Halvledarsubstrat Wafer tillverkning Utrustning Helautomatisk single Chip Wafer Cleaning Machine Wafer Scrubber , Kina Halvledarsubstrat Wafer tillverkning Utrustning Helautomatisk single Chip Wafer rengöringsmaskin Wafer Scrubber Tillverkare, leverantörer, Fabrik

Produktbeskrivning

Helautomatisk enchipsrengöringsmaskin för wafer Wafer Scrubber

Maskinfunktioner

Enkelt hålrum, två hålrum och fyra hålrum
Stark processkapacitet, som kan stödja applikationer som Wafer Start och process rengöring
Bra konsistens av utrustning mellan chip-teknologi

Programfält

Ytpartikelborttagning av 4-8 tums kiselbaserade och sammansatta wafers

Tekniska parametrar

4-tums, 6-tums, 8-tums borsthålighet
Spinnerhastighet upp till 4000 rpm
Dual Arm borstkammare, tillgänglig i Brush, AS, JET, Megasonics rengöringsmetoder
Kan stödja flytande rengöringsfunktion

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-51

LoadPort-enhet, laddningsenhet

LoadPort är enhetens laddningsenhet

Kan göra Wafer Mapping
Utrustad med Wafer-sliddetektering

Överföringsrobotenhet

Dual Blade Robot, valfri med vakuum eller bricktyp blad.

Uppriktnings- och vändningsenhet

Kan rikta in och lokalisera plana kanter
Wafer kan vändas för att skrubba tillbaka kristallen

Borstenhet

Antal borstarm * 2
Waferhandtag: Chuckklämma eller sugtyp
Borste, AS, JET, Megasonics rengöringslägen, stödjer farmaceutisk rengöring

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-52

1. Stöder Wafer-ingång och utmatning samtidigt, såväl som A-ingångs- och B-utgångslägen
2. Kan stödja borstning av framsidan av kammare A och baksidan av kammare B
3. Kan stödja parallell rengöring med två kammare

Beskrivning av borstenhet

Som visas i figuren
Wafer fixerad ovanpå Spinner

Arm1&Arm2 kan användas i kombination med olika borstningsmetoder beskrivits tidigare för att rengöra wafers.

Efter rengöring roterar Spinner med hög hastighet för att snurra och torka wafern

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-53

Uppriktnings- och vändningsenhet

Wafer kan användas för bostads- och utjämningsändamål

Wafer kan vändas

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-54

Utrustningsstorlek: 160x150x220 (mm)
Lastning och lossningsmetoder: samma in och samma ut&A in och B ut
Antal borstenheter: 2
Borstlägen: borste, AS, JET, Megasonics rengöringsmetoder, stödjer farmaceutisk rengöring

Förpackning och leverans

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-55

produkt halvledarsubstrat wafer tillverkning utrustning helautomatisk single chip wafer rengöringsmaskin wafer scrubber-56

Företagsprofil

FAQ

1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och anpassningskomplexiteten för din enhet.

2. Om exempel:
Vi kan tillhandahålla provproduktionstjänster åt dig, men du kan tillhandahålla vissa avgifter.

3. Om betalning:
Efter att planen har bekräftats måste du först betala oss en deposition, och fabriken kommer att börja förbereda varorna. Efter den
utrustningen är klar och du betalar resten, vi skickar den.

4. Om leverans:
Efter att utrustningstillverkningen är klar skickar vi godkännandevideon till dig och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och felsökning:
När utrustningen anländer till din fabrik kan vi skicka ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig en separat offert för denna serviceavgift.

6. Om garanti:
Vår utrustning har 12 månaders garantitid. Efter garantitiden, om några delar är skadade och behöver bytas ut, debiterar vi endast självkostnadspriset.