1. การใช้เลเซอร์ UV ความยาวคลื่น 355 นาโนเมตร ซึ่งเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีทรัพย์สินทางปัญญาอิสระและได้รับสิทธิบัตรการประดิษฐ์จากสหรัฐอเมริกา มีสมรรถนะที่เสถียร รูปแบบจุดดี และสามารถทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นระยะเวลานาน
2. การติดตั้ง CCD บน-ล่าง เหมาะสำหรับการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่โปร่งใสและกึ่งโปร่งใส
3. ลำแสงเลเซอร์โฟกัสเป็นจุดเล็กมาก สูงสุดที่ 4 ไมโครเมตร และมีความลึก ≥ 25 ไมโครเมตร
4. น่าเชื่อถือและมีความแม่นยำสูง X-Y - θ 5. ระบบปฏิบัติการซอฟต์แวร์ที่มีประสิทธิภาพและยืดหยุ่น อินเทอร์เฟซที่ใช้งานง่าย และสะดวก
การดำเนินงาน.