เครื่องทำความสะอาดโพสต์ CMP อัตโนมัติ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงานเครื่องทำความสะอาดโพสต์ CMP อัตโนมัติของจีน

รายละเอียดสินค้า

อุปกรณ์ทำความสะอาดหลังการขัดเวเฟอร์ด้วยเคมีกล

ซีเอ็มพี โพสต์ เชน

คุณสมบัติของเครื่อง

ความสามารถกระบวนการที่แข็งแกร่ง
การแปรงแบบห้องคู่ สามารถใช้งานได้กับกระบวนการต่างๆ มากมาย
อุปกรณ์ใช้พื้นที่น้อย ขนาด 2200 * 800 * 2200 (มม.)

แอพลิเคชันฟิลด์

CMP 6-8 นิ้วหลังการแปรง
การทำความสะอาดหลังการบด SIC หรือวัสดุอื่น ๆ

ค่าพารามิเตอร์ทางเทคนิค

ทำความสะอาดหลัง CMP 4 นิ้ว และ 6 นิ้ว
การออกแบบห้องคู่ การทำงานของห้องอิสระ เปียกและแห้ง หรือแห้งและแห้ง
เครื่องอบแห้งแบบความเร็วสูง SRD

หน่วย LoadPort หน่วยโหลด

LoadPort คือหน่วยโหลดของอุปกรณ์นี้

การป้อนอาหารแบบเปียก
มีฟังก์ชั่นสเปรย์เพิ่มความชื้น

ชุดแปรง ชุดทำความสะอาดเวเฟอร์

หน่วยห้องคู่ที่สามารถรองรับสารทำความสะอาดสองชนิดที่แตกต่างกัน
ตำแหน่งการแปรงสามารถปรับได้ตามสูตรสายพานลำเลียง

หน่วย SRD, หน่วยอบแห้งเวเฟอร์

เครื่องอบผ้าแบบหนีบเวเฟอร์ ความเร็วสูงสุด 4000 รอบต่อนาที
สามารถทำความสะอาด AS บนพื้นผิวเวเฟอร์และพ่น DIW ได้

หน่วยขนถ่าย หน่วยตัด

หน่วย UnLoad มี FFU อิสระเพื่อให้แน่ใจว่าผลลัพธ์ของเวเฟอร์มีความสะอาด

สายพานลำเลียง

พื้นที่เปียกเป็นสายพานลำเลียง

พื้นที่แห้งสำหรับการเทเลพอร์ตของหุ่นยนต์

คำอธิบายหน่วยแปรง

ตามที่แสดงในรูปด้านซ้าย ชุดแปรงของอุปกรณ์นี้ประกอบด้วยชุดแปรง 1 ชุด คือ BU2 BUXNUMX

สามารถปรับแรงกดแปรงของแต่ละหน่วยได้แยกกัน (ตามที่ระบุไว้ในสูตร) และชุดใบมีดแปรงแต่ละหน่วยสามารถล้างด้วยสารทำความสะอาดทางเคมีที่แตกต่างกันแยกกัน

แปรงของเครื่องนี้ใช้แปรง PVA ซึ่งเป็นประเภทที่ใช้กันทั่วไปในท้องตลาด
การส่งผ่านระหว่างโพรงคือสายพานลำเลียง มี DIW RINSE อยู่ภายในโพรง

หน่วย SRD

หน่วย SRD มาพร้อมกับ CHUCK และ AS ARM ซึ่งสามารถทำความสะอาดทางกายภาพและปั่นแห้งพื้นผิวเวเฟอร์ได้

Specification

ขนาดอุปกรณ์:	2200 * 800 * 2200 (มม.)
วิธีการโหลดและขนถ่าย	แห้งใน/เปียกใน/แห้งออก
จำนวนหน่วยการแปรง	2
จำนวนหน่วย SRD	1
วิธีการขนส่ง	ระบบขนส่งด้วยสายพานโซนเปียก ระบบขนส่งด้วยหุ่นยนต์โซนแห้ง
ขนาดเครื่องพร้อมห้องแปรง 1 ห้อง คือ 1850 * 800 * 2200

การบรรจุและการจัดส่ง

ข้อมูล บริษัท

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาของเราทั้งหมดมีการแข่งขันและต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าและความซับซ้อนในการปรับแต่งอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างแก่คุณได้ แต่คุณอาจต้องเสียค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากที่แผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเสียก่อน จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า หลังจากนั้น
อุปกรณ์พร้อมแล้วและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะจัดส่งให้

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์แล้ว เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาที่หน้างานเพื่อตรวจสอบอุปกรณ์ได้

5. การติดตั้งและการดีบัก:
เมื่ออุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณแล้ว เราจะส่งวิศวกรไปติดตั้งและแก้ไขอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาค่าบริการแยกต่างหากให้กับคุณ

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:

อุปกรณ์ของเรามีระยะเวลารับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลารับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและจำเป็นต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเงินในราคาต้นทุนเท่านั้น