MDAM-CMP100/150-noggrannhetsmaskin för slipning och polering, huvudenheten och alla reservdelar är gjorda av material med hög korrosionsresistens. Hela maskinen är korrosionsbeständig, stabil, utslitningsbeständig och rustfri, lämplig för kemisk mekanisk slipning och polering av olika halvledarmaterial. Arbetsytan är separerad från visuella kontrollområdet och styrs digitalt med ett touchscreen-kontrollsystem. Den är CNC-styrd, kan lagra och hämta information.
Systemet med anordning har en tidsfunktion som kan arbeta kontinuerligt i 10 timmar och styra poleringsskivens hastighet. Kontrollpanelen placeras utanför arbetsområdet för att förhindra att sliplösningen sprutar på kontrollpanelen. Alla parametrar för värden kan justeras på pekskärmen. Hems processparametrarna har lagrings- och hämtningsfunktioner för att säkerställa processens konsistens och repeterbarhet. Waferprovet adsorberas på armaturens bottenyta genom vakuumpumpande, utrustat med en oljefri vakuumpumpe och har oberoende anti-omvänd sugfunktion.
Monteringskonfigurationens exempel på horisontell rotationsdrivsystem har en svängningsfunktion, med en svängningsomfattning som är justerbar mellan 0-100%. Svängningsamplituden och frekvenshastigheten kan ställas in exakt via kontrollsatsen. Monteringarna är utrustade med ett oberoende drivsystem för rotation, med en justerbar hastighetsomfattning på 0-120 varv per minut. Denna funktionsdesign säkerställer fullständig svängningspolering av provet under grindnings- och poleringsprocessen, vilket betydligt förbättrar poleringskapaciteten och effektiviteten hos maskineriet.
Monteringarna är utrustade med en digital tjockleksövervakningstabell med en övervakningsnoggrannhet på 1 μm. Trycket från monteringarna på waferprovet är kontinuerligt justerbart, med en trycksats på 0-3,5kg och en noggrannhet på 2g/cm², och är utrustade med en tryckmätare.
Drift av slip- och poleringsdisken styrs av huvuddrivmotorn, och diskhastigheten kan justeras från 0 till 120 varv per minut. Denna hastighetsvariationsspann garanterar effektivt slips och polering av prov av olika hårdhet och storlek, vilket bidrar till högre processindikatorer. Utväxling av slips- och poleringsdiscar är enkel och snabb, med inbyggda discar som möjliggör att maskinen snabbt kan gå från slipsprocess till poleringsprocess, vilket minskar processiden betydligt. Dessutom är slipsdisken utrustad med en reparationssläck för att säkerställa god planhet hos slipsdisken.