1.ประเภทการฉายแสง: ด้านเดียว
2.พื้นที่การฉายแสง: 110×110 มม.
3.ความไม่สม่ำเสมอของการส่องสว่าง: ≤±3%.
4.ความเข้มของการฉายแสง: 0-30mw/cm2 ปรับได้
5.มุมลำแสง UV: ≤3°.
6.ความยาวคลื่นศูนย์กลางของแสงอัลตราไวโอเลต: 365nm.
7.อายุการใช้งานของแหล่งกำเนิดแสง UV: ≥500 ชั่วโมง
8.ใช้ชัตเตอร์อิเล็กทรอนิกส์
9.ความละเอียดของการฉายแสง: 1 μm;
10.ช่วงการสแกนจุลทรรศน์: X:±15มม. Y:±15มม.;
11.ช่วงการจัดตำแหน่ง: การปรับ X,Y ±4มม.; การปรับทิศทาง Q ±3°;
12.ความแม่นยำในการแกะสลัก: 1 μ ความถูกต้องของ "เวอร์ชัน" และ "ชิป" ของผู้ใช้ต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดของประเทศ
และสภาพแวดล้อม อุณหภูมิ ความชื้น และฝุ่นควันสามารถควบคุมได้อย่างเข้มงวด โดยใช้โฟโตเรซิสต์แบบนำเข้า และความหนาของโฟโตเรซิสต์ที่สม่ำเสมอสามารถ ควบคุมได้อย่างเข้มงวด นอกจากนี้กระบวนการก่อนและหลังเป็นไปอย่างล้ำหน้า;
13.ปริมาณการแยก: ปรับได้ 0~50 μm;
14.วิธีการส่องแสง: ส่องแสงใกล้ชิด ซึ่งสามารถทำให้เกิดการสัมผัสแบบแข็ง การสัมผัสแบบอ่อน และการสัมผัสแรงน้อย; 15.สูตรการหาสี่เหลี่ยม: อากาศ