รุ่น | เอ็มดีเอ็ม-ซีเอ็มพี100 | เอ็มดีเอ็ม-ซีเอ็มพี150 | |
ขนาดเวเฟอร์ | 4 นิ้วและต่ำกว่า | 6 นิ้วและต่ำกว่า | |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นทำงาน | 420mm | 420mm | |
สถานี | ≤ 4 | ≤ 2 | |
พอร์ตฟีด | ≤ 3 | ||
แหล่งจ่ายไฟ | 220 โวลต์、10 แอมป์ | ||
การจับเวลา | 0-10h | ||
อุณหภูมิโดยรอบ | 20 ℃ ~ 35 ℃ | ||
ความเร็วของจาน | 0-120rpm | ||
อัตราการแข่งขัน | 0-120rpm |
ตัวอย่างส่วนประกอบระบบการยึด | แคลมป์ แขนลูกกลิ้ง |
การประกอบกระบวนการแล็ปปิ้ง | แผ่นขัด, บล็อกซ่อมแผ่น และกระบอกสูบ |
การประกอบกระบวนการขัดเงา | ระบบป้อนของเหลวขัดเงาและแผ่นขัดเงา |
ส่วนประกอบการตรวจจับ | แท่นทดสอบมาตรฐาน เครื่องทดสอบความเรียบ เกจวัดแรงดัน |
แพ็คเกจวัสดุขัดและเคลือบเวเฟอร์ | ผงขัด, น้ำยาขัดเงา, ผ้าขัดเงา, ขี้ผึ้ง, น้ำยาขจัดขี้ผึ้ง, แผ่นพื้นผิวกระจก |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์