1.ประเภทแสง: ด้านเดียว
2.พื้นที่รับแสง:110×110มม.
3. การส่องสว่างที่ไม่สม่ำเสมอ: ≤± 3%
4.ความเข้มแสง: 0-30mw/cm2 ปรับได้
5. มุมลำแสงยูวี: ≤3°
6.ความยาวคลื่นกลางของแสงอัลตราไวโอเลต: 365 นาโนเมตร
7.อายุการใช้งานของแหล่งกำเนิดแสง UV: ≥500ชั่วโมง
8.การนำชัตเตอร์อิเล็กทรอนิกส์มาใช้
9. ความละเอียดในการรับแสง: 1 μm;
10. ช่วงการสแกนด้วยกล้องจุลทรรศน์: X: ± 15 มม. Y: ± 15 มม.;
11.ช่วงการจัดตำแหน่ง: X, Y ปรับ ± 4 มม. การปรับทิศทาง Q ± 3 °;
12.ความแม่นยำในการแกะสลัก: 1 μ ความถูกต้องของ "เวอร์ชัน" และ "ชิป" ของผู้ใช้จะต้องเป็นไปตามข้อบังคับระดับชาติ
และสภาพแวดล้อมอุณหภูมิความชื้นและฝุ่นสามารถควบคุมได้อย่างเข้มงวดมีการใช้เครื่องฉายแสงเชิงบวกที่นำเข้าและความหนาของเครื่องฉายแสงที่สม่ำเสมอสามารถมีการควบคุมอย่างเข้มงวด นอกจากนี้ กระบวนการด้านหน้าและด้านหลังยังก้าวหน้าอีกด้วย
13. จำนวนการแยก ปรับได้ 0 ~ 50 μm;
14. วิธีการสัมผัส: การเปิดรับแสงอย่างใกล้ชิดซึ่งสามารถบรรลุการสัมผัสแบบแข็งการสัมผัสแบบอ่อนและการสัมผัสกับการสัมผัสแบบไมโครฟอร์ซ 15. สูตรการหากำลังสอง: อากาศ