รูปแบบโครงสร้าง |
แนวนอน ระบบท่อเดี่ยวหรือหลายท่อควบคุมอัตโนมัติ |
เหมาะสมกับขนาดเวเฟอร์ |
2-8″ |
วิธีการส่งมอบและรับเวเฟอร์ |
เรือควอตซ์แบบคานโยกอัตโนมัติ ระบบดัน-ดึง รวมกับการหยิบและปล่อยชิปด้วยมือ |
อุณหภูมิสูงสุด |
1050℃ |
อุณหภูมิในการทำงาน |
400 ℃~850 ℃ ปรับได้ต่อเนื่อง |
เสถียรภาพของอุณหภูมิจุดเดียว |
400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
สุญญากาศขีดจำกัดของระบบ |
ดีกว่า 1Pa |
ความเร็วในการสูบอากาศออก |
เวลาสูบอากาศออกจนถึงสุญญากาศขีดจำกัด < 15 นาที |
ช่วงความดันการทำงาน |
5Pa ถึง 1 × 105Pa ปรับได้ต่อเนื่อง |
การให้พลังงาน |
เฟส 3 สาย 5 ไฟ 380V±10%, 50Hz |
น้ำหล่อเย็น |
2~4กิโลกรัมฟอร์ซ/ซม², 8ลิตร/นาที; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
