Halvledarindustriutrustning MDLB-MC200 fotomaskrengörare , Kina Halvledarindustriutrustning MDLB-MC200 fotomaskrengörare Tillverkare, leverantörer, fabrik

MDLB-MC200

Fotomaskrengörare

Rengöringsenhet:

Rengöringskammaren är bearbetad med korrosionsbeständiga material, som har en slät yta och är lätta att rengöra. Det finns en utloppsport längst ner i den inre kaviteten, som använder gravitationen för att tillåta avfallsvätska att släppas ut i fabrikens avfallsutloppsrörledning. Det finns en sugport inuti kaviteten, som i rätt tid kan extrahera atmosfären från kaviteten. Utrustad med 3 automatiska svängarmar kan den uppnå automatisk rengöring.

Konfigurationsparametertabell:

Nej.	Projekt	Specifikationer	Anmärkningar
1	Utrustning Översikt	Enhetens namn: Photomask Cleaner
		Utrustningsmodell: MDLB-MC200
		Totala mått (ungefär): 1300 mm (B) * 1000 mm (D) * 1950 mm (H)
		Hela maskinens vikt (ungefär): 300 kg
		Operationsbordshöjd: 900 ± 50 mm
		Specifikationer för substratstorlek: lämplig för 2/4/5/6/8 tum fyrkantiga maskplattor
		Processflöde: manuell waferplacering → rengöring (borste, rengöringslösning → högtrycksvatten → megaljudsvatten → avjoniserat vatten → kvävgastorkning) → manuell waferborttagning
		Utrustningstyp: halvautomatisk, manuell lastning och lossning
2	Utrustningskonstruktion	Skal: rostfritt stål, slät, korrosionsbeständig, lätt att rengöra
		Rengöringskammare: PP, slät, korrosionsbeständig, lätt att rengöra
		Pipeline: PU/PFA matchande pipeline används
		Arbetsbelysning: antikorrosionsgul ljusbelysning
		Dörröppningsstil: Dubbeldörr med dörröppningslarmfunktion
		Pekskärm: 10 tums pekskärm i full färg * 1
		FFU: Klass 100
		Läcksäkert bottenstöd: tillgängligt
3	Hög precision servomotor	Antal: 1
		Hastighet: -3000~3000rpm	Tom last
		Maximal acceleration av spindelrotation: 3000rpm/S	Tom last
		Hastighetsnoggrannhet: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Hastighetsupplösning: 1rpm
4	Automatisk svängarm	Antal: 3
4	Automatisk svängarm	Svängarmshastighet: 1~30 °/S
5	Rengöringsenhet	Rengöringssvingarm: 1 kanal avjoniserat vatten, 1 kanal med kvävgas Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 högtrycksvatten Borstarm: 1 borste, 1 vatten, 1 rengöringslösning
		Rengöringsmetod: automatisk rengöring
		Avjoniserat vatten sugfunktion: tillgänglig
		Backspolning (avjoniserat vatten): 1 väg
		Tillförselmetod: Rengöringslösning: Membranpump Avjoniserat vatten: levereras direkt av fabriken
		Trycktank med vätskenivådetektion
6	Borste borste	Antal: 1 (med självrengörande funktion)
		Hastighet: upp till 1000rpm, justerbar hastighet
		Höjden kan justeras manuellt
7	Ladda fack	Antal: 5
		Material: PPS+rostfritt stål
		Storlek: Lämplig för 2/4/5/6/8 tum fyrkantiga maskplattor
		Substratfixeringsmetod: Klofixeringsmetod
8	Kontrollsystem	Styrsystem: använder PLC-styrning
		Program: 100 grupper, varje grupp består av 100 steg, med en maximal enstegstid på 3000.0 sekunder Upplösning: 0.1S
		Programmet kan sparas, anropas, ändras och raderas
		Ställ in krypteringsbehörigheter: för enhetsoperatörer, tekniker, administratörer respektive tillverkare
		Signaltornstyp: röd, gul, grön 3 färger