โครงการ | เนื้อหา | ข้อมูลจำเพาะ |
ระบบแพลตฟอร์ม | การกระแทกแกน x | 300 มม. |
การกระแทกแกน y | 300 มม. | |
การกระแทกแกน z | 50 มม. | |
ช่วงการเคลื่อนที่แกน T | องศา 360° | |
ขนาดของอุปกรณ์ติดตั้ง | 0.15-25mm | |
ช่วงการทำงาน | 180*180mm | |
ประเภทการขับเคลื่อน XY | เซอร์โว | |
ความเร็วสูงสุดในการวิ่ง XY | XYZ = 50mm/s | |
ฟังก์ชันขีดจำกัด | ลิมิตแบบอิเล็กทรอนิกส์นุ่มนวล + ลิมิตทางกายภาพ | |
ความแม่นยำของการวัดความสูงของเลเซอร์ | 3μm | |
ความแม่นยำของโมดูลการปรับเข็ม | 3μm | |
โครงสร้างพื้นที่ | แพลตฟอร์มออปติคอล Y คู่ | |
ระบบวางตำแหน่ง | ความแม่นยำโดยรวมของการวางตำแหน่ง | ±10μm |
การควบคุมแรงยึดเหนี่ยว | 10g-80g | |
ทิศทางการวาง | ความสูงต่างกัน มุมต่างกัน | |
หัวดูด | หัวดูดแบบเบเกิลต์ / หัวดูดยาง | |
แรงกดในการวาง | 0.01N-0.1N (10g-100g) | |
ประสิทธิภาพการผลิต | ไม่น้อยกว่า 180 ชิ้นต่อชั่วโมง (สำหรับขนาดชิป 0.5mm x 0.5mm) | |
ระบบการจ่าย | เส้นผ่านศูนย์กลางจุดที่เล็กที่สุด | 0.2มม. (ใช้เข็มขนาดรู 0.1มม.) |
โหมดการจ่าย | โหมดแรงดัน-เวลา (เครื่องมาตรฐาน) | |
ปั๊มจ่ายความแม่นยำสูงและวาล์วควบคุม | ปรับแรงดันบวก/ลบอัตโนมัติโดยพิจารณาจากฟีดแบ็กเส้นทาง | |
ช่วงแรงดันอากาศสำหรับการจ่าย | 0.01-0.5MPa | |
รองรับฟังก์ชันการจ่ายแบบจุด | สามารถตั้งค่าพารามิเตอร์ได้อย่างอิสระ (รวมถึงความสูงในการจ่าย เวลาการจ่ายล่วงหน้า เวลาการจ่าย เวลาดึงกลับล่วงหน้า แรงดันอากาศในการจ่าย แรงดันอากาศ เป็นต้น) | |
การสนับสนุนสำหรับฟังก์ชันการขูด | พารามิเตอร์สามารถตั้งค่าได้อย่างอิสระ (รวมถึงความสูงของการจ่ายสาร เวลาในการจ่ายสารล่วงหน้า ความเร็วในการขูด เวลาในการดึงกลับล่วงหน้า อากาศในการขูด แรงดันอากาศ เป็นต้น) | |
ความเข้ากันได้ของความสูงในการจ่ายสาร | สามารถจ่ายสารที่ความสูงต่างๆ กันได้ โดยรูปทรงของกาวสามารถปรับให้เหมาะสมกับมุมใดก็ได้ | |
การขูดแบบกำหนดเอง | ห้องสมุดของกาวสามารถเข้าถึงและปรับแต่งได้โดยตรง | |
ระบบการมองเห็น | ความแม่นยำของการวางตำแหน่งซ้ำในแกน XY | 5ไมโครเมตร |
ความแม่นยำของการวางตำแหน่งซ้ำในแกน Z | 5ไมโครเมตร | |
ความละเอียดของระบบวิชั่นบน | 3μm | |
ความละเอียดของระบบวิชั่นล่าง | 3μm | |
เซนเซอร์สัมผัสเข็ม | 5ไมโครเมตร | |
ความเหมาะสมของผลิตภัณฑ์ | ประเภทอุปกรณ์ | เวเฟอร์, MEMS, เซนเซอร์รับแสงอินฟราเรด, CCD/CMOS, ชิปกลับด้าน |
วัสดุ | เรซินอีพ็อกซี่, ปASTEเงิน, สารยึดที่นำความร้อน, ฯลฯ | |
ขนาดภายนอก | น้ำหนัก | ประมาณ 120KG |
ขนาด | 800mm × 700mm × 650mm (ประมาณ) | |
ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม | พลังการเข้า | 220AC ± 5%, 50Hz, 10A |
แหล่งจ่ายอากาศอัด (ไนโตรเจน) | 0.2MPa ~ 0.8MPa | |
สภาพแวดล้อมอุณหภูมิ | 25°C ± 5°C | |
สภาพแวดล้อมความชื้น | 30% RH ~ 60% RH |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved