รุ่น |
MDTS-WT2200 |
จำนวนแกนที่บางลง |
2 |
จำนวนโต๊ะทำงาน |
3, วิธีดัชนี |
แกนของล้อบด |
จำนวนหัวหมุนอากาศ: 2 มอเตอร์หัวหมุน: มอเตอร์ความถี่แปรผัน 7.5kW ความเร็ว: 0~6000rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน ขนาดจานขัด: Φ203mm ประเภทจานขัด: จานขัดเพชร |
ระบบให้อาหารจานขัด |
จำนวน: 2 เซ็ต วิธีการควบคุมระบบฟีด: เรลไกด์ LM และสกรูลูกปืน การผสม มอเตอร์ขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็วฟีดต่ำสุด: 0.1um/วินาที ความเร็วฟีดสูงสุด: 50mm/วินาที |
โต๊ะทำงาน |
จำนวน: 3, โหมดดัชนี มอเตอร์แกนหลัก: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็ว: 0~300rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน วิธีดูดซับ: การดูดซับด้วยแรงดูดอากาศ |
โต๊ะหมุนของแผ่นงาน |
โหมดขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว ช่วงการหมุน: 0~240° รูปแบบการวางตำแหน่ง: การวางตำแหน่งด้วยความช่วยเหลือของเซนเซอร์ |
ความหนาอัตโนมัติ ระบบการวัด |
วิธีการวัด: การวัดออนไลน์แบบสัมผัส IPG ในเวลาจริง จำนวนหัววัด: 2 เซนเซอร์วัด: เซนเซอร์ระดับ 0.1um |
ระบบโหลดอัตโนมัติ/ ระบบ缷อัตโนมัติ |
ประเภทกล่อง: กล่องขนาด 6-8 นิ้ว, 25 ชั้น วิธีการโหลด/缷อัตโนมัติ: ใช้เครื่องจัดการเวเฟอร์เพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์บางจะถูกขนส่งโดยไม่เสียหาย ความหนาของแผ่นเวเฟอร์: 150um-1000um |
ฟังก์ชันทำความสะอาดโต๊ะทำงาน |
วิธีการชำระล้าง: การขัดด้วยน้ำมันและ DI water+air สองสารไหลผ่าน |
การทำความสะอาดอัตโนมัติ/ ระบบอบแห้ง |
การทำความสะอาด: การทำความสะอาดด้วยหัวฉีด DIW วิธีการอบแห้ง: การเป่า + อบแห้ง ความเร็ว: สูงสุด 1000rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน |
ระบบการกำจัดไฟฟ้าสถิต |
แท่งไอออนหรือพัดลม Orion |
ระบบเย็นของแกนหมุน |
อุณหภูมิ: 18-22°C อัตราการไหล: 4~8L/นาที |
ระบบควบคุม |
ระบบควบคุม: ระบบควบคุม PC, หน้าจอสัมผัส ไฟเตือนสี 3 สี อินเทอร์เฟซมนุษย์-เครื่องจักรภาษาจีน/ภาษาอังกฤษ |
ขนาดเวเฟอร์สูงสุด |
รองรับได้สูงสุด 8 นิ้ว |
ระยะความเร็ว |
0~6000 รอบต่อนาที |
การเดินทางในแกน Z |
160มม |
ความเร็วการป้อนแกน Z |
0.1~100ไมครอน/วินาที |
ความเร็วในการดึงกลับอย่างรวดเร็วของแกน Z |
50มม./วินาที |
ความละเอียดแกน Z |
0.1ไมโครเมตร |
ช่วงการวัดความหนาออนไลน์ |
0~1800ไมครอน |
ความละเอียดการวัดความหนาแบบออนไลน์ |
0.1ไมโครเมตร |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved