|
โครงการ
|
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
|
หมายเหตุ
|
||
|
1 |
ภาพรวมอุปกรณ์ |
ชื่ออุปกรณ์: เครื่องพัฒนากาวสม่ำเสมออัตโนมัติเต็มรูปแบบ
|
||
|
รุ่นอุปกรณ์: MD-2C2D6
|
||||
|
ข้อกำหนดการประมวลผลเวเฟอร์: เข้ากันได้กับเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 4/6 นิ้ว
|
||||
|
การไหลของกระบวนการของกาวสม่ำเสมอ: การหั่นกระเช้าดอกไม้ → การจัดกึ่งกลาง → กาวสม่ำเสมอ (หยด → กาวสม่ำเสมอ → การกำจัดขอบ ด้านหลัง
การซัก) → จานร้อน → จานเย็น → วางตะกร้า ผังกระบวนการพัฒนา: การหั่นกระเช้าดอกไม้ → การจัดศูนย์กลาง → การพัฒนา (โซลูชันการพัฒนา → น้ำปราศจากไอออน การล้างกลับ → การอบแห้งด้วยไนโตรเจน) → จานร้อน → จานเย็น → วางตะกร้า |
||||
|
ขนาดโดยรวม (ประมาณ): 2100 มม. (W) * 1800 มม. (D) * 2100 มม. (H)
|
||||
|
ขนาดตู้เคมี (โดยประมาณ): 1700(W) * 800(D) * 1600 มม. (H)
|
||||
|
น้ำหนักรวม (ประมาณ):1000กก
|
||||
|
ความสูงของโต๊ะทำงาน: 1020 ± 50 มม
|
||||
|
2 |
หน่วยเทปคาสเซ็ต
|
จำนวน: 2
|
||
|
ขนาดที่เข้ากันได้: 4/6 นิ้ว
|
||||
|
การตรวจจับเทปคาสเซ็ต: การตรวจจับไมโครสวิตช์
|
||||
|
การตรวจจับการเลื่อนออก: ใช่ เซ็นเซอร์สะท้อนแสง
|
||||
|
3 |
หุ่นยนต์ |
จำนวน: 1
|
||
|
ประเภท: หุ่นยนต์ดูดซับสุญญากาศแขนคู่
|
||||
|
ระดับความอิสระ: 4 แกน (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
วัสดุนิ้ว: เซรามิค
|
||||
|
วิธีการตรึงพื้นผิว: วิธีการดูดซับสุญญากาศ
|
||||
|
ฟังก์ชั่นการทำแผนที่: ใช่
|
||||
|
ความแม่นยำของตำแหน่ง: ± 0.1 มม
|
||||
|
4 |
หน่วยตั้งศูนย์กลาง
|
จำนวน: ชุด 1
|
การจัดตำแหน่งแสงเสริม
|
|
|
วิธีการจัดตำแหน่ง: การจัดตำแหน่งทางกล
|
||||
|
ความแม่นยำในการตั้งศูนย์กลาง: ± 0.2 มม
|
||||
|
5 |
หน่วยกาวสม่ำเสมอ |
จำนวน: 2 ชุด (ต่อไปนี้คือการกำหนดค่าสำหรับแต่ละหน่วย)
|
||
|
ความเร็วในการหมุนแกนหมุน: -5000rpm ~ 5000rpm
|
แบกคนขี้เกียจ
|
|||
|
ความแม่นยำในการหมุนแกนหมุน: ± 1 รอบต่อนาที (50 รอบต่อนาที ~ 5000 รอบต่อนาที)
|
||||
|
การปรับความเร็วการหมุนแกนหมุนขั้นต่ำ: 1 รอบต่อนาที
|
||||
|
ความเร่งสูงสุดของการหมุนแกนหมุน: 20000 รอบต่อนาที/วินาที
|
แบกคนขี้เกียจ
|
|||
|
แขนหยด: 1 ชุด
|
||||
|
เส้นทางท่อโฟโตรีซิส: 2 เส้นทาง
|
||||
|
เส้นผ่านศูนย์กลางหัวฉีดไวแสง: 2.5 มม
|
||||
|
ฉนวนกันแสง: 23 ± 0.5 ℃
|
ไม่จำเป็น
|
|||
|
หัวดูดความชื้น: ใช่
|
||||
|
อาร์อาร์ซี: ใช่
|
||||
|
บัฟเฟอร์: ใช่ 200มล
|
||||
|
วิธีการหยอดกาว: การหยอดตรงกลางและการวางการสแกนเป็นทางเลือก
|
||||
|
แขนถอดขอบ: 1 ชุด
|
||||
|
เส้นผ่านศูนย์กลางหัวฉีดถอดขอบ: 0.2 มม
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลของของเหลวในการกำจัดขอบ: เครื่องวัดการไหลแบบลอย
|
||||
|
ช่วงการไหลของของเหลวกำจัดขอบ: 5-50 มล./นาที
|
||||
|
ท่อย้อน: 2 ทาง (ขนาด 4/6 นิ้ว มี 1 ช่อง)
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลย้อนกลับ: เครื่องวัดการไหลแบบลอย
|
||||
|
ช่วงการไหลของของเหลวย้อน: 20-200ml/min
|
||||
|
วิธีการตรึงชิป: Chuck การดูดซับสูญญากาศในพื้นที่ขนาดเล็ก
|
||||
|
สัญญาณเตือนแรงดันสุญญากาศ: เซ็นเซอร์แรงดันสุญญากาศแบบดิจิตอล
|
||||
|
วัสดุหัวจับ: PPS
|
||||
|
วัสดุถ้วย: พีพี
|
||||
|
การตรวจสอบไอเสียของถ้วย: เซ็นเซอร์ความดันแบบดิจิตอล
|
||||
|
6 |
หน่วยกำลังพัฒนา |
ชัตเตอร์:ใช่
|
||
|
จำนวน: 2 ชุด (ต่อไปนี้คือการกำหนดค่าสำหรับแต่ละหน่วย)
|
||||
|
ความเร็วในการหมุนแกนหมุน: -5000rpm ~ 5000rpm
|
แบกคนขี้เกียจ
|
|||
|
ความแม่นยำในการหมุนแกนหมุน: ± 1 รอบต่อนาที (50 รอบต่อนาที ~ 5000 รอบต่อนาที)
|
||||
|
การปรับความเร็วการหมุนแกนหมุนขั้นต่ำ: 1 รอบต่อนาที
|
||||
|
ความเร่งสูงสุดของการหมุนแกนหมุน: 20000 รอบต่อนาที/วินาที
|
แบกคนขี้เกียจ
|
|||
|
แขนพัฒนา: 1 ชุด
|
||||
|
การพัฒนาไปป์ไลน์: 2 ทาง (หัวฉีดรูปพัดลม/หัวฉีดเป็นแนว)
|
||||
|
การกรองนักพัฒนา: 0.2um
|
||||
|
การควบคุมอุณหภูมิของผู้พัฒนา: 23 ± 0.5 ℃
|
ไม่จำเป็น
|
|||
|
การพัฒนาช่วงการไหลของสารละลาย: 100 ~ 1000 มล. / นาที
|
||||
|
โหมดการเคลื่อนไหวของแขนที่กำลังพัฒนา: จุดคงที่หรือการสแกน
|
||||
|
แขนหลอม: 1 ชุด
|
||||
|
ท่อส่งน้ำปราศจากไอออน: 1 วงจร
|
||||
|
เส้นผ่านศูนย์กลางหัวฉีดน้ำปราศจากไอออน: 4 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน)
|
||||
|
ช่วงการไหลของน้ำปราศจากไอออน: 100 ~ 1000 มล./นาที
|
||||
|
ท่ออบแห้งไนโตรเจน: 1 วงจร
|
||||
|
เส้นผ่านศูนย์กลางหัวฉีดไนโตรเจน: 4 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน)
|
||||
|
ช่วงการไหลของไนโตรเจน: 5-50 ลิตร/นาที
|
||||
|
นักพัฒนา, น้ำปราศจากไอออน, การตรวจสอบการไหลของไนโตรเจน: โฟลว์มิเตอร์แบบลอยตัว
|
||||
|
ท่อย้อน: 2 ทาง (ขนาด 4/6 นิ้ว มี 1 ช่อง)
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลย้อนกลับ: เครื่องวัดการไหลแบบลอย
|
||||
|
ช่วงการไหลของของเหลวย้อน: 20-200ml/min
|
||||
|
วิธีการตรึงชิป: Chuck การดูดซับสูญญากาศในพื้นที่ขนาดเล็ก
|
||||
|
สัญญาณเตือนแรงดันสุญญากาศ: เซ็นเซอร์แรงดันสุญญากาศแบบดิจิตอล
|
||||
|
วัสดุหัวจับ: PPS
|
||||
|
วัสดุหัวจับ: PPS
|
||||
|
วัสดุถ้วย: พีพี
|
||||
|
การตรวจสอบไอเสียของถ้วย: เซ็นเซอร์ความดันแบบดิจิตอล
|
||||
|
7 |
หน่วยยึดติด |
จำนวน: 2
|
ไม่จำเป็น
|
|
|
ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง ~ 180 ℃
|
||||
|
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1°C~ 180°C ± 1.5°C (เอาขอบออก 10 มม. ยกเว้นรูพินอีเจ็คเตอร์) |
||||
|
ปริมาณการปรับขั้นต่ำ: 0.1 ° C
|
||||
|
วิธีการควบคุมอุณหภูมิ: การปรับ PID
|
||||
|
ช่วงความสูงของพิน: 0-20 มม
|
||||
|
วัสดุ PIN: ตัวเครื่อง SUS304, ฝาครอบพิน PIN PI
|
||||
|
ช่องว่างในการอบ: 0.2 มม
|
||||
|
สัญญาณเตือนอุณหภูมิเกิน: สัญญาณเตือนค่าเบี่ยงเบนบวกและลบ
|
||||
|
วิธีการจ่าย: ฟอง 10 ± 2 มล./นาที
|
||||
|
สูญญากาศการทำงานของห้อง: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
หน่วยจานร้อน |
จำนวน: 10
|
||
|
ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง ~ 250 ℃
|
||||
|
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1°C~ 180°C ± 1.5°C 180.1°C~250° ±2.0°C (เอาขอบออก 10 มม. ยกเว้นรูพินอีเจ็คเตอร์) |
||||
|
จำนวนการปรับขั้นต่ำ: 0.1 ℃
|
||||
|
วิธีการควบคุมอุณหภูมิ: การปรับ PID
|
||||
|
ช่วงความสูงของพิน: 0-20 มม
|
||||
|
วัสดุ PIN: ตัวเครื่อง SUS304, ฝาครอบพิน PIN PI
|
||||
|
ช่องว่างในการอบ: 0.2 มม
|
||||
|
สัญญาณเตือนอุณหภูมิเกิน: สัญญาณเตือนค่าเบี่ยงเบนบวกและลบ
|
||||
|
9 |
หน่วยแผ่นเย็น
|
จำนวน: 2
|
||
|
ช่วงอุณหภูมิ: 15-25 ℃
|
||||
|
วิธีการทำความเย็น: การระบายความร้อนของปั๊มหมุนเวียนอุณหภูมิคงที่
|
||||
|
10 |
การจัดหาเคมีภัณฑ์ |
การจัดเก็บแสง: ปั๊มกาวนิวแมติก * 4 ชุด (ถังเสริมหรือปั๊มกาวไฟฟ้า)
|
||
|
ปริมาณการจ่ายกาว: สูงสุด 12 มล. ต่อเซสชัน ความแม่นยำ ± 0.2 มล
|
||||
|
การถอดขอบ/การล้างด้านหลัง/การจ่าย RRC: ถังแรงดัน 18 ลิตร * 2 (เติมอัตโนมัติ)
|
||||
|
การถอดขอบ/การล้างด้านหลัง/การตรวจสอบระดับของเหลว RRC: เซ็นเซอร์ตาแมว
|
||||
|
การตรวจสอบระดับของเหลวแบบโฟโตรีซิส: เซ็นเซอร์ตาแมว
|
||||
|
การปล่อยของเหลวเสียที่มีกาวสม่ำเสมอ: ถังของเหลวเสีย 10 ลิตร
|
||||
|
แหล่งจ่ายผู้พัฒนา: ถังแรงดัน 18 ลิตร * 4 (เก็บไว้ในตู้เคมีนอกตัวเครื่อง)
|
||||
|
น้ำประปาปราศจากไอออน: อุปทานโดยตรงจากโรงงาน
|
||||
|
การพัฒนาการตรวจสอบระดับของเหลว: เซ็นเซอร์ตาแมว
|
||||
|
การปล่อยของเสียจากนักพัฒนา: การปล่อยของเสียจากโรงงาน
|
||||
|
การจัดหาสารยึดเกาะ: ถังแรงดัน 10 ลิตร * 1, ถังแรงดัน 2 ลิตร * 1
|
||||
|
การตรวจสอบระดับของสารยึดเกาะ: เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริค
|
||||
|
11 |
ระบบควบคุม |
วิธีการควบคุม: บมจ
|
||
|
อินเทอร์เฟซการทำงานของเครื่องจักรของมนุษย์: หน้าจอสัมผัสขนาด 17 นิ้ว
|
||||
|
เครื่องสำรองไฟ (UPS): ใช่
|
||||
|
ตั้งค่าการอนุญาตการเข้ารหัสสำหรับผู้ปฏิบัติงานอุปกรณ์ ช่างเทคนิค ผู้ดูแลระบบ
|
||||
|
ชนิดเสาสัญญาณ: แดง เหลือง เขียว 3 สี
|
||||
|
12 |
ตัวบ่งชี้ความน่าเชื่อถือของระบบ
|
เวลาทำงาน: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500 ชม
|
||||
|
MTTR: ≤ 4 ชม
|
||||
|
MTBA： ≥24ชม
|
||||
|
อัตราการกระจายตัว: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
ฟังก์ชั่นอื่น ๆ
|
แสงสีเหลือง: 4 ชุด (ตำแหน่ง: เหนือหน่วยผสมและพัฒนากาว)
|
||
|
THC: ใช่ 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
ไม่จำเป็น
|
|||
|
FFU: คลาส 100, 5 ชุด (หน่วยประมวลผลและพื้นที่หุ่นยนต์)
|
||||
บริษัท กวางโจว มินเดอร์-ไฮเทค จำกัด
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
