แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้ |
ขนาด |
นิ้ว |
4,5,6,8 |
ตลับเวเฟอร์ |
หมายเลข |
- |
2 |
วิธีการถู |
- |
วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก |
|
แกนของล้อบด |
ประเภท |
- |
หมุดอากาศ |
ปริมาณ |
- |
2 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0~5000 |
|
กำลังไฟฟ้าออก |
กิโลวัตต์ |
5.5/7.5 |
|
ช่วงการเคลื่อนที่ |
มม |
150 |
|
ความเร็วในการป้อน |
um/s |
0.01~100 |
|
ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า |
มม/นาที |
300 |
|
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
แกนชิ้นงาน |
ประเภท |
- |
ลูกปืน |
ปริมาณ |
- |
3 |
|
ชนิดดูดติด |
- |
เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก |
|
วิธีดูดเวเฟอร์ |
- |
การดูดด้วยแรงดูด |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0 ~ 300 |
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์ |
- |
แขนหุ่นยนต์ |
|
- |
จานหมุน |
||
หน้าที่อื่น ๆ |
การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์ |
- |
การจัดแนวเข็มเคลื่อนที่ |
การทำความสะอาดเวเฟอร์ |
- |
การทำความสะอาดด้วยน้ำและอากาศ การอบแห้งด้วยการหมุน |
|
การทำความสะอาดคัพดูด |
- |
การทำความสะอาดหินเจียรน้ำมัน |
|
ใบเจียร |
มม |
φ200 |
|
ออนไลน์ การวัด |
ช่วงการวัด |
อืม |
0~1800 |
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
ความแม่นยำในการทำซ้ำ |
อืม |
±0.5 |
|
การแปรรูป ความแม่นยำ |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV) |
อืม |
≤2 |
ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW) |
อืม |
±3 |
|
ความขรุขระของผิว (Ry) |
อืม |
0.13(2000#finish) |
|
ลักษณะ |
การแต่งสีลักษณะ |
อืม |
ลวดลายส้ม |
มิติ(กว้าง×ลึก×สูง) |
มม |
1200×2750×1950 |
|
น้ำหนัก |
กิโลกรัม |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved