หน่วยโฮสต์พลาสมาสุญญากาศ (150) | ||||
ขนาดอุปกรณ์ | ยาว 1100×กว้าง 940×ส 1755มม | |||
น้ำหนัก | 600Kg | |||
ความต้องการแหล่งจ่ายไฟ | AC380V, 50 / 60Hz, 5 บรรทัด, 25A (แบบเปิดรวมเหนือ C) | |||
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสม่า | ||||
อำนาจ | ความถี่วิทยุ | ความถี่กลาง | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
ความถี่ในการจัดหา | 13.56MHz | 40 กิโลเฮิรตซ์ | ||
ระบบสูญญากาศ | ||||
ปั๊มสูญญากาศ | ปั๊มโมโนโพลแบบกระโดด VSV 65 + ปั๊ม BowseLot BSJ 70 | |||
ท่อสูญญากาศ | สายสเตนเลสสตีลทั้งหมด รวมถึงเครื่องสูบลมสุญญากาศที่มีความแข็งแรงสูง | |||
คุณภาพของวัสดุ | อลูเฟอร์ | |||
ความหนา | 25mm | |||
ความหนาแน่น | ซีลการเชื่อมระดับทหาร | |||
ขนาดภายในของช่อง | 500*500*600 มม. (กว้าง * สูง * ลึก) | |||
ขนาดประสิทธิภาพของแผ่นไฟฟ้า | 372(กว้าง) X 451(ล)มม | |||
ระยะห่างของพื้นที่ว่าง | 24mm | |||
การจัดเรียงด้วยไฟฟ้า | แผ่นอิเล็กโทรดแนวนอน | |||
ถาด | ชุดมาตรฐาน วัสดุเสริม (อลูมิเนียม, ตะแกรงเหล็ก) | |||
พื้นที่ทำงาน | ชั้น 8 | |||
แปรรูปแก๊ส | ||||
ช่วงการไหล | 0~300SCCM | |||
กระบวนการผลิตก๊าซธรรมชาติ | มาตรฐานมีสองวิธีสามารถปรับแต่งได้ ท่อส่งก๊าซกระบวนการทำจากเฟอร์โรฟลอน | |||
ระบบควบคุม | ||||
SC | การควบคุมเครื่องคอมพิวเตอร์ | |||
โหมดโต้ตอบ | อินเทอร์เฟซของ Windows |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์