Teknisk parameter | Mätningsläge | PSI/VSI/super skärpedjup/ljusfält |
Synfält för enstaka mätningar (20× objektiv) | 500*350μm (automatisk sömnad) | |
Vinkeljustering | ±12° manuell | |
Z-axeljustering | 20 mm elektrisk + 50 mm manuell (grov- och finjusteringsmekanism) | |
Längsgående skanningsområde | 0-10mm | |
Longitudinell upplösning | <0.2 nm | |
Repeterbarhet av longitudinell ojämnhetsmätning | 0.01nm (PSI-läge) | |
indikeringsfel för steghöjd mätning | <0.75 % (VSI-läge) | |
Sidoupplösning: @550nm | 0.69 μm (20× objektiv) | |
Mätbar provreflektivitet | 0.1%-100% | |
Mätningstid | <5s (PSI-läge) | |
Analysfunktion | Analysfunktion | 3D höjdmätning, 3D råhetsanalys, 2D dimensionsmätning |
3D-datautgång | 3D-punktmolndata, gråskalebilddata, anpassad rapport |
Objektiv förstoring | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Numerisk bländare | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optisk upplösning @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Fokusdjup (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Arbetsavstånd (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade