โครงสร้าง |
แสดงให้เห็น |
การฉายแสงบนโต๊ะ |
พื้นที่ฉายแสง: โต๊ะ, พื้นที่วางวัสดุรองรับ |
ระบบแสง |
พื้นที่การหล่อเลเซอร์ |
ระบบควบคุมสภาพแวดล้อม |
ควบคุมอุณหภูมิและความดันบวกภายในอุปกรณ์ |
ระบบแพลตฟอร์ม |
ควบคุมการเคลื่อนที่ของโต๊ะรับแสงเพื่อดำเนินการตามเส้นทางการรับแสง |
ระบบควบคุม |
ระบบควบคุมของอุปกรณ์ทั้งหมด |
เลขที่ |
สิ่งแวดล้อม |
จําเป็น |
1 |
สภาพแวดล้อมแหล่งกำเนิดแสง |
แสงสีเหลือง |
2 |
อุณหภูมิ |
22℃±2℃ |
3 |
ความชื้น |
50%±10% |
4 |
ความสะอาด |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa，200LPM, อากาศแห้งและสะอาด |
6 |
การให้พลังงาน |
220~240V、50/60Hz、2.5KW；สายดินต้องเชื่อมต่อกับพื้นดิน， |
7 |
น้ำหล่อเย็น |
อุณหภูมิ：10℃~ 20℃ ความดัน：0.3MPa ~ 0.5MPa อัตราการไหล：20L/min ความแตกต่างของความดัน：0.3MPaขึ้นไป ขนาดปลายเชื่อมต่อ：Rc3/8 |
8 |
สถานที่จัดงาน |
ระดับ：±3mm/3000mm สั่น：VC-B เปลือง：750kg/㎡ |
10 |
อินเตอร์เน็ต |
พอร์ตเครือข่ายหนึ่งช่อง |
11 |
ขนาดเครื่อง |
1300*1100*2100mm |
12 |
น้ำหนักของเครื่อง |
1500 กิโลกรัม |
เลขที่ |
โครงการ |
สเปค |
หมายเหตุ |
1 |
ความละเอียด |
0.6um/หรือตามข้อกำหนดอื่นๆ |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
ความหนาของsubstrate |
0.2mm～4mm |
|
4 |
ความแม่นยำของตารางวันที่ |
60nm |
|
5 |
การวางทับกัน |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
ความแม่นยำของการต่อกัน |
±200nm |
AZ703 |
7 |
ขนาดการสัมผัสสูงสุด |
190X190mm |
|
8 |
ปริมาณการผลิต |
≥300mm2/мин |
≤50mj/сm2; |
9 |
แหล่งกำเนิดแสง |
LD 375nm |
|
10 |
พลังงานแสง |
6W |
|
11 |
ความสม่ำเสมอของพลังงาน |
≥95% |
|
12 |
อายุการใช้งานของแสง |
10000hr |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
