การปรับแต่ง RIE (Cl₂) แบบห้องคู่ ประเทศไทย

เวลา: 2024-11-08

ระบบกัดกรดปฏิกิริยา

มอบโซลูชันที่ปรับแต่งให้เหมาะกับลูกค้าอย่างมืออาชีพ

การปรับแต่ง RIE (Cl₂) แบบห้องคู่

ในเดือนกุมภาพันธ์ พ.ศ. 2024 เราได้รับคำขอจากลูกค้าสำหรับกระบวนการคลอรีนเวเฟอร์ขนาด 100 มม.

นี่เป็นแอปพลิเคชันที่น่าสนใจสำหรับเรา เนื่องจากก๊าซกระบวนการที่จำเป็นประกอบด้วยก๊าซพิษ Cl2 และ BCl3 เราต้องปรับปรุงการกำหนดค่าทั้งหมดของเครื่องจักรเพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาความปลอดภัย และออกแบบโครงสร้างห้องคู่ของห้องกระบวนการและห้องถ่ายโอนโดยเฉพาะ เพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานอย่างสมบูรณ์แบบพร้อมทั้งตอบสนองความต้องการของกระบวนการ

หลังจากออกแบบและผลิตประมาณ 5 เดือน เราได้ดำเนินการทดสอบตัวอย่างหลายครั้งและจำลองการผลิตในห้องปฏิบัติการภายในของบริษัท และส่งมอบอุปกรณ์ได้อย่างรวดเร็วหลังจากผ่านการรับรองจากลูกค้า

ริ.อิ.jpg