โฮสต์พลาสม่าสุญญากาศ (200) | ||||
ขนาดอุปกรณ์ | 1050 × 1700 × 1050 มม. (กว้าง สูง และลึก) | |||
น้ำหนัก | 800Kg | |||
ความต้องการพลังงาน | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสม่า | ||||
ไฟหลัก | ความถี่วิทยุ | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
ความถี่ไฟฟ้า | 13.56MHz | KHz 40 | ||
ระบบสูญญากาศ | ||||
ปั๊มสูญญากาศ | Feiyue ปั๊ม unipolar VSV100+ปั๊มทั้ง 70 ราก BSJXNUMX | |||
สายสุญญากาศ | ท่อสแตนเลสทั้งหมดและที่สูบลมสุญญากาศกำลังสูง | |||
วัสดุ | อลูมิเนียม | |||
ความหนา | 25mm | |||
ความหนาแน่น | ซีลรอยเชื่อมเกรดทหาร | |||
ขนาดภายในของช่อง | 600×600×600มม.(กว้าง×สูง×ลึก) | |||
ขนาดแผ่นอิเล็กโทรดที่มีประสิทธิภาพ | 472 x 451มม. (กว้าง×ลึก) | |||
พื้นที่ว่าง | 35mm | |||
เค้าโครงแผ่นอิเล็กโทรด | แผ่นอิเล็กโทรดแนวนอน | |||
ถาดงาน | ชุดมาตรฐานหนึ่งชุดและวัสดุเป็นอุปกรณ์เสริม (อลูมิเนียม, ตาข่ายเหล็ก) | |||
พื้นที่ทำงาน | ชั้น 8 | |||
แปรรูปแก๊ส | ||||
ช่วงการไหล | 0~300SCCM | |||
วงจรกระบวนการแก๊ส | ติดตั้งแก๊สสามทาง O2, Ar, N2 | |||
ระบบควบคุม | ||||
การควบคุมระบบ | การควบคุมเครื่องคอมพิวเตอร์ | |||
โหมดโต้ตอบ | อินเทอร์เฟซ Windows |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์