Slipbar oblat
|
Storlek
|
Inches
|
4,5,6,8
|
Gnuggande sätt
|
-
|
Vertikal nedslipningsmetod
|
|
Sliphjulsspindel
|
Typer
|
-
|
Luftlager
|
Antal
|
-
|
1
|
|
Fart
|
rpm
|
0 ~ 5000
|
|
Uteffekt
|
Kw
|
5.5/7.5
|
|
Stroke
|
mm
|
150
|
|
Feedhastighet
|
um/s
|
0.01 ~ 100
|
|
Snabb hastighet framåt
|
mm / min
|
300
|
|
Upplösning
|
um
|
0.1
|
|
Arbetsstyckets axel
|
Typ
|
-
|
Kullager
|
Antal
|
-
|
1
|
|
Fart
|
rpm
|
0 ~ 300
|
|
Effekt
|
kw
|
0.75
|
|
Typ sugkopp
|
-
|
Mikroporös keramik
|
|
Wafer sugmetod
|
-
|
Vakuumadsorption
|
|
Waferöverföring
|
-
|
Manuell
|
|
Övriga funktioner
|
Wafercentrering
|
-
|
-
|
Rengöring av rån
|
-
|
-
|
|
Rengöring av sugkopp
|
-
|
-
|
|
Slipskiva
|
mm
|
Φ200
|
|
ONLINE
mätning |
Mätområde
|
um
|
0 ~ 1800
|
Upplösning
|
um
|
0.1
|
|
Upprepa noggrannhet
|
um
|
± 0.5
|
|
bearbetning
noggrannhet |
Intra-wafer noggrannhet (TTV)
|
um
|
≤ 2
|
Inter-wafer precision (WTW)
|
um
|
± 3
|
|
Ytjämnhet (Ry)
|
um
|
0.1(2000#finish)
|
|
Utseende
|
Utseende färg
|
um
|
Orange mönster
|
Mått (B×D×H)
|
mm
|
690 × 1720 × 1780
|
|
Vikt
|
kg
|
1400
|
Slipbar oblat
|
Storlek
|
Inches
|
6,8,12
|
Gnuggande sätt
|
-
|
Vertikal nedslipningsmetod
|
|
Sliphjulsspindel
|
Typer
|
-
|
Luftlager
|
Antal
|
-
|
1
|
|
Fart
|
rpm
|
0 ~ 5000
|
|
Uteffekt
|
Kw
|
5.5/7.5
|
|
Stroke
|
mm
|
150
|
|
Feedhastighet
|
um/s
|
0.01 ~ 100
|
|
Snabb hastighet framåt
|
mm / min
|
300
|
|
Upplösning
|
um
|
0.1
|
|
Arbetsstyckets axel
|
Typ
|
-
|
Kullager
|
Antal
|
-
|
1
|
|
Fart
|
rpm
|
0 ~ 300
|
|
Typ sugkopp
|
-
|
Mikroporös keramik
|
|
Wafer sugmetod
|
-
|
Vakuumadsorption
|
|
Waferöverföring
|
-
|
Manuell
|
|
Övriga funktioner
|
Wafercentrering
|
-
|
-
|
Rengöring av rån
|
-
|
-
|
|
Rengöring av sugkopp
|
-
|
-
|
|
Slipskiva
|
mm
|
Φ300
|
|
ONLINE
mätning |
Mätområde
|
um
|
0 ~ 1800
|
Upplösning
|
um
|
0.1
|
|
Upprepa noggrannhet
|
um
|
± 0.5
|
|
bearbetning
noggrannhet |
Intra-wafer noggrannhet (TTV)
|
um
|
≤ 3
|
Inter-wafer precision (WTW)
|
um
|
± 3
|
|
Ytjämnhet (Ry)
|
um
|
0.13(2000#finish)
|
|
Utseende
|
Utseende färg
|
um
|
Orange mönster
|
Mått (B×D×H)
|
mm
|
790 × 2170 × 1830
|
|
Vikt
|
kg
|
1800
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade