โฮสต์พลาสมาแบบสุญญากาศ (200) |
||||
ขนาดของเครื่อง |
1050×1700×1050mm(กว้าง, สูง และลึก) |
|||
น้ำหนัก |
800กก. |
|||
กำลังไฟฟ้าที่ต้องการ |
AC380V,50/60Hz,5สาย, 30A |
|||
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสมา |
||||
พลังงานไฟฟ้าหลัก |
คลื่นวิทยุความถี่สูง |
ถ้า |
||
0~1000W |
0-2000w |
|||
ความถี่ของพลังงาน |
13.56mhz |
40 KHz |
||
ระบบสูบ |
||||
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มเดี่ยว Feiyue VSV100+ พร้อมปั๊มรูทส์คู่ BSJ70 |
|||
สายสุญญากาศ |
ท่อสแตนเลสทั้งหมด และกระบอกสุญญากาศความแข็งแรงสูง |
|||
วัสดุ |
อลูมิเนียมอัลลอยด์ |
|||
ความหนา |
25มม |
|||
ความแน่นหนา |
การเชื่อมผนึกเกรดทหาร |
|||
มิติภายในช่องว่าง |
600×600×600mm(กว้าง×สูง×ลึก) |
|||
ขนาดที่ใช้งานได้ของแผ่นขั้วไฟฟ้า |
472 X 451mm (W×D) |
|||
พื้นที่ว่างที่มีอยู่ |
35มม |
|||
รูปแบบการจัดวางของแผ่นขั้วไฟฟ้า |
แผ่นขั้วไฟฟ้าแนวราบ |
|||
ถาดทำงาน |
มาตราฐานหนึ่งชุด และวัสดุเป็นตัวเลือก (อลูมิเนียม, เน็ตเหล็ก) |
|||
พื้นที่ทํางาน |
8 ชั้น |
|||
แก๊สกระบวนการ |
||||
ช่วงการไหล |
0~300SCCM |
|||
วงจรก๊าซกระบวนการ |
มีก๊าซสามทาง O2, Ar, N2 |
|||
ระบบควบคุม |
||||
การควบคุมระบบ |
ควบคุมด้วยพีซี |
|||
โหมดโต้ตอบ |
อินเตอร์เฟสแบบ Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved