Plasmkälla
|
RF
|
||
Ström
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(valfritt)
|
||
Tillämpningsområde
|
4~8 tum
|
||
Antal enskilda bearbetningsplattor
|
1
|
||
Utseendet
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Systemkontroll
|
PLC
|
||
Automationsnivå
|
Manual
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved