เครื่องกำจัดโฟโตเรซิสต์พลาสมาแห้ง ICP แบบ ASKING DESCUM ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย และโรงงานในประเทศจีน

รายละเอียดสินค้า

เครื่องกำจัดแสงพลาสม่าแบบแห้ง ICP

เครื่องกำจัดโฟโตรีซิสแบบพลาสมาแห้งของ ICP ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการกำจัดโพลีเมอร์, ASHING, DESCUM, การกำจัดโฟโตรีซิสหลังจากการฝังไอออน และการกำจัดสารตกค้างที่พื้นผิว ช่องนี้เหมาะสำหรับตัวอย่างขนาด 4-8 นิ้ว โดยชิ้นงาน 1-2 ชิ้นจะผ่านกระบวนการในกระบวนการเดียว

ขี้เถ้า
การกำจัดโพลีเมอร์
การกำจัดชั้นหน้ากากแข็งแบบแห้ง
การกำจัดความต้านทานแสงหลังจากการฝังไอออน
การกำจัดความต้านทานแสงในกระบวนการ BAW/SAW
ซักแห้งชั้นฟิล์มกราฟิกป้องกันแสงสะท้อน
การกำจัดสิ่งตกค้างบนพื้นผิว
การทำความสะอาดพื้นผิวหลังจากการแกะสลัก
เดสคัม

รายละเอียดเครื่องกำจัดโฟโตรีซิสแบบพลาสมาแบบแห้งของ ASKING DESCUM

โรงงานเครื่องกำจัดโฟโตรีซิสแบบพลาสมาแบบแห้ง ASKING DESCUM

Specification

พลาสม่า			RF	RF
พลัง	ICP	1000w	1000w
พลัง		BIAS	600w (ตัวเลือก)	600w (ตัวเลือก)
ขอบเขตที่สามารถใช้งานได้			4~8寸	4~8寸
จำนวนชิ้นการประมวลผลเดี่ยว			1	2
ขนาดลักษณะที่ปรากฏ			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
ระบบควบคุม			ระบบควบคุมอุตสาหกรรม	ระบบควบคุมอุตสาหกรรม
ระดับการทำงานอัตโนมัติ			อัตโนมัติ	อัตโนมัติ