เครื่องจัดแนว / เครื่องจัดแนวแบบโฟโตลิโทกราฟี ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

เครื่องจัดตำแหน่งหน้ากาก

Mask Aligner ใช้เป็นหลักในการพัฒนาและผลิตวงจรรวมขนาดเล็กและขนาดกลาง ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์คลื่นเสียงพื้นผิว วงจรฟิล์มบาง และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
Mask Aligner หรือที่เรียกว่า: เครื่องจัดตำแหน่งหน้ากาก ระบบรับแสง ระบบการพิมพ์หิน ฯลฯ เป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการผลิตชิป ใช้เทคโนโลยีที่คล้ายกับการพิมพ์ภาพถ่ายเพื่อพิมพ์ลวดลายละเอียดบนหน้ากากลงบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนโดยการสัมผัสแสง
ส่วนใหญ่ประกอบด้วย: โต๊ะปรับตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูง, กล้องจุลทรรศน์แนวตั้งแบบสองตาแยก, กล้องจุลทรรศน์แนวนอนแบบสองตาแยก, กล้องดิจิตอล, ระบบหน่วยความจำภาพคอมพิวเตอร์, หัวรับแสงแหล่งกำเนิดแสงหลายจุด (ตาบิน), ระบบควบคุม PLC, ระบบนิวแมติก ระบบสูญญากาศ ปั๊มสุญญากาศที่เชื่อมต่อโดยตรง โต๊ะทำงานป้องกันการสั่นสะเทือนรอง และกล่องอุปกรณ์เสริม

Aligner /Alignment Machine ผลิตภาพพิมพ์หิน

Aligner /Alignment Machine โรงงานถ่ายภาพหิน

ลักษณะเฉพาะ

1. หัวสัมผัสฟลายอายที่มีความสม่ำเสมอสูง / กลไกการปรับระดับการลอยตัวของอากาศ / การเปิดรับแคลมป์สุญญากาศที่เชื่อถือได้ ความละเอียดสูง
2. วิธีการจัดแนวโดยใช้มาส์กทำให้การป้อนวัสดุมีความเสถียรและสม่ำเสมอ ซึ่งจะทำให้แรงโน้มถ่วงและแรงของไกด์มีความสม่ำเสมอ
3. ใช้ไกด์ตรงแบบไม่มีช่องว่าง ความแม่นยำสูง ความเร็วที่รวดเร็ว
4. ทุกรุ่นเหมาะที่จะใช้งานร่วมกับโฟโตรีซิสเตอร์มาตรฐานทุกรุ่น เช่น AZ, Shipley, SU 8
5. ทุกรุ่น คุณภาพรูปแบบที่ถ่ายโอนโดยระบบไปยังการใช้งานมาสก์ซับสเตรต 5 ควรเหมือนกับคุณภาพรูปแบบหลังจากการใช้มาสก์ครั้งแรก
6. เวลาเปิดรับแสงปรับได้ระหว่าง 1 วินาทีถึง 1 ชั่วโมง ความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง 1 µm

ผู้จัดจำหน่ายเครื่องจัดตำแหน่ง / เครื่องจัดตำแหน่ง

รายละเอียดการพิมพ์หินของ Aligner / Alignment Machine

Specification

รุ่น	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
ประเภทการสัมผัส	ด้านเดียว			การจัดตำแหน่งสองด้านและการเปิดรับแสงสองด้าน
โหมดรับแสง	การสัมผัสแบบแข็ง อ่อน และไม่สัมผัส
ปริมาณหัวสัมผัส	1 หัวแสง			2 หัวแสง
ชนิดของแหล่งกำเนิดแสง	GCQ350 โคมไฟปรอททรงกลม						หัวฉายรังสี UV LED
วิธีการทำความเย็น	อากาศเย็น
พื้นที่เปิดรับแสง	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
โหมดรับแสง	เข้ากันได้กับหน้าสัมผัสแข็งนุ่ม
ความไม่สม่ำเสมอของการรับแสง	Φ100มม.<±3%<>	≤± 3%
ความละเอียดของแสง	2μm	1 ไมครอน
ความเข้มของลำแสง (365 นาโนเมตร)	≥6มิลลิวัตต์/ซม.²	≤40มิลลิวัตต์/ซม.2	≥5มิลลิวัตต์/ซม.2		0~30มิลลิวัตต์/ซม.2
ความไม่เท่าเทียมกันของลำแสง	≤± 4%	≤± 3%
มุมเบี่ยงเบนสูงสุดของแสง UV	° 4	° 3
ช่วงแสง	≤Φ117มม	Φ117mm	≤Φ117มม		ด้านหน้าและด้านหลัง ≥ Φ115มม
โหมดการชดเชยข้อผิดพลาดของลิ่ม	การชดเชยอัตโนมัติครึ่งวงกลม			กำจัดอัตโนมัติ		ชดเชยอัตโนมัติ 3 จุด
การเดินทางของแกน X และ Y	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 มม
การเดินทางของ θ	± 3 °	≤5°	≤±5°		≤0.5°
ความละเอียดการเคลื่อนที่ของซับสเตรต XYZ	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
ระบบกล้องจุลทรรศน์	กล้องจุลทรรศน์กระบอกเดียวสองตัว / กล้อง CCD สองตัว
แสดงขนาด	นิ้ว 15
ความละเอียดของระบบภาพ	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
ระยะการวัดมาส์กและวัสดุพิมพ์	0.5 μm	0.3 μm
มิติทแยงมุมของพื้นผิวเป้าหมาย CCD	1/3,(6มม.)						40 มม. ～ 110 มม
การตั้งค่าขนาดโต๊ะ	≤ สี่เหลี่ยมจัตุรัส 5*5 นิ้ว (ข้อกำหนดที่ปรับแต่งได้)
ขนาดพื้นผิว	Φ 100 มม. หรือ 100 * 100 มม. สี่เหลี่ยม	สี่เหลี่ยมจัตุรัส 60*49.5 มม	2 "-4"		1"x1"-5"x5"
ความหนาของพื้นผิว	1-3mm	≤5มม	1-3mm		≤5มม
ปั๊มสุญญากาศ	ปิดเสียงแบบไร้น้ำมัน (-0.07~-0.08MPα)
ทำความสะอาดอากาศอัด	≥0.4MPα
พาวเวอร์ซัพพลาย	ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V±10% 50เฮิร์ต 1.5KW
เกรดห้องสะอาด	ชั้นฮิต
อุณหภูมิห้องที่สะอาด	25 ℃± 2 ℃
ความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาด	≤60%
แอมพลิจูดการสั่นสะเทือนของห้องสะอาด	≤4ไมครอน
ขนาดอุปกรณ์	1300 × 720 × 1600 มม				1500 × 800 × 1600 มม
น้ำหนักอุปกรณ์	200กิโลกรัม				280กิโลกรัม

การผลิตระบบการจัดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูงจำเป็นต้องมีกระบวนการทางกลที่มีความแม่นยำเกือบสมบูรณ์แบบ ปัญหาทางเทคนิคอีกประการหนึ่งของระบบการจัดตำแหน่งคือกล้องจุลทรรศน์การจัดตำแหน่ง เพื่อเพิ่มขอบเขตการมองเห็นของกล้องจุลทรรศน์ เครื่องจักรการพิมพ์หินระดับไฮเอนด์จำนวนมากจึงใช้ไฟ LED มีระบบการจัดตำแหน่งสองชุดพร้อมฟังก์ชันการโฟกัส ส่วนใหญ่ประกอบด้วยตาสองข้างและมุมมองสองช่องโดยเล็งไปที่ส่วนหลักของกล้องจุลทรรศน์ เลนส์ใกล้ตาหนึ่งคู่ และเลนส์ใกล้วัตถุหนึ่งคู่ (เครื่องพิมพ์หินมักจะให้ช่องมองภาพและเลนส์ใกล้วัตถุที่มีกำลังขยายต่างกันสำหรับผู้ใช้) ฟังก์ชั่นของระบบการจัดตำแหน่ง CCD คือการขยายเครื่องหมายการจัดตำแหน่งของหน้ากากและตัวอย่าง และแสดงภาพไว้บนจอภาพ

ระยะชิ้นงานเป็นส่วนสำคัญของเครื่องพิมพ์หิน ซึ่งประกอบด้วยระยะการเคลื่อนไหวโดยรวมของตัวอย่างหน้ากาก (XY), ระยะการเคลื่อนที่สัมพัทธ์ของตัวอย่างหน้ากาก (XY), ระยะการหมุน, กลไกการปรับระดับตัวอย่าง, กลไกการโฟกัสของตัวอย่าง , เวทีเวเฟอร์, ที่หนีบหน้ากาก และเวทีหน้ากากแบบดึงออก กลไกการปรับระดับตัวอย่างประกอบด้วยที่นั่งแบบบอลและซีกโลก ในกระบวนการปรับระดับ ประการแรก แรงดันอากาศจะถูกนำไปใช้กับที่นั่งลูกบอลและซีกโลก จากนั้นที่นั่งลูกบอล ซีกโลก และชิ้นส่วนตัวอย่างจะเลื่อนขึ้นด้านบนผ่านวงล้อเลื่อนโฟกัส เพื่อให้สามารถปรับระดับชิ้นส่วนตัวอย่างกับหน้ากากได้ จากนั้น โซลินอยด์วาล์วสามทางสองตำแหน่งจะเปลี่ยนบ่าลูกและซีกโลกเป็นสุญญากาศเพื่อล็อคเพื่อรักษาสถานะการปรับระดับ

Minder-Hightech นำเสนอเทคโนโลยีขั้นสูงสำหรับการพิมพ์หินด้วยแสงผ่าน Aligner/Alignment Machine

คุณกำลังประสบปัญหากับความแม่นยำที่ไม่เพียงพอในขณะพิมพ์วงจรบนผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ของคุณหรือไม่? ด้วย Aligner/Alignment Machine ของ Minder-Hightech คุณจะวางใจได้ว่าคุณจะได้รับความแม่นยำระดับสูงในการผลิตวงจรพิมพ์ของคุณ

ด้วยผลิตภัณฑ์ล้ำสมัยนี้ คุณสามารถถ่ายโอนภาพที่มีความละเอียดสูงไปยังผลิตภัณฑ์ได้อย่างราบรื่นโดยใช้การพิมพ์หินด้วยแสง เครื่องนี้รับประกันความถูกต้องแม่นยำผ่านระบบปฏิบัติการในการจัดแนววัสดุให้เข้ากับภาพ

หลังจากพิมพ์และอัปโหลดรูปภาพแล้ว เครื่องจะคำนวณปริมาณการรับแสงที่ต้องการและวิธีจัดแนววัสดุกับการกล่าวถึงรูปภาพ การคำนวณนี้ทำได้โดยใช้ซอฟต์แวร์คอมพิวเตอร์ใหม่ล่าสุดที่สามารถอัพเดตให้ทันกับการพัฒนาทางเทคโนโลยีในอุตสาหกรรมการผลิต

จะช่วยให้คุณสร้างวงจรได้หลากหลาย รวมถึงวงจรไมโคร วงจรความถี่วิทยุ (RF) และวงจรในตัว หน่วยนี้สามารถสร้างความลึกในการกัด ความกว้างของราง และการวางแนวแบบชั้นต่อชั้นได้ดีที่สุด โดยการเพิ่มขั้นตอนเสริมต่างๆ เช่น การกัดด้วยสารเคมี และการชุบด้วยไฟฟ้า

ข้อได้เปรียบของผลิตภัณฑ์ของเราอยู่ที่ความสามารถในการจัดวางตำแหน่งที่สูง ซึ่งรับประกันว่ารูปแบบจะถูกจัดวางไว้บนวัสดุอย่างแม่นยำ คุณสามารถพิมพ์การออกแบบที่ซับซ้อนจำนวนมากได้อย่างสะดวกโดยไม่มีการเสียรูปใดๆ

ใช้งานง่าย กะทัดรัด และมีประสิทธิภาพ ทำให้เหมาะสำหรับโรงงานผลิตต่างๆ หรือตามขนาดของบริษัท นอกจากนี้ อุปกรณ์ของเรายังมาพร้อมกับการบำรุงรักษาด้วยตนเองและการฝึกอบรมนอกสถานที่พร้อมทีมเจ้าหน้าที่สนับสนุนด้านเทคนิคของเรา

เครื่อง Aligner/Alignment ของ Minder-Hightech ใช้เทคโนโลยีการพิมพ์หินด้วยแสงเพื่อช่วยให้คุณได้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุดในขณะที่พิมพ์วงจรของคุณ สัมผัสประสบการณ์เทคโนโลยีระดับใหม่ที่ให้ความแม่นยำและเที่ยงตรงสูงซึ่งวิธีการพิมพ์แบบเดิมๆ ไม่สามารถเทียบได้ เครื่องจัดตำแหน่ง/เครื่องจัดแนวของ Minder-Hightech คือสิ่งที่บริษัทผู้ผลิตของคุณต้องการเพื่อก้าวนำหน้าคู่แข่งหนึ่งก้าว ติดต่อเราวันนี้เพื่อรับประโยชน์จากเทคโนโลยี Aligner/Alignment Machine ที่ดีที่สุดในตลาด