รุ่น |
MDAM-CMP100 |
MDAM-CMP150 |
|
ขนาดของเวเฟอร์ |
4 นิ้วและต่ำกว่า |
6 นิ้วและต่ำกว่า |
|
เส้นผ่านศูนย์กลางของจานทำงาน |
420 มิลลิเมตร |
420 มิลลิเมตร |
|
สถานี |
≤4 |
≤2 |
|
ช่องใส่ |
≤3 |
||
การให้พลังงาน |
220V、10A |
||
เวลา |
0-10h |
||
อุณหภูมิบริเวณ |
20℃~35℃ |
||
ความเร็วของแผ่น |
0-120RPM |
||
อัตราการติดตั้ง |
0-120RPM |
ชิ้นส่วนของระบบตัวอย่างการติดตั้ง |
กีบหนีบ, แขนลูกกลิ้ง |
ชุดกระบวนการขัดเงา |
แผ่นขัด, บล็อกซ่อมแผ่น, และกระบอกสูบ |
ชุดกระบวนการขัดเงา |
ระบบจ่ายของเหลวสำหรับขัดและแผ่นขัด |
ชิ้นส่วนการตรวจจับ |
แพลตฟอร์มมาตรฐานการทดสอบ, เครื่องทดสอบความแบน, เครื่องวัดแรงดัน |
แพ็กเกจวัสดุสำหรับการขัดและการขัดเงาเวเฟอร์ |
ผงขัด พลาสติก, สารละลายสำหรับขัดเงา, ผ้าขัดเงา, 蠟, ของเหลวสำหรับล้าง蠟, แผ่นพื้นกระจก |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved