การลบโฟโตรีซิสต์ ASKING DESCUM เครื่องลบรอยโฟโตรีซิสต์แบบ ICP Dry Plasma , China การลบโฟโตรีซิสต์ ASKING DESCUM เครื่องลบรอยโฟโตรีซิสต์แบบ ICP Dry Plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

ICP พลาสมาแห้งการลบ Photoresist เครื่อง

ICP พลาสมาแห้งการลบ Photoresist เครื่องใช้สำหรับการลบโพลิเมอร์, ASHING, DESCUM, การลบ Photoresist หลังจากการปลูกฝังไอออน, และการลบสารตกค้างบนผิว ช่องเหมาะสำหรับตัวอย่างขนาด 4-8 นิ้ว โดยประมวลผล 1-2 ชิ้นในกระบวนการเดียว

การล้าง
การลบโพลิเมอร์
การลบแบบแห้งของชั้นแมสก์แข็ง
การลบโฟโตรีซิสต์หลังจากการฝังไอออน
การลบโฟโตรีซิสต์ในกระบวนการ BAW/SAW
การทำความสะอาดแบบแห้งของชั้นฟิล์มกราฟิกป้องกันแสงสะท้อน
การกำจัดสารตกค้างบนผิว
การทำความสะอาดผิวหลังการแกะสลัก
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

ข้อมูลจำเพาะ

พลาสม่า			RF	RF
พลังงาน	ICP	1000W	1000W
พลังงาน		BIAS	600w(option)	600w(option)
ขอบเขตการใช้งาน			4~8 ชุ่น	4~8 ชุ่น
จำนวนแผ่นที่ประมวลผลเดี่ยว			1	2
ขนาดการปรากฏตัว			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
การควบคุมระบบ			ระบบควบคุมอุตสาหกรรม	ระบบควบคุมอุตสาหกรรม
ระดับอัตโนมัติ			อัตโนมัติ	อัตโนมัติ