อุปกรณ์นี้ใช้สำหรับการพัฒนาและการผลิตวงจรรวมขนาดเล็กและขนาดกลาง เซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์คลื่นเสียงผิว โดยอาศัยกลไกการปรับระดับขั้นสูงและการใช้แรงกดน้อย อุปกรณ์นี้ไม่เพียงแต่เหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateชนิดต่าง ๆ แต่ยังเหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateที่แตกง่าย เช่น โพแทสเซียมอาร์เซนิดและฟอสเฟตเหล็ก นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateที่ไม่เป็นวงกลมและขนาดเล็ก