รุ่น |
MDTS-WT2200 |
จำนวนแกนการลับ |
2 |
จำนวนโต๊ะทำงาน |
3. วิธีการดัชนี |
แกนหมุนของล้อเจียร |
จำนวนแกนลม : 2 มอเตอร์แกนหมุน: มอเตอร์ความถี่แปรผัน 7.5kW ความเร็ว: 0~6000 รอบต่อนาที ปรับได้อย่างอิสระ ข้อมูลจำเพาะของล้อเจียร: Φ203มม. ประเภทล้อเจียร: ล้อเจียรเพชร |
ระบบการป้อนหินเจียร |
จำนวน: 2 ชุด วิธีการควบคุมระบบฟีด: รางนำทาง LM และบอลสกรู การผสมผสาน มอเตอร์ขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็วการป้อนขั้นต่ำ: 0.1um/วินาที ความเร็วการป้อนสูงสุด: 50มม./วินาที |
ม้านั่งทำงานของช่างเครื่อง |
จำนวน : 3, โหมดดัชนี มอเตอร์แกนหมุน: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็ว: 0~300 รอบต่อนาที ปรับได้อย่างอิสระ วิธีการดูดซับ: การดูดซับสูญญากาศ |
โต๊ะทำงานแบบหมุน |
โหมดขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว ช่วงการหมุน: 0~240° รูปร่างการวางตำแหน่ง: การวางตำแหน่งโดยความช่วยเหลือของเซ็นเซอร์ |
ความหนาอัตโนมัติ ระบบวัดผล |
วิธีการวัด: การวัดแบบเรียลไทม์แบบออนไลน์ผ่านการสัมผัส IPG จำนวนหัววัด : 2 เซ็นเซอร์วัด: เซ็นเซอร์ระดับ 0.1um |
โหลดอัตโนมัติ/ ระบบการขนถ่าย |
ประเภทกล่อง: ตลับ 6-8 นิ้ว 25 ชั้น วิธีการโหลด/ขนถ่ายอัตโนมัติ: ใช้อุปกรณ์จัดการเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์บางจะถูกขนส่งโดยไม่เกิดความเสียหาย ความหนาของเวเฟอร์: 150um-1000um |
ฟังก์ชั่นทำความสะอาดโต๊ะทำงาน |
วิธีการทำความสะอาด: การขัดด้วยหินน้ำมันและการล้างด้วย DI น้ำ + อากาศสองชนิด |
การทำความสะอาดอัตโนมัติ/ ระบบอบแห้ง |
การทำความสะอาด: การทำความสะอาดหัวฉีด DIW วิธีการอบแห้ง : เป่า + อบแห้ง ความเร็ว: สูงสุด 1000 รอบต่อนาที ปรับได้อย่างอิสระ |
ระบบกำจัดไฟฟ้าสถิตย์ |
พัดลมไออนบาร์โอไรออน |
เครื่องทำความเย็นแกนหมุน |
อุณหภูมิ: 18-22 ° C อัตราการไหล: 4~8L/นาที |
ระบบควบคุม |
ระบบควบคุม : ระบบควบคุมพีซี หน้าจอสัมผัส ไฟสัญญาณเตือน 3 สี อินเทอร์เฟซระหว่างมนุษย์กับเครื่องจักรภาษาจีน/อังกฤษ |
ขนาดเวเฟอร์สูงสุด |
รองรับสูงสุด 8 นิ้ว |
ช่วงความเร็ว |
0 ~ 6000 RPM |
การเดินทางในแกน Z |
160mm |
ความเร็วการป้อนแกน Z |
0.1~100um/วินาที |
ความเร็วการหดกลับที่รวดเร็วของแกน Z |
50mm / วินาที |
ความละเอียดแกน Z |
0.1um |
ช่วงการวัดความหนาแบบออนไลน์ |
0 ~ 1800um |
ความละเอียดการวัดความหนาแบบออนไลน์ |
0.1um |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์