjliggör realtidsmätning av ytemperatur på wafvern.

Riktiga temperaturmätningar på specifika platser på wafvern och den totala temperaturfördelningen på wafvern kan erhållas via RTD Wafer; Den kan också användas för kontinuerlig övervakning av tillfälliga temperaturförändringar på wafvern under värmeanteringen.

Specificitet

Förpackning & Leverans

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet från utrustningsförsäljning. Vi kan erbjuda er en total lösning för Semiconductor front- och back-end Paketlinjeutrustning från Kina!