เครื่องหลักพลาสมาสุญญากาศ (150) |
||
ขนาดของเครื่อง |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
น้ำหนัก |
600kg |
|
แหล่งจ่ายไฟตามความต้องการ |
AC380V, 50/60Hz, 5 เส้น, 25A (ประเภทเปิดทั้งหมดข้างบน C) |
|
ข้อมูลจำเพาะของตัวสร้างพลาสมา |
||
พลังงาน |
คลื่นวิทยุความถี่สูง |
ความถี่กลาง |
0~1000W |
0-2000w |
|
ความถี่การจ่ายไฟ |
13.56mhz |
40 K Hz |
ระบบสูบ |
||
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มโมโนโพลแบบกระโดด VSV 65 + ปั๊ม Bowse Lots BSJ 70 |
|
ท่อสุญญากาศ |
สายสแตนเลสทั้งหมดรวมถึงท่อนิวเมติกสุญญากาศความแข็งแรงสูง |
|
คุณภาพของวัสดุ |
alufer |
|
ความหนา |
25มม |
|
ความแน่นหนา |
การเชื่อมผนึกเกรดทหาร |
|
มิติภายในของโพรง |
500*500*600mm (กว้าง*สูง *ลึก) |
|
ขนาดแผ่นไฟฟ้าที่ใช้งานได้จริง |
372(W) X 451(D)mm |
|
พื้นที่ว่างที่พร้อมใช้งาน |
24 มม. |
|
การจัดเรียงการชุบด้วยไฟฟ้า |
แผ่นขั้วไฟฟ้าแนวราบ |
|
ถาด |
เซ็ตมาตรฐาน วัสดุสามารถเลือกได้ (อลูมิเนียม เหล็กกล้าตาข่าย) |
|
พื้นที่ทำงาน |
8 ชั้น |
|
แก๊สกระบวนการ |
||
ช่วงการไหล |
0~300SCCM |
|
เส้นทางก๊าซกระบวนการ |
มาตรฐานมาพร้อมสองทาง สามารถปรับแต่งได้ เส้นท่อของก๊าซกระบวนการทำจากเฟอร์โรฟลอน |
|
ระบบควบคุม |
||
SC |
ควบคุมด้วยพีซี |
|
โหมดโต้ตอบ |
อินเตอร์เฟสแบบ Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved