โครงสร้าง |
แสดง |
เผยให้เห็นเคาน์เตอร์ |
พื้นที่สัมผัส: ท็อปโต๊ะ พื้นที่วางวัสดุพิมพ์ |
ระบบออปติคอล |
พื้นที่การขึ้นรูปการปล่อยแสงเลเซอร์ |
ระบบควบคุมสิ่งแวดล้อม |
ควบคุมอุณหภูมิภายในและแรงดันบวกของอุปกรณ์ |
ระบบแพลตฟอร์ม |
ควบคุมการเคลื่อนไหวของตารางการรับแสงเพื่อให้การทำงานของเส้นทางการรับแสงเสร็จสมบูรณ์ |
ระบบควบคุม |
ระบบควบคุมอุปกรณ์ทั้งหมด |
ลำดับ |
สภาพสิ่งแวดล้อม |
ต้องการ |
1 |
สภาพแวดล้อมของแหล่งกำเนิดแสง |
แสงสีเหลือง |
2 |
อุณหภูมิ |
22 ℃± 2 ℃ |
3 |
ความชื้น |
50% ± 10% |
4 |
ความสะอาด |
1000 |
5 |
CDA |
0.6 ± 0.1Mpa, 200LPM อากาศแห้งและสะอาด |
6 |
แหล่งจ่ายไฟ |
220~240V、50/60Hz、2.5KW:สายกราวด์ต้องต่อสายดิน, |
7 |
น้ำเย็น |
อุณหภูมิ:10°C~ 20°C ความดัน:0.3MPa ~ 0.5MPa อัตราการไหล:20ลิตร/นาที ความแตกต่างของความดัน: 0.3MPa ขึ้นไป รับช่วงความสามารถ:Rc3/8 |
8 |
สถานที่จัดงาน |
ระดับ:±3มม./3000มม. เขย่า:VC-B แบริ่ง:750กก./ตรม |
10 |
อินเทอร์เน็ต |
พอร์ตเครือข่ายหนึ่งพอร์ต |
11 |
ขนาดเครื่อง |
1300*1100*2100mm |
12 |
น้ำหนักอุปกรณ์ |
1500กิโลกรัม |
ลำดับ |
โครงการ |
Spec. |
หมายเหตุ |
1 |
ความละเอียด |
0.6um/หรือข้อกำหนดอื่นๆ |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
ความหนาของพื้นผิว |
0.2 มม. ~ 4 มม |
|
4 |
ความแม่นยำของตารางวันที่ |
60nm |
|
5 |
วางซ้อน |
± 500nm |
130mmx130mm |
6 |
ความแม่นยำในการเย็บ |
± 200nm |
AZ703 |
7 |
ขนาดการรับแสงสูงสุด |
190X190mm |
|
8 |
ทางเข้า |
≥300mm2/นาที |
≤50mj/cm2; |
9 |
แหล่งกำเนิดแสง |
แอลดี 375 นาโนเมตร |
|
10 |
พลังงานแสง |
6W |
|
11 |
ความสม่ำเสมอของพลังงาน |
≥% 95 |
|
12 |
ชีวิตที่เบา |
10000hr |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์