เครื่องทำความสะอาดพลาสมาชนิดไมโครเวฟรุ่นใหม่ เครื่องทำความสะอาดพลาสมา สำหรับอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ , China เครื่องทำความสะอาดพลาสมาชนิดไมโครเวฟรุ่นใหม่ เครื่องทำความสะอาดพลาสมา สำหรับอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

Microwave Plasma Cleaner

SPV-100MWR เป็นระบบทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟแรงดันต่ำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ โดยการใช้ไมโครเวฟที่ความถี่ 2.45GHz ไปยังหน้าต่างบนผนังของช่องสุญญากาศ จะสร้างพลาสมาจำนวนมากอย่างต่อเนื่อง และชิปจะถูกทำความสะอาดเมื่อเข้าสู่ช่อง

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment supplier

การประยุกต์ใช้

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory

ข้อมูลจำเพาะ

โฮสต์พลาสมาแบบดูดอากาศ
ขนาดของเครื่อง	1230X1800X1100mm (กว้าง x สูง x ลึก)
น้ำหนัก	450กิโลกรัม
ความต้องการพลังงาน	AC380V, 50/60Hz, 5-สาย, 30A
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสมา
แหล่งจ่ายพลังงานไมโครเวฟ	พลังงาน	0~1250W
		ความถี่	2.45GHz
ระบบสูบ
วัสดุ	อลูมิเนียมอัลลอย (สามารถปรับแต่งเป็นห้องสเตนเลสได้)
ความหนา	25มม
มิติภายในของโพรง	480mmX470mmX480mm
พื้นที่ทำงาน	6 ช่องแม็กกาซีน
ECR	นิตยสารแบบมีช่องให้ผลการประมวลผล ECR ที่ได้รับการปรับปรุง
ความสามารถในการใช้พลาสมา
ความสามารถในการประมวลผล	ระยะห่าง 35 ไมครอน ปุ่มขนาด 40μm ขนาดดายสูงสุด 15X15 มม.