Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
รับใบเสนอราคา

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

หน้าแรก
เกี่ยวกับเรา
MH Equipment
สารละลาย
ผู้ใช้งานต่างประเทศ
วิดีโอ
ติดต่อเรา
หน้าแรก> MH Equipment> เครื่องบดและขัดเงา
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ
  • การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ

การทำความสะอาดหลัง CMP อัตโนมัติ

ขอใบเสนอราคาฟรี
คำอธิบายสินค้า

อุปกรณ์ทำความสะอาดหลังการขัดผิวด้วยเคมีและกลไก (CMP)

การทำความสะอาดหลัง CMP

คุณสมบัติของเครื่อง

ความสามารถในการประมวลผลสูง
การแปรงสองห้อง มีขอบเขตการประมวลผลที่หลากหลาย
เครื่องจักรใช้พื้นที่น้อย ขนาด 2200 * 800 * 2200 (มม.)

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

แปรงหลัง CMP ขนาด 6-8 นิ้ว
การทำความสะอาดหลังจากการขัด SIC หรือวัสดุอื่นๆ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

การทำความสะอาดหลังจาก CMP ขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว
ดีไซน์สองห้องปฏิบัติการ ห้องปฏิบัติการแยกกันทำงานได้เปียกลงไปและแห้งออกมา หรือแห้งลงไปและแห้งออกมา
การทำให้แห้งด้วยการหมุนความเร็วสูง SRD

หน่วย LoadPort, หน่วยโหลด

LoadPort เป็นหน่วยโหลดของเครื่องนี้
ระบบป้อน Wet Cassette
มีฟังก์ชั่นพ่นเพื่อเพิ่มความชื้น

หน่วยแปรง, หน่วยทำความสะอาด Wafer

หน่วยห้องคู่ สามารถรองรับสารทำความสะอาดสองชนิดที่แตกต่างกันได้
ตำแหน่งการแปรงสามารถปรับได้ตามสูตร Belt Conveyor

หน่วย SRD, หน่วยอบแห้ง Wafer

หน่วยซักแห้งแบบ Wafer clamp ด้วยความเร็วสูงสุด 4000RPM
สามารถทำความสะอาดพื้นผิวของ Wafer โดยใช้ AS และฉีดน้ำ DIW ได้

หน่วย UNLOAD, หน่วยตัด

หน่วย UnLoad มี FFU ที่เป็นอิสระเพื่อรับรองความสะอาดของการส่งออก Wafer

สายพานลำเลียง

พื้นที่เปียกคือ Belt Conveyor
พื้นที่แห้งสำหรับการเคลื่อนย้ายของ Robot

คำอธิบายหน่วยแปรง

ตามรูปด้านซ้าย หน่วยแปรงของเครื่องนี้ประกอบด้วยหน่วยแปรงสองหน่วย ได้แก่ BU1 และ BU2
สามารถปรับแรงกดของแปรงแต่ละหน่วยได้แยกกัน (ตามที่กำหนดในสูตร) และแต่ละหน่วยของใบแปรงสามารถล้างด้วยสารเคมีสำหรับทำความสะอาดต่างๆ ได้แยกกัน
แปรงของเครื่องใช้แปรง PVA ซึ่งเป็นประเภทที่ใช้กันทั่วไปในตลาด
การถ่ายโอนระหว่างช่องใช้สายพานลำเลียง มี DIW RINSE ภายในช่อง

หน่วย SRD

หน่วย SRD มาพร้อมกับ CHUCK สำหรับจับยึดและ AS ARM ซึ่งสามารถทำความสะอาดและทำให้ผิวเวเฟอร์แห้งโดยการหมุนได้อย่างละเอียดอีกระดับ
ข้อมูลจำเพาะ
ขนาดอุปกรณ์：
2200 * 800 * 2200 (มม.)
วิธีการโหลดและการ缷
แห้งเข้า/เปียกเข้า/แห้งออก
จำนวนหน่วยแปรง
2
จำนวนหน่วย SRD
1
วิธีการขนส่ง
การขนส่งด้วยเข็มขัดในเขตเปียก การขนส่งด้วยหุ่นยนต์ในเขตแห้ง
ขนาดของอุปกรณ์พร้อมห้องแปรง 1 คือ 1850 * 800 * 2200
การแพ็คและจัดส่ง
ข้อมูลบริษัท
คำถามที่พบบ่อย
1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นอันดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง
เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:

อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

ผลิตภัณฑ์เพิ่มเติม

สอบถาม

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

นโยบายความเป็นส่วนตัว

สอบถาม Email WhatsApp Top
×

ติดต่อเรา