1. พลังงานที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์: แหล่งจ่ายไฟเมนเฟรม: 220V, 50HZ, การใช้พลังงาน≤1.5KW;
2.ติดตั้งปั๊มสุญญากาศพร้อมแหล่งจ่ายไฟ 220V;
3.ขนาดและน้ำหนัก: ขนาด: 1200 (ยาว) × 720 (กว้าง) × 1500 (สูง) น้ำหนัก ≤170กก.
4. วางตัวเครื่องไว้บนโต๊ะทำงานเฉพาะ
5.ประเภทการสัมผัส: ประเภทการติดต่อ,การจัดตำแหน่งแผ่น,การสัมผัสสองด้าน;
6.พื้นที่รับแสง: φ100mm;
7.การสัมผัสที่ไม่สม่ำเสมอ: ≤±3%;
8.ความเข้มแสง: ≥5mw/cm2;
9. ความละเอียดในการรับแสง: 2μm;
10.โหมดการรับแสง: การเปิดรับแสงสองด้านพร้อมกัน;
11.ช่วงการจัดตำแหน่ง: X: ± 5 มม. Y: ± 5 มม.;
12.ความแม่นยำในการแกะสลัก: 2μm;
13.ช่วงการหมุน: การปรับการหมุนทิศทาง Q≤±5°;
14. ระบบกล้องจุลทรรศน์: ระบบ CCD มุมมองแบบคู่, เลนส์ใกล้วัตถุ 1.6X ~ 10X, ระบบประมวลผลภาพคอมพิวเตอร์, จอภาพ LCD 19 นิ้ว;
15.ขนาดหน้ากาก: สามารถดูดซับสูญญากาศได้