เวเฟอร์ที่สามารถบดได้ |
ขนาด |
นิ้ว |
4,5,6,8 |
ตลับเวเฟอร์ |
จำนวน |
- |
2 |
วิธีการถู |
- |
วิธีการเจียรแบบจุ่มแนวตั้ง |
|
แกนหมุนของล้อเจียร |
ประเภท |
- |
ตลับลูกปืนลม |
จำนวน |
- |
2 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0 ~ 5000 |
|
กระแสไฟขาออก |
Kw |
5.5/7.5 |
|
ลากเส้น |
mm |
150 |
|
ความเร็วการป้อน |
เอ่อ/วินาที |
0.01 ~ 100 |
|
ความเร็วกรอเดินหน้าอย่างเร็ว |
มิลลิเมตร / นาที |
300 |
|
ความละเอียด |
um |
0.1 |
|
แกนชิ้นงาน |
ประเภท |
- |
ตลับลูกปืนเม็ดกลม |
จำนวน |
- |
3 |
|
แบบถ้วยดูด |
- |
เซรามิกที่มีรูพรุนขนาดเล็ก |
|
วิธีการดูดเวเฟอร์ |
- |
การดูดซับสูญญากาศ |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0 ~ 300 |
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์ |
- |
แขนหุ่นยนต์ |
|
- |
ดิสก์หมุน |
||
ฟังก์ชั่นอื่น ๆ |
การจัดกึ่งกลางเวเฟอร์ |
- |
การจัดตำแหน่งพินเคลื่อนที่ |
การทำความสะอาดเวเฟอร์ |
- |
การทำความสะอาดน้ำและอากาศ การปั่นแห้ง |
|
การทำความสะอาดด้วยถ้วยดูด |
- |
การทำความสะอาดหินน้ำมัน |
|
ล้อเจียร |
mm |
Φ200 |
|
ออนไลน์ การวัด |
ช่วงการวัด |
um |
0 ~ 1800 |
ความละเอียด |
um |
0.1 |
|
ความถูกต้องซ้ำ |
um |
± 0.5 |
|
เครื่องจักรกล ความถูกต้อง |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV) |
um |
≤ 2 |
ความแม่นยำระหว่างเวเฟอร์ (WTW) |
um |
± 3 |
|
ความหยาบผิว (Ry) |
um |
0.13(2000#เสร็จสิ้น) |
|
ลักษณะ |
สีสันที่ปรากฏ |
um |
ลายส้ม |
ขนาด (ก×ล×ส) |
mm |
1200 2750 ×× 1950 |
|
น้ำหนัก |
kg |
4200 |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์