เครื่องจัดแนว/เครื่องจัดตำแหน่งสำหรับโฟโตลิธ็อกกราฟี , China เครื่องจัดแนว/เครื่องจัดตำแหน่งสำหรับโฟโตลิธ็อกกราฟี Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

เครื่องลิธอกราฟีเครื่องจัดแนวมาสก์

เครื่องจัดแนวมาสก์ใช้หลักในการพัฒนาและผลิตวงจรรวมขนาดเล็กถึงกลาง เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์คลื่นเสียงผิวบาง วงจรฟิล์ม溥 และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์พลังงาน
เครื่อง Mask Aligner หรือที่รู้จักกันในชื่อ: เครื่องปรับตำแหน่งหน้ากาก, เครื่องเปิดแสง, ระบบลิธอกราฟี เป็นต้น เป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการผลิตชิป มันใช้เทคโนโลยีคล้ายกับการพิมพ์ภาพถ่ายเพื่อพิมพ์ลวดลายละเอียดบนแผ่นแมสก์ลงบนซิลิกอนเวเฟอร์โดยการเปิดแสง
ประกอบขึ้นอย่างหลักจาก: โต๊ะทำงานปรับตำแหน่งความแม่นยำสูง, กล้องจุลทรรศน์แบบแยกสนามทัศนวิสัยสองตาแนวตั้ง, กล้องจุลทรรศน์แบบแยกสนามทัศนวิสัยสองตาแนวนอน, กล้องดิจิทัล, ระบบบันทึกภาพคอมพิวเตอร์, หัวเปิดแสงหลายจุด (fly eye) ระบบควบคุม PLC, ระบบลม, ระบบสุญญากาศ, เครื่องสูบสุญญากาศแบบเชื่อมต่อตรง, โต๊ะทำงานป้องกันแรงสั่นสะเทือนระดับสอง และกล่องอุปกรณ์เสริม

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

ลักษณะเฉพาะ

1. หัวเปิดแสง fly-eye ความสม่ำเสมอสูง / กลไกการปรับระดับด้วยอากาศลอยตัว / การเปิดแสงด้วยการยึดด้วยสุญญากาศที่น่าเชื่อถือ ความละเอียดสูง
2. วิธีการปรับตำแหน่งโดยใช้แมสก์ ทำให้มั่นคงและสะดวกในการป้อนวัสดุ ซึ่งรับรองความสม่ำเสมอของแรงโน้มถ่วงและการใช้แรง
3. ใช้รางเลื่อนแบบไม่มีช่องว่าง ความแม่นยำสูง ความเร็วสูง
4. รุ่นทั้งหมดเหมาะสมสำหรับการทำงานกับโฟโต้เรสิสต์มาตรฐานทั้งหมด เช่น AZ, Shipley, SU 8.
5. รุ่นทั้งหมด คุณภาพของลวดลายที่ถ่ายโอนโดยระบบไปยังวัสดุรองรับหลังจากการใช้งานหน้ากาก 5 ครั้งควรมีคุณภาพเท่ากับลวดลายหลังจากการใช้งานหน้ากากครั้งแรก
6. เวลาการเปิดแสงปรับได้ระหว่าง 1 วินาทีถึง 1 ชั่วโมง ความแม่นยำของการจัดแนว 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

ข้อมูลจำเพาะ

รุ่น	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
ประเภทการเปิดแสง	ด้านเดียว			การจัดแนวสองด้านและการเปิดแสงสองด้าน
รูปแบบการเผชิญ	การสัมผัสแบบแข็ง แบบอ่อน และการเปิดแสงแบบไม่สัมผัส
จำนวนหัวสัมผัสแสง	1 หัวสัมผัสแสง			2 หัวสัมผัสแสง
ประเภทของแหล่งกำเนิดแสง	หลอดไส้มีcury ทรงกลม GCQ350						หัวสัมผัสแสง LED UV
วิธีการระบายความร้อน	การเย็นอากาศ
พื้นที่สัมผัสแสง	Φ100 มม	110×110mm	Φ100 มม		150mm×150mm
รูปแบบการเผชิญ	เข้ากันได้กับการสัมผัสแบบแข็งและนุ่ม
ความไม่สม่ำเสมอของการสัมผัสแสง	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
ความละเอียดของการสัมผัสแสง	2μm	1 μm
ความเข้มของลำแสง (365 นาโนเมตร)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
ความไม่สม่ำเสมอของลำแสง	≤±4%	≤ ± 3%
มุมเบี่ยงเบนสูงสุดของแสง UV	4°	3°
พิสัยการส่องสว่าง	≤Φ117มม.	Φ117มม.	≤Φ117มม.		ด้านหน้าและด้านหลัง ≥ Φ115มม.
โหมดชดเชยข้อผิดพลาด契	การชดเชยอัตโนมัติแบบครึ่งทรงกลม			การกำจัดอัตโนมัติ		การชดเชยอัตโนมัติ 3 จุด
การเดินทางของแกน X และ Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
การเดินทางของ θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
ความละเอียดการเลื่อนตำแหน่งของวัสดุ XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
ระบบกล้องจุลทรรศน์	กล้องจุลทรรศน์ลำกล้องเดี่ยวสองตัว / กล้อง CCD สองตัว
ขนาดการแสดง	15 นิ้ว
ความละเอียดของระบบการถ่ายภาพ	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
ระยะวัดของแมสก์และsubstrate	0.5 µm	0.3 µm
มิติทแยงมุมของพื้นผิวเป้าหมาย CCD	1/3,（6mm）						40mm～110mm
ขนาดโต๊ะตั้งค่า	≤ จัตุรัส 5*5 นิ้ว (ข้อมูลจำเพาะที่สามารถปรับแต่งได้)
ขนาดของแผ่นแก้ว	Φ 100mm หรือ จัตุรัส 100*100mm	จัตุรัส 60*49.5mm	2”-4”		1"x1"-5"x5"
ความหนาของsubstrate	1-3 มม	≤5 มม.	1-3 มม		≤5 มม.
ปั๊มสุญญากาศ	น้ำมันฟรี ไร้เสียง (-0.07～-0.08MPα)
อากาศอัดที่สะอาด	≥0.4MPα
การให้พลังงาน	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
ระดับห้องสะอาด	คลาส 100
อุณหภูมิห้องสะอาด	25℃±2℃
ความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาด	≤60%
แอมพลิจูดการสั่นสะเทือนของห้องสะอาด	≤4μm
ขนาดของเครื่อง	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
น้ำหนักอุปกรณ์	200 กิโลกรัม				280 กิโลกรัม

การผลิตระบบการจัดแนวที่มีความแม่นยำสูงจำเป็นต้องมีกระบวนการกลไกที่เกือบสมบูรณ์แบบ อีกปัญหาทางเทคนิคหนึ่งของระบบการจัดแนวคือกล้องจุลทรรศน์สำหรับการจัดแนว เพื่อเพิ่มมุมมองของกล้องจุลทรรศน์ หลายเครื่องพิมพ์แสง UV ระดับสูงใช้แสง LED มีระบบการจัดแนวสองชุดที่มีฟังก์ชันโฟกัส โดยหลักๆ จะประกอบด้วยตาสองข้างและสองมุมมองที่มุ่งเน้นไปที่ตัวกล้องจุลทรรศน์ พร้อมเลนส์ตากระบอกสองชุดและเลนส์วัตถุสองชุด (เครื่องพิมพ์แสง UV มักให้เลนส์ตากระบอกและเลนส์วัตถุที่มีขนาดขยายแตกต่างกันสำหรับผู้ใช้) หน้าที่ของระบบการจัดแนว CCD คือการขยายเครื่องหมายการจัดแนวของแมสก์และตัวอย่าง และแสดงภาพบนจอภาพ

ชุดเวทีชิ้นงานเป็นส่วนสำคัญของเครื่องลิธอกราฟี ซึ่งประกอบด้วยเวทีการเคลื่อนที่โดยรวมของตัวอย่างแมสก์ (XY), เวทีการเคลื่อนที่สัมพัทธ์ของตัวอย่างแมสก์ (XY), เวทีหมุน, กลไกปรับระดับตัวอย่าง, กลไกโฟกัสตัวอย่าง, เวทีแผ่นเวเฟอร์, จับแมสก์ และเวทีดึงออกสำหรับแมสก์ กลไกปรับระดับตัวอย่างประกอบด้วยฐานลูกบอลและครึ่งทรงกลม ในกระบวนการปรับระดับ จะเริ่มจากการใช้อากาศกดเข้าสู่ฐานลูกบอลและครึ่งทรงกลม จากนั้นฐานลูกบอล ครึ่งทรงกลม และชิ้นตัวอย่างจะขยับขึ้นผ่านล้อปรับโฟกัส เพื่อให้ชิ้นตัวอย่างสามารถปรับระดับกับแมสก์ได้ จากนั้นวาล์วโซเลนอยด์สามทางสองตำแหน่งจะเปลี่ยนฐานลูกบอลและครึ่งทรงกลมไปสู่สุญญากาศเพื่อล็อกและรักษาสถานะการปรับระดับ

Minder-Hightech นำเทคโนโลยีขั้นสูงสำหรับการพิมพ์แสงมาให้คุณผ่านเครื่อง Aligner/Alignment Machine

คุณกำลังเผชิญกับปัญหาเรื่องความแม่นยำไม่เพียงพอขณะพิมพ์วงจรบนผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ของคุณหรือไม่? ด้วยเครื่อง Aligner/Alignment Machine จาก Minder-Hightech คุณสามารถมั่นใจได้ว่าจะได้รับความแม่นยำในระดับสูงสำหรับการผลิตวงจรที่พิมพ์ของคุณ

ด้วยสินค้าตัวนี้ คุณสามารถถ่ายโอนภาพความละเอียดสูงไปยังผลิตภัณฑ์โดยใช้กระบวนการ photolithography ได้อย่างราบรื่น เครื่องนี้รับประกันความแม่นยำผ่านระบบปฏิบัติการที่จัดตำแหน่งวัสดุให้ตรงกับภาพ

หลังจากที่ภาพถูกพิมพ์และอัปโหลดแล้ว เครื่องจะคำนวณปริมาณแสงที่ต้องการและการจัดตำแหน่งของวัสดุตามภาพ การคำนวณนี้ทำโดยใช้ซอฟต์แวร์คอมพิวเตอร์ล่าสุดซึ่งสามารถอัปเดตได้เพื่อให้ทันกับการพัฒนาทางเทคโนโลยีในอุตสาหกรรมการผลิต

มันจะช่วยให้คุณสามารถสร้างชิ้นงานหลากหลายประเภท รวมถึงวงจรไมโครซิสเท็ม วงจรความถี่วิทยุ (RF) และวงจรที่ฝังตัวได้ อุปกรณ์นี้สามารถสร้างความลึกของการกัด เส้นทางของแทร็ก และการจัดเรียงระหว่างเลเยอร์อย่างดีที่สุดผ่านการเพิ่มขั้นตอนเสริมต่าง ๆ เช่น การกัดด้วยเคมีและกระบวนการเคลือบโลหะไฟฟ้า

ข้อได้เปรียบของผลิตภัณฑ์ของเราอยู่ที่ความสามารถในการจัดเรียงที่แม่นยำ ซึ่งรับประกันว่าลวดลายจะถูกวางตำแหน่งบนวัสดุอย่างละเอียดอ่อน คุณสามารถพิมพ์การออกแบบที่ซับซ้อนหลายแบบโดยไม่มีความผิดรูปใด ๆ ได้อย่างสะดวก

อุปกรณ์นี้ใช้งานง่าย มีขนาดกะทัดรัด และมีประสิทธิภาพสูง ทำให้เหมาะสำหรับโรงงานผลิตหรือขนาดของบริษัทต่าง ๆ นอกจากนี้ อุปกรณ์ของเราพร้อมด้วยคู่มือการบำรุงรักษาและการฝึกอบรมในสถานที่โดยทีมสนับสนุนทางเทคนิคของเรา

เครื่องจัดตำแหน่ง/ปรับแนวของ Minder-Hightech ใช้เทคโนโลยีโฟโตลิธอกราฟีเพื่อช่วยให้คุณได้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุดขณะพิมพ์วงจรของคุณ สัมผัสกับระดับเทคโนโลยีใหม่ที่มอบความแม่นยำและความละเอียดที่เทคโนโลยีการพิมพ์แบบเดิมไม่สามารถเทียบได้ เครื่องจัดตำแหน่ง/ปรับแนวของ Minder-Hightech เป็นสิ่งที่บริษัทการผลิตของคุณต้องการเพื่ออยู่เหนือคู่แข่งเสมอ ติดต่อเราในวันนี้เพื่อรับประโยชน์จากเทคโนโลยีเครื่องจัดตำแหน่ง/ปรับแนวที่ดีที่สุดในตลาด