อุปกรณ์การสะสมไอสารเคมีที่ปรับปรุงด้วยพลาสม่า PECVD / กระบวนการ PECVD อุณหภูมิสูง ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

รายละเอียดสินค้า

PECVD Plasma เพิ่มอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมี

◆ ควบคุมเวลากระบวนการ อุณหภูมิ การไหลของก๊าซ การทำงานของวาล์ว และความดันในห้องปฏิกิริยาโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์
คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม
◆ นำระบบควบคุมแรงดันนำเข้าและระบบวงปิดมาใช้ ซึ่งมีเสถียรภาพสูง
◆ อุปกรณ์ท่อและวาล์วสแตนเลสที่ทนต่อการกัดกร่อนนำเข้าถูกนำมาใช้เพื่อให้แน่ใจว่ามีความหนาแน่นของอากาศของวงจรก๊าซ
◆ มีฟังก์ชันการเตือนที่สมบูรณ์แบบและอุปกรณ์เชื่อมต่อความปลอดภัย
◆ มีสัญญาณเตือนอุณหภูมิสูงเป็นพิเศษและสัญญาณเตือนอุณหภูมิต่ำ, สัญญาณเตือน MFC, สัญญาณเตือนแรงดันห้องปฏิกิริยา, สัญญาณเตือน RF, สัญญาณเตือนแรงดันอากาศอัดต่ำ, สัญญาณเตือนแรงดัน N2 ต่ำ และสัญญาณเตือนการไหลของน้ำหล่อเย็นต่ำ
◆ PECVD ที่มีอยู่มีหน้าที่ในการเพิ่มฟิล์ม SiO2 หลังจากการอัพเกรด ซึ่งช่วยแก้ปัญหา PID ของโมดูลแบตเตอรี่ ฟิล์ม SiNxOy สามารถปลูกได้ (กระบวนการสร้างฟิล์มด้านหลัง) ซึ่งสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงของแบตเตอรี่ได้อย่างมาก

PECVD พลาสมาเพิ่มประสิทธิภาพอุปกรณ์สะสมไอสารเคมี / ซัพพลายเออร์กระบวนการ PECVD อุณหภูมิสูง

PECVD อุปกรณ์เพิ่มการสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสม่า PECVD / รายละเอียดกระบวนการ PECVD อุณหภูมิสูง

PECVD พลาสมาเพิ่มประสิทธิภาพอุปกรณ์สะสมไอสารเคมี / โรงงานกระบวนการ PECVD อุณหภูมิสูง

ประเภท

◆ ปริมาณการบรรจุ: 384 ชิ้น/ลำ (125 * 125); 336 ชิ้น/ลำ (156*156)
◆ ความสะอาดของตารางการทำให้บริสุทธิ์: เกรด 100 (โรงงานเกรด 10000)
◆ ระดับอัตโนมัติ: การควบคุมอุณหภูมิและกระบวนการอัตโนมัติ
◆ โหมดการส่งและรับชิป: ชนิดลงจอดที่นุ่มนวล มีลักษณะที่มั่นคงและเชื่อถือได้ ไม่มีการคืบคลาน ตำแหน่งที่แม่นยำ ความจุแบริ่งขนาดใหญ่ และอายุการใช้งานที่ยาวนาน

Specification

โหลดสูงสุดต่อหลอด	384 ชิ้น/ลำ (125125) 336 ชิ้น/ลำ (156156)
ดัชนีกระบวนการ	± 3% ในแท็บเล็ต, ± 3% ระหว่างแท็บเล็ต, ± 3% ระหว่างแบทช์
อุณหภูมิในการทำงาน	200 500 ℃ ~
ความแม่นยำและความยาวของโซนอุณหภูมิ (การทดสอบหลอดปิดแบบสถิต)	1200 มม. ± 1 ℃
ความแม่นยำในการไหลของก๊าซ	± 1% FS
ความแน่นหนาของระบบวงจรอากาศ	1×10-7Pa.m³/S
ควบคุม	ระบบควบคุมวงปิดแรงดันอัตโนมัติที่นำเข้าอย่างเต็มที่ การควบคุมสุญญากาศปฏิกิริยาที่แม่นยำ พลังงานความถี่สูง 40KHz จัดหา; เรือหัตถกรรมลงจอดอย่างนุ่มนวล; การควบคุมแบบดิจิทัลเต็มรูปแบบ การป้องกันการควบคุมกระบวนการที่สมบูรณ์แบบและปลอดภัย
1 หลอด 2 หลอด 3 หลอดและ 4 หลอดเป็นอุปกรณ์เสริม เครื่องมือจัดการการโหลดอัตโนมัติเป็นทางเลือกและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ และประสิทธิภาพของกระบวนการสามารถเทียบเคียงได้กับอุปกรณ์ที่คล้ายกันชั้นนำของโลก

การบรรจุและการจัดส่ง

PECVD พลาสมาเพิ่มประสิทธิภาพอุปกรณ์สะสมไอสารเคมี / กระบวนการผลิต PECVD ที่อุณหภูมิสูง

เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยของสินค้าของคุณมากขึ้นเราจะจัดหาบริการบรรจุภัณฑ์ระดับมืออาชีพเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมสะดวกและมีประสิทธิภาพ

ข้อมูล บริษัท

เรามีประสบการณ์ 16 ปีในการขายอุปกรณ์ เราสามารถจัดหาโซลูชันระดับมืออาชีพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ฟรอนต์เอนด์และแบ็คเอนด์แบบครบวงจรจากประเทศจีนให้กับคุณ