โฮสต์พลาสมาแบบดูดอากาศ (200) |
||
ขนาดของเครื่อง |
1050×1700×1050mm(ความกว้าง ความสูง และความลึก) |
|
น้ำหนัก |
800กก. |
|
กำลังไฟฟ้าที่ต้องการ |
AC380V,50/60Hz,5สาย, 30A |
|
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสมา |
||
พลังงานไฟฟ้าหลัก |
คลื่นวิทยุความถี่สูง |
ถ้า |
0~1000W |
0-2000w |
|
ความถี่ของพลังงาน |
13.56mhz |
40 KHz |
ระบบสูบ |
||
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มเดี่ยว Feiyue VSV100+ พร้อมปั๊มรูทส์คู่ BSJ70 |
|
สายสุญญากาศ |
ท่อสแตนเลสทั้งหมด และกระบอกสุญญากาศความแข็งแรงสูง |
|
วัสดุ |
อลูมิเนียมอัลลอยด์ |
|
ความหนา |
25มม |
|
ความแน่นหนา |
การเชื่อมผนึกเกรดทหาร |
|
มิติภายในช่องว่าง |
600×600×600mm(กว้าง×สูง×ลึก) |
|
ขนาดที่ใช้งานได้ของแผ่นขั้วไฟฟ้า |
472 X 451mm (W×D) |
|
พื้นที่ว่างที่มีอยู่ |
35มม |
|
รูปแบบการจัดวางของแผ่นขั้วไฟฟ้า |
แผ่นขั้วไฟฟ้าแนวราบ |
|
ถาดทำงาน |
มาตราฐานหนึ่งชุด และวัสดุเป็นตัวเลือก (อลูมิเนียม, เน็ตเหล็ก) |
|
พื้นที่ทํางาน |
8 ชั้น |
|
แก๊สกระบวนการ |
||
ช่วงการไหล |
0~300SCCM |
|
วงจรก๊าซกระบวนการ |
มีก๊าซสามทาง O2, Ar, N2 |
|
ระบบควบคุม |
||
การควบคุมระบบ |
ควบคุมด้วยพีซี |
|
โหมดโต้ตอบ |
อินเตอร์เฟสแบบ Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved