1. พลังงานที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์: แหล่งจ่ายไฟหลัก: 220V, 50HZ, การบริโภคพลังงาน ≤1.5KW;
2. มาพร้อมกับปั๊มสุญญากาศที่มีแหล่งจ่ายไฟ 220V;
3. ขนาดและน้ำหนัก: ขนาด: 1200(ยาว)×720(กว้าง)×1500(สูง). น้ำหนัก ≤170kg;
4. วางตัวเครื่องบนโต๊ะทำงานเฉพาะ;
5. ประเภทการฉายแสง: แบบติดต่อ การปรับตำแหน่งแผ่น ฉายแสงสองด้าน;
6. พื้นที่ฉายแสง: φ100mm;
7. การไม่สม่ำเสมอของการฉายแสง: ≤±3%;
8. ความเข้มของการฉายแสง: ≥5mw/cm2;
9.ความละเอียดในการเปิดรับแสง: 2μm;
10.โหมดการเปิดรับแสง: การเปิดรับแสงสองด้านพร้อมกัน;
11.ช่วงการจัดแนว: X: ±5mm Y:±5mm;
12.ความแม่นยำในการแกะสลัก: 2μm;
13.ช่วงการหมุน: การปรับหมุนทิศทาง Q ≤±5°;
14.ระบบกล้องจุลทรรศน์: ระบบ CCD แบบสองมุมมอง, เลนส์วัตถุ 1.6X~10X, ระบบประมวลผลภาพบนคอมพิวเตอร์, จอแสดงผล LCD ขนาด 19";
15.ขนาดของแมสก์: รองรับการดูดด้วยแรงดูดว่างเปล่า