Teknisk parameter |
Mätläge |
PSI/VSI/super djup av fält/bright field |
Enstaka mätfältet (20× objektivlinse) |
500*350μm (automatisk sammanfogning) |
|
Vinkeljustering |
±12° manuell |
|
Z-axel justering |
20mm elektrisk + 50mm manuell (grovt och finjusteringsmekanism) |
|
Längdscanningsomfattning |
0-10 mm |
|
Längdslösning |
<0.2nm |
|
Upprepa longitudinal roughness mätning |
0.01nm (PSI-läge) |
|
indikationsfel av steghöjd mätning |
<0.75% (VSI-läge) |
|
Sidlig upplösning: @550nm |
0.69μm (20× objektivlinse) |
|
Mätbar provreflektivitet |
0.1%-100% |
|
Mättid |
<5s (PSI-läge) |
|
Analysfunktion |
Analysfunktion |
3D-höjdmätning, 3D-roughness-analys, 2D-dimensionsmätning |
3D-datautgång |
3D-punktmolndata, gråskalebilddata, anpassad rapport |
Objektiv förstoring |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numerisk bländare |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optisk upplösning @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fokusdjup (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Arbetsavstånd (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved