โครงการ
|
คอนเทนต์
|
ประเภทสินค้า
|
เวเฟอร์กรอบขนาด 6", 8", 12"
|
การตรวจสอบแบบ 2 มิติ
|
วัตถุแปลกปลอม กาวตกค้าง อนุภาค รอยขีดข่วน รอยแตก การปนเปื้อน ความเบี่ยงเบนของ CP พื้นที่มากเกินไป ฯลฯ
การตัดช่องเบี่ยงเบนและการแตก |
รายการตรวจสอบเส้นทางการตัด
|
ตลับใส่เฟืองขนาด 6", 8", 12"
|
เลนส์และความละเอียด
|
2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/
5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
ความแม่นยำ
|
0.55μm/พิกเซล
|
ตัวเลือกและกำหนดเอง
|
โมดูลหมึก โมดูล IR
|
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์