1. เวเฟอร์ที่ใช้งานได้: เวเฟอร์ 12 '' และเวเฟอร์ 8 ''
2. ขนาดลูกบอล: ф60[um]~ ф760 [um]、ф30 [um] ในระดับการทดสอบในห้องปฏิบัติการ
3. เวเฟอร์ชน:
ก) นาที. ระยะชน: 100 [um]
ข) นาที. ขนาดแผ่นกันกระแทก: 85 [um]
ค). สูงสุด จำนวนการชน: 2.2KK [พิน]
*ข้อมูลขึ้นอยู่กับสภาพของอุปกรณ์
4. กล่องเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว:
ก) นาที. ความหนา: 200[μm]、100[μm] ภายใต้ระดับการทดสอบในห้องปฏิบัติการ
ข) ค่าเผื่อการบิดเบี้ยวสูงสุด:6 [mm]/凹case、3 [mm]/凸case
5. ความสามารถในการติดตั้งลูกบอล
ก) ความแม่นยำในการพิมพ์ฟลักซ์
มากกว่า ф75[um] บอล: +25[um]
น้อยกว่า ф75[μml บอล: +1/3 ของเส้นผ่านศูนย์กลางลูกบอล
ข) ความแม่นยำในการติดตั้งลูกบอล
มากกว่า ф75[um] บอล::±25[um]
น้อยกว่า ф75[μml บอล: +1/3 ของเส้นผ่านศูนย์กลางลูกบอล
สำหรับกรณีพิเศษ เราสามารถบรรลุ:+13μm
ค). อัตราส่วน NG ของการติดตั้งบอล: น้อยกว่า 30 [ppm]