เครื่องพิมพ์ภาพแบบความแม่นยำสูงด้านเดียว MDXN-25X , China เครื่องพิมพ์ภาพแบบความแม่นยำสูงด้านเดียว MDXN-25X Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

อุปกรณ์นี้เป็นเครื่องพิมพ์ที่มีความแม่นยำซึ่งพัฒนาโดยบริษัทของเราโดยเฉพาะสำหรับลักษณะการใช้งานของเครื่องพิมพ์ในสถาบันการศึกษาและหน่วยงานวิจัยต่างๆ โดยใช้สำหรับการพัฒนาและการผลิตวงจรรวมขนาดเล็กและขนาดกลาง อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และอุปกรณ์คลื่นเสียงผิว

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

ข้อมูลจำเพาะ

ปริมาตรทางเทคนิคหลัก

1. อุปกรณ์สามารถดูดฝุ่นเพื่อติดตั้งหน้ากากขนาด 5"X5" ตาราง โดยไม่มีข้อกำหนดพิเศษเกี่ยวกับความหนาของแผ่น (ช่วงความหนาระหว่าง 1 ถึง 3 มม.)
2. อุปกรณ์สามารถใช้งานได้กับวัสดุฐานรูปวงกลมขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 100 มม.
3. ความหนาของวัสดุฐาน ≤ 5 มม.
4. การส่องแสง:
แหล่งกำเนิดแสง: ใช้หลอดไฟ GCQ350Z ultra-high pressure mercury direct current mercury lamp
ช่วงการส่องแสง: ≤ เส้นผ่าศูนย์กลาง 117 มม. พื้นที่การฉายแสง: เส้นผ่าศูนย์กลาง 100 มม.
ภายในช่วงเส้นผ่าศูนย์กลาง 100 มม. ความไม่สม่ำเสมอของการฉายแสง ≤ ± 3% และความเข้มของการฉายแสง > 6mw/cm² (ตัวชี้วัดนี้วัดโดยใช้แหล่งกำเนิดแสง UV I-line 365nm)
5. อุปกรณ์นี้ใช้เวลาเรลเลย์นำเข้าเพื่อควบคุมชัตเตอร์ลม เพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานแม่นยำและเชื่อถือได้
6. เครื่องนี้เป็นเครื่องฉายแสงแบบสัมผัสที่สามารถทำได้:
7. การฉายแสงแบบสัมผัสแข็ง: ใช้วาล์วสุญญากาศเพื่อให้ได้การสัมผัสสุญญากาศสูง สุญญากาศ ≤ -0.05MPa
8. การสัมผัสแบบนุ่ม: แรงดันจากการสัมผัสสามารถเพิ่มความกดอากาศต่ำได้ระหว่าง -0.02MPa ถึง -0.05MPa
9. การสัมผัสแบบจุลภาค: น้อยกว่าการสัมผัสแบบนุ่ม, ความกดอากาศต่ำ ≥ -0.02MPa
10. ความละเอียดของการเปิดรับแสง: ความละเอียดของการเปิดรับแสงแบบการสัมผัสที่แข็งของอุปกรณ์นี้สามารถถึงระดับ 1 μm ขึ้นไป (ความแม่นยำของ "แผ่น" และ "ชิป" ของผู้ใช้จะต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดของประเทศ และสภาพแวดล้อม อุณหภูมิ ความชื้น และฝุ่นควันสามารถควบคุมได้อย่างเข้มงวด โดยใช้โฟโตเรซิสต์เชิงบวกนำเข้า และสามารถควบคุมความหนาของโฟโตเรซิสต์ที่สม่ำเสมอได้อย่างเข้มงวด นอกจากนี้กระบวนการก่อนและหลังยังล้ำหน้า)
11. การจัดแนว: ระบบสังเกตประกอบด้วยกล้อง CCD สองตัวที่ติดตั้งบนกล้องจุลทรรศน์ท่อเดี่ยวสองตัว และเชื่อมต่อกับหน้าจอแสดงผลผ่านสายวิดีโอ

การแพ็คและจัดส่ง

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

ข้อมูลบริษัท

เรามีประสบการณ์ในการขายอุปกรณ์เป็นเวลา 16 ปี เราสามารถให้บริการโซลูชั่นแบบครบวงจรสำหรับสายการผลิตการบรรจุภัณฑ์หน้าและหลังของกึ่งตัวนำจากประเทศจีนแก่คุณได้