ตัวเครื่องพลาสมาแบบสุญญากาศ (60) |
||||
ขนาดของเครื่อง |
L 950×W 900×H 1650mm |
|||
น้ำหนัก |
350 กิโลกรัม |
|||
แหล่งจ่ายไฟตามความต้องการ |
AC380V, 50/60Hz, 5 เส้น, 16A (ประเภทเปิดทั้งหมดขึ้นไป C) |
|||
ข้อมูลจำเพาะของตัวสร้างพลาสมา |
||||
พลังงาน |
คลื่นวิทยุความถี่สูง |
ความถี่กลาง |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
ความถี่การจ่ายไฟ |
13.56mhz |
40 K Hz |
||
ระบบสูบ |
||||
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มหมุนสองขั้นตอน (ปั๊มน้ำมัน): 40m3/ชั่วโมง |
|||
ท่อสุญญากาศ |
สายสแตนเลสทั้งหมดรวมถึงท่อนิวเมติกสุญญากาศความแข็งแรงสูง |
|||
คุณภาพของวัสดุ |
อลูมิเนียมอัลลอย (สามารถปรับแต่งเป็นโพรงสแตนเลสได้) |
|||
ความหนา |
25มม |
|||
ความแน่นหนา |
การเชื่อมผนึกเกรดทหาร |
|||
มิติภายในของโพรง |
375*375*430mm (กว้าง * สูง * ลึก) |
|||
ขนาดแผ่นไฟฟ้าที่ใช้งานได้จริง |
247*281mm (กว้าง * ลึก) |
|||
พื้นที่ว่างที่พร้อมใช้งาน |
22 มิลลิเมตร |
|||
การจัดเรียงการชุบด้วยไฟฟ้า |
ผังการวางแนวราบ สามารถสกัดออกได้เมื่อใช้งาน |
|||
ถาด |
เซ็ตมาตรฐาน วัสดุสามารถเลือกได้ (อลูมิเนียม เหล็กกล้าตาข่าย) |
|||
พื้นที่ทำงาน |
6 ชั้น |
|||
แก๊สกระบวนการ |
||||
ช่วงการไหล |
0~300SCCM |
|||
เส้นทางก๊าซกระบวนการ |
มาตรฐานมาพร้อมสองทาง สามารถปรับแต่งได้ เส้นท่อของก๊าซกระบวนการทำจากเฟอร์โรฟลอน |
|||
นาวา |
||||
SC |
PLC |
|||
โหมดโต้ตอบ |
หน้าจอสัมผัสขนาด 7 นิ้ว |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved