1. อุปกรณ์สามารถดูดซับหน้ากากสี่เหลี่ยมขนาด 5 "X5" แบบสุญญากาศ โดยไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับความหนาของแผ่น (ตั้งแต่ 1 ถึง 3 มม.)
2. อุปกรณ์สามารถใช้กับพื้นผิวทรงกลม ф 100 มม.
3. ความหนาของพื้นผิว ≤ 5 มม.
4 ไฟ:
แหล่งกำเนิดแสง: ใช้หลอดปรอทกระแสตรงปรอทความดันสูงพิเศษ GCQ350Z
ช่วงแสง: ≤ ф 117 มม. พื้นที่รับแสง: ф 100 มม
คงอยู่ ф ภายในช่วง 100 มม. ความไม่สม่ำเสมอของการรับแสงคือ ≤ ± 3% และความเข้มของแสงคือ>6mw/cm2 (ตัวบ่งชี้นี้วัดโดยใช้แหล่งกำเนิดแสง UV I-line 365nm)
5. อุปกรณ์นี้ใช้รีเลย์เวลาที่นำเข้ามาเพื่อควบคุมชัตเตอร์แบบนิวแมติก เพื่อให้มั่นใจว่าการทำงานมีความแม่นยำและเชื่อถือได้
6. เครื่องนี้เป็นเครื่องสัมผัสที่สามารถบรรลุ:
7. การสัมผัสกับการสัมผัสยาก: ใช้สุญญากาศไปป์ไลน์เพื่อให้ได้หน้าสัมผัสสุญญากาศสูง สุญญากาศ ≤ -0.05MPa
8. การสัมผัสกับการสัมผัสแบบอ่อน: แรงกดสัมผัสสามารถเพิ่มสุญญากาศให้อยู่ระหว่าง -0.02MPa ถึง -0.05MPa
9. การสัมผัสกับไมโครคอนแทค: น้อยกว่าการสัมผัสแบบอ่อน, สุญญากาศ ≥ -0.02MPa
10. ความละเอียดของการเปิดรับแสง: ความละเอียดของการสัมผัสแรงของอุปกรณ์นี้สามารถเข้าถึงได้ที่ 1 μ เหนือม. (ความแม่นยำของ "เพลต" และ "ชิป" ของผู้ใช้จะต้องเป็นไปตามกฎระเบียบของประเทศ และสภาพแวดล้อม อุณหภูมิ ความชื้น และฝุ่นสามารถ ได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวด
11. การจัดตำแหน่ง: ระบบสังเกตการณ์ประกอบด้วยกล้อง CCD สองตัวที่ติดตั้งอยู่บนกล้องจุลทรรศน์หลอดเดียวสองตัวและเชื่อมต่อกับหน้าจอแสดงผลผ่านสายวิดีโอ