เครื่องกร่อน ICP อัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบ MDICP-5000F / อุปกรณ์พลาสมาเหนี่ยวนำแบบคูปลิงสำหรับอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ , China เครื่องกร่อน ICP อัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบ MDICP-5000F / อุปกรณ์พลาสมาเหนี่ยวนำแบบคูปลิงสำหรับอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

MDICP-5000F เครื่องแกะสลัก ICP อัตโนมัติทั้งหมด

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

สรุปย่อ

อุปกรณ์นี้เป็นระบบสุญญากาศสองห้อง หนึ่งห้องเป็นห้องฉีดตัวอย่างและอีกห้องหนึ่งเป็นห้องแกะสลัก มีล็อกสุญญากาศติดตั้งระหว่างห้องฉีดตัวอย่างและห้องแกะสลัก และการขนส่งตัวอย่างจะทำโดย manipulator
อุปกรณ์นี้ประกอบด้วยระบบสุญญากาศ ระบบวงจรแก๊ส ระบบไฟฟ้า ระบบควบคุม ระบบระบายความร้อน กลไกการจ่ายและรับฟิล์ม ระบบแจ้งเตือน ฯลฯ

ระบบสูบ

ระบบประกอบด้วยปั๊มโมเลกุลที่มีอัตราการสูบ 600 L/S + ปั๊มสุญญากาศแห้งนำเข้าที่มีอัตราการสูบ L/S เพื่อนำห้องETCHINGไปยังสุญญากาศสูง อุปกรณ์ปรับแรงดันไฟฟ้าแบบไดนามิกถูกติดตั้งระหว่างปั๊มโมเลกุลและห้องETCHING ปั๊มแห้งนำเข้าเป็นปั๊มสำรองของห้องETCHING และปั๊มขั้นแรกของปั๊มโมเลกุล ใช้ปั๊มเครื่องกลเพิ่มอีกตัวที่มีอัตราการสูบ L/S เพื่อสูบอากาศออกจากห้องตัวอย่าง เชื่อมต่อระหว่างปั๊มเครื่องกลและห้องสุญญากาศกับปั๊มโมเลกุลด้วยท่อสเตนเลสแบบยืดหดได้ และติดตั้งวาล์วบล็อกลมไฟฟ้าแม่เหล็กไว้

ระบบควบคุมแรงดันคงที่

อุปกรณ์นี้มีระบบควบคุมแรงดันคงที่แบบ downstream และติดตั้งวาล์วปรับได้ไฟฟ้าในท่อสูบอากาศ ผ่านการวัดของฟิล์มเกจ (ชิ้นส่วนนำเข้า) วาล์วปรับสามารถควบคุมให้ห้องสุญญากาศถึงแรงดันคงที่ เพื่อเพิ่มความเสถียรของกระบวนการ

ระบบควบคุมแรงดันคงที่

ระบบวงจรแก๊ส

ชุดแหล่งพลังงาน RF สองชุดพร้อมระบบจับคู่อัตโนมัติ

ระบบแจ้งเตือน

ข้อกำหนดด้านความปลอดภัยสำหรับเครื่องจักร

ข้อมูลจำเพาะ

ชื่อ	SPC	ยี่ห้อ	หมายเลข／ชุด	หมายเหตุ
ห้องเอทช์, ท่อสูบอากาศ, หน้าต่างสังเกตการณ์, อินเทอร์เฟซสำรอง, เป็นต้น	มาตรฐาน	JSWN	1	ป้องกันการกัดกร่อน
โครงสร้าง, ตู้ไฟฟ้า, ซีล, ชิ้นส่วนมาตรฐาน, เป็นต้น	มาตรฐาน	JSWN	1
ระบบยกฝาครอบห้องเอทช์	มาตรฐาน	JSWN	1	ป้องกันการกัดกร่อน
ระบบอิเล็กโทรดการแกะสลักและระบบทำความเย็น	มาตรฐาน	JSWN	1	ป้องกันการกัดกร่อน
ปั๊มโมเลกุล (ความเร็วในการสูบ 600 ลิตร/วินาที)	FF620/150	KYKY	1	ป้องกันการกัดกร่อน
ปั๊มแห้งทางเข้า (ความเร็วในการสูบ 9 ลิตร/วินาที)	XDS-35I	เอ็ดเวิร์ด	1	ป้องกันการกัดกร่อน
ปั๊มกลไก (ความเร็วในการสูบ 9 ลิตร/วินาที)	TRP-36	BWVAC	1
วาล์วประตูควบคุมไฟฟ้า	DCQ-150	JSWN	1	ป้องกันการกัดกร่อน
วาล์วปิดถุงลมневumatic	KF40	JSWN	3	ป้องกันการกัดกร่อน
มาตรวัดฟิล์ม	KF16	INFICON	1	ป้องกันการกัดกร่อน
ตัวควบคุมการไหลแบบมวล	D07	Sevenstar	4	ป้องกันการกัดกร่อน
วาล์วเยื่อหุ้มневumatic	1/4″VCR	-	4	ป้องกันการกัดกร่อน
ท่อสแตนเลส, ข้อต่อท่อ, ฯลฯ	1/4″VCR	-	4	ป้องกันการกัดกร่อน
แหล่งจ่ายไฟ RF / ตัวปรับอัตโนมัติ	-	จีน(ตัวเลือกCROWN1310)	1
แหล่งจ่ายไฟ RF / ตัวปรับอัตโนมัติ	-	จีน(ตัวเลือกCROWN1310)	1
ไม้กั้นสุญญากาศแบบคอมโพสิต	ZDF	RB	1
IPC	2U	จีน	1
หน้าจอสัมผัส LCD	17 นิ้ว	จีน	1
ระบบควบคุม plc	S7-200	ซีเมนส์	1
ระบบควบคุมมอเตอร์ไฟฟ้า	มาตรฐาน	JSWN	1
ระบบตรวจจับและการท่อระบายน้ำสำหรับน้ำหล่อเย็น	มาตรฐาน	JSWN	1
ระบบตรวจจับและท่ออากาศอัด	มาตรฐาน	JSWN	1
เครื่องทำความเย็นน้ำหมุนเวียน	hx	จีน	1
ห้องฉีดสารกัดกร่อน	มาตรฐาน	JSWN	1
ล็อคสุญญากาศ	smc	smc	1
ระบบควบคุมมานิปูเลเตอร์	smc	smc	1

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของจดหมาย

1. ความว่างสุดขั้น: ห้องกัดกร่อน 9.0×10-5Pa (ความชื้นในห้อง≤55%)
ห้องตัวอย่างการฉีด 6.0×10-1Pa
2. วัสดุสำหรับการกัดกร่อน: วัสดุกลุ่มⅢ、Ⅴ, Si, SiO2, เป็นต้น
3. อัตราการกัดกร่อน: ~ 1μ/นาที
4. ความสม่ำเสมอของการกัดกร่อน: ≤±5％(ในช่วง φ125mm)
6. ขนาดอิเล็กโทรด: φ200มม.

การแพ็คและจัดส่ง

เพื่อให้แน่ใจในความปลอดภัยของสินค้าของคุณ บริการบรรจุภัณฑ์ที่เป็นมืออาชีพ เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม สะดวกและมีประสิทธิภาพจะถูกจัดเตรียมให้

ข้อมูลบริษัท

เรามีประสบการณ์ในการขายอุปกรณ์เป็นเวลา 16 ปี เราสามารถให้บริการโซลูชั่นแบบครบวงจรสำหรับสายการผลิตการบรรจุภัณฑ์หน้าและหลังของกึ่งตัวนำจากประเทศจีนแก่คุณได้