Halvledarindustroutrustning MDLB-MC200 Fotomaskrengörare

Nej.

Projekt

Specifikationer

Anmärkningar

1

Utrustningsöversikt

Enhetsnamn: Fotomaskinrensare

Utrustningsmodell: MDLB-MC200

Totala dimensioner (ungefär): 1300mm (B) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Hela maskinvikten (ungefär): 300KG

Arbetsytablshöjd: 900 ± 50mm

Substratstorlekspecificeringar: lämplig för 2/4/5/6/8 tum kvadratmaskplåtar

Processflöde: manuell platsiering av wafer → rensning (borste, rensningslösning → högtrycksvatten → megasoniskt vatten → deioniserat vatten → kvävegas torkning) → manuell waferförande

Utrustningstyp: halvautomatisk, manuell laddning och avladdning

2

Utrustningskonstruktion

Skal: rostfritt stål, slätt, korrosionsmotståndig, enkel att rengöra

Rensningskammare: PP, slätt, korrosionsmotståndig, enkel att rengöra

Ledningsystem: PU/PFA-matchande ledningar används

Arbetsbelysning: korrosionsmotståndig gul belysning

Dörröppningsstil: Dubbdörr med dörröppningsvarningsfunktion

Touchskärm: 10-tums färgtouchskärm * 1

FFU: Klass 100

Lekaget stöd för uttag: tillgänglig

3

Högprecisions servomotor

Antal: 1

Hastighet: -3000~3000rpm

Tom last

Maximal acceleration av spindelrotation: 3000rpm/S

Tom last

Hastighetsnoggrannhet: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Hastighetsupplösning: 1rpm

4

Automatisk svängarm

Antal: 3

Svängarms hastighet: 1~30 °/S

5

Rengöringsenhet

Rensningsarm: 1 kanal av deioniserat vatten, 1 kanal av kvävegas

Megasonisk Arm: 1 Megasonisk, 1 Högtrycksvatten

Borstarm: 1 borste, 1 vatten, 1 rengöringslösning

Rengöringsmetod: automatisk rengöring

Deioniserat vatten sugfunktion: tillgänglig

Spölning (deioniserat vatten): 1 väg

Försörjningsmetod: Rengöringslösning: Membranpump

Deioniserat vatten: levereras direkt av fabriken

Trycktank med nivådetektering

6

Borstborste

Antal: 1 (med självrengöringsfunktion)

Hastighet: upp till 1000 varv per minut, justerbar hastighet

Höjd manuellt justerbar

7

Lastfat

Antal: 5

Material: PPS+rostfritt stål

Storlek: Lämplig för 2/4/5/6/8 tumma kvadratmaskplattor

Substrathållningsmetod: Klavhållningsmetod

8

Kontrollsystem

Kontrollsystem: Använder PLC-kontroll

Program: 100 grupper, varje grupp består av 100 steg, med maximalt enstegstid på 3000,0 sekunder

Upplösning: 0,1S

Programmet kan sparas, anropas, ändras och raderas

Ställ in krypteringsbehörigheter: för enhetsoperatörer, tekniker, administratörer och tillverkare respektive

Signalstapeltyp: rött, gult, grönt 3 färger