Enkavitet, tvåkavitet och fyra kavitet Stark processförmåga, kan stödja tillämpningar som Wafer Start och processrenskning God konsekvens av utrustningsinterchipteknik
Ansökningsfält
Ytlig partikelborttagning av 4-8 tum siliconbaserade och sammansatta baserade plattor
Tekniska parametrar
4-tum, 6-tum, 8-tum borstcavitet Spinnerhastighet upp till 4000RPM Dubbelarmad borstkammare, tillgänglig i Borst, AS, JET, Megasonics rensningsmetoder Kan stödja vätskerensningsfunktion
LoadPort-enhet, laddningsenhet
LoadPort är laddningsenheten för detta enhet
Kan utföra Wafer Mapping Utstyrd med Wafer slide-detektion
Transporteringsrobotenhet
Dubbelbladig robot, valfritt med vakuum eller fatstyp blad.
Justerings- och vändenhet
Kan justera och placera plana kanter. Wafer kan vändas för att rengöra krystallryggen.
Borstningseenhet
Antal borstningararmar * 2 Waferhandtag: Fatsskruvning eller sugtyp Borste, AS, JET, Megasonics rengöringslägen, stödjer farmaceutisk rengöring.
1. Stöder Waferinmatning och utmatning samtidigt, samt läge A inmatning och B utmatning. 2. Kan stödja borsten på framsidan av kammaren A och bakre delen av kammaren B 3. Kan stödja dubbelkammarparallell rengöring
Beskrivning av borstenhet
Som visas i figuren Wafer fixerad ovanpå Spinner
Arm1&Arm2 kan användas i kombination med olika borstmetoder beskrivna tidigare för att rengöra wafers.
Efter rengöring snurrar Spinner på hög hastighet för att centrifugera och torka wafer
Justerings- och vändenhet
Wafer kan användas för boende och nivellering
Wafer kan vändas
Utrustningsstorlek: 160x150x220 (mm) Laddnings- och avladdningsmetoder: samma in och samma ut & A in och B ut Antal borstar: 2 Borstläge: Borste, AS, JET, Megasonics rengöringsmetoder, stödjer farmaceutisk rengöring
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Vanliga frågor
1. Om pris: Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.
2. Om provproduktion: Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.
3. Om betalning: När planen är bekräftad måste du betala en förskottsbetala till oss först, och fabriken kommer att börja förbereda varorna. När utrustningen är redo och du har betalat restbeloppet, skickar vi ut den.
4. Om leverans: När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.
5. Installation och justering: När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.
6. Om garantin: Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
