|
ขนาดของเวเฟอร์
|
เวเฟอร์ขนาด 4”~8”
|
|
ความหนาของเวเฟอร์
|
100~750 ไมครอน
|
|
ประเภทเวเฟอร์
|
Si, SiC, GaN, หรือวัสดุอื่นๆ
|
|
ประเภทฟิล์ม
|
ฟิล์มสีน้ำเงิน, ฟิล์ม UV
ความกว้าง: 230 ~ 300 มม. ความยาว: 100 ม. ความหนา: 0.05 ~ 0.2 มม. |
|
แหวนบรรทุกเวเฟอร์
|
6”, 8” DISCO
|
|
วิธีการโหลดและ缷
|
การวางและการถอดเวเฟอร์/แหวนบรรทุกด้วยมือ
|
|
ความแม่นยำในการวางฟิล์ม
|
±0.5มม.
แผ่นเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 6” และ 8” สำหรับเวเฟอร์ขนาด 6” และ 8” |
|
ปั๊มสุญญากาศ
|
Minder-Hightech
|
|
การควบคุมไฟฟ้าสถิต
|
พัดลมดีไอโอไนเซชัน
|
|
หน่วยควบคุม
|
ควบคุมโดย PLC พร้อมหน้าจอสัมผัสขนาด 10”
|
|
การป้องกันความปลอดภัย
|
ติดตั้งระบบป้องกันแสงเส้นและปุ่มหยุดฉุกเฉิน
|
|
แรงดันไฟฟ้าจ่าย
|
ไฟฟ้าเฟสเดียว AC 220V, 16A
|
|
อากาศอัด
|
0.45~0.6MPa อัตราการไหล 70L/min
|
|
ตัวเครื่อง
|
โครงสร้างโลหะเคลือบพลาสติกสีขาว
|
|
ระดับเสียง
|
850มม. (กว้าง)*1750มม. (ลึก)*1970มม. (สูง)
|
|
น้ำหนักสุทธิ
|
480กก.
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
