1. การใช้เลเซอร์ UV 355nm ซึ่งเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีสิทธิ์ในทรัพย์สินทางปัญญาอิสระและถือสิทธิบัตรการประดิษฐ์ของอเมริกา มีประสิทธิภาพที่เสถียร โหมดเฉพาะจุดที่ดีและสามารถทำงานได้อย่างเสถียรเป็นเวลานาน
2. การกำหนดค่า CCD ขึ้นและลง เหมาะสำหรับการวางตำแหน่งเวเฟอร์แบบโปร่งใสและกึ่งโปร่งใส
3. ลำแสงเลเซอร์โฟกัสไปที่จุดละเอียด สูงสุด 4 μm และความลึก ≥ 25 μ
4. XY - θ ที่เชื่อถือได้และมีความแม่นยำสูง 5. ระบบปฏิบัติการซอฟต์แวร์ที่มีประสิทธิภาพและยืดหยุ่น อินเทอร์เฟซที่ใช้งานง่าย และใช้งานง่าย
การทำงาน