ตัวเครื่องโฮสต์พลาสมาแบบสุญญากาศ (150) |
||||
ขนาดของเครื่อง |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|||
น้ำหนัก |
600kg |
|||
แหล่งจ่ายไฟตามความต้องการ |
AC380V, 50/60Hz, 5 เส้น, 25A (ประเภทเปิดทั้งหมดข้างบน C) |
|||
ข้อมูลจำเพาะของตัวสร้างพลาสมา |
||||
พลังงาน |
คลื่นวิทยุความถี่สูง |
ความถี่กลาง |
||
0~1000W |
0-2000w |
|||
ความถี่การจ่ายไฟ |
13.56mhz |
40 K Hz |
||
ระบบสูบ |
||||
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มโมโนโพลแบบกระโดด VSV 65 + ปั๊ม Bowse Lots BSJ 70 |
|||
ท่อสุญญากาศ |
สายสแตนเลสทั้งหมดรวมถึงท่อนิวเมติกสุญญากาศความแข็งแรงสูง |
|||
คุณภาพของวัสดุ |
alufer |
|||
ความหนา |
25มม |
|||
ความแน่นหนา |
การเชื่อมผนึกเกรดทหาร |
|||
มิติภายในของโพรง |
500*500*600mm (กว้าง*สูง *ลึก) |
|||
ขนาดแผ่นไฟฟ้าที่ใช้งานได้จริง |
372(W) X 451(D)mm |
|||
พื้นที่ว่างที่พร้อมใช้งาน |
24 มม. |
|||
การจัดเรียงการชุบด้วยไฟฟ้า |
แผ่นขั้วไฟฟ้าแนวราบ |
|||
ถาด |
เซ็ตมาตรฐาน วัสดุสามารถเลือกได้ (อลูมิเนียม เหล็กกล้าตาข่าย) |
|||
พื้นที่ทำงาน |
8 ชั้น |
|||
แก๊สกระบวนการ |
||||
ช่วงการไหล |
0~300SCCM |
|||
เส้นทางก๊าซกระบวนการ |
มาตรฐานมาพร้อมสองทาง สามารถปรับแต่งได้ เส้นท่อของก๊าซกระบวนการทำจากเฟอร์โรฟลอน |
|||
ระบบควบคุม |
||||
SC |
ควบคุมด้วยพีซี |
|||
โหมดโต้ตอบ |
อินเตอร์เฟสแบบ Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved