การประมวลผลความร้อนเร็ว
อุปกรณ์ RTP สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ผสม SlC LED และ MEMS
* การเจริญเติบโตของออกไซด์ ไนไตรด์
* การหลอมโลหะแบบรวดเร็วด้วยการติดต่อโอฮามิก
* การอบแห้งของโลหะซิลิไซด์
* กระบวนการ reflux ออกซิเดชัน
* กระบวนการแกลเลียมอาร์เซนายด์
* กระบวนการบำบัดความร้อนเร็วแบบอื่นๆ
RTP สองห้องแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
* สามารถใช้งานร่วมกับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 6-8 นิ้วได้
* อุณหภูมิสูงสุดที่สามารถถึงได้คือ 1250°c
* การสืบคืนอุณหภูมิที่เสถียร
* การออกแบบสองห้องแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบเพื่อเพิ่มศักยภาพการผลิต
* ความสม่ำเสมอของสนามอุณหภูมิสูงมาก
* รองรับความต้องการสำหรับกระบวนการผลิตมวลชน SlC
RTP เซมิออโตเมติก
* การทำความร้อนด้วยหลอดไฟฮาโลเจนอินฟราเรด การทำให้เย็นใช้วิธีการระบายความร้อนด้วยอากาศ;
* การควบคุมอุณหภูมิแบบ PlD สำหรับพลังงานของหลอดไฟ ซึ่งสามารถควบคุมการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ช่วยให้มั่นใจในความคงที่และการกระจายอุณหภูมิที่ดี;
* จุดเข้าของวัสดุถูกกำหนดไว้บนพื้นผิวของ WAFER เพื่อหลีกเลี่ยงจุดเย็นระหว่างกระบวนการอบ และช่วยให้มั่นใจในความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของผลิตภัณฑ์;
* สามารถเลือกวิธีการรักษาทั้งในบรรยากาศและในสุญญากาศได้ โดยมีการเตรียมล่วงหน้าและการฟอกตัวเครื่อง;
* ก๊าซกระบวนการสองชุดเป็นมาตรฐาน และสามารถขยายได้ถึง 6 ชุดของก๊าซกระบวนการ;
* ขนาดสูงสุดของตัวอย่างซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวที่สามารถวัดได้คือ 12 นิ้ว (300x300MM);
* มาตรการความปลอดภัยสามประการ ได้แก่ การป้องกันการเปิดอุณหภูมิปลอดภัย การป้องกันการเปิดอุณหภูมิของตัวควบคุม และการป้องกันการหยุดฉุกเฉินของอุปกรณ์ ได้รับการดำเนินการอย่างเต็มที่เพื่อความปลอดภัยของเครื่องมือ;
โต๊ะทำงาน RTP
* การทำความร้อนด้วยหลอดไฟฮาโลเจนอินฟราเรด การทำให้เย็นใช้วิธีการระบายความร้อนด้วยอากาศ;
* การควบคุมอุณหภูมิแบบ PlD สำหรับพลังงานของหลอดไฟ ซึ่งสามารถควบคุมการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ช่วยให้มั่นใจในความคงที่และการกระจายอุณหภูมิที่ดี;
* จุดเข้าของวัสดุถูกกำหนดไว้บนพื้นผิวของ WAFER เพื่อหลีกเลี่ยงจุดเย็นระหว่างกระบวนการอบ และช่วยให้มั่นใจในความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของผลิตภัณฑ์;
* สามารถเลือกวิธีการรักษาทั้งในบรรยากาศและในสุญญากาศได้ โดยมีการเตรียมล่วงหน้าและการฟอกตัวเครื่อง;
* ก๊าซกระบวนการสองชุดเป็นมาตรฐาน และสามารถขยายได้ถึง 6 ชุดของก๊าซกระบวนการ;
* ขนาดสูงสุดของตัวอย่างซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวที่สามารถวัดได้คือ 12 นิ้ว (300x300MM);
* มาตรการความปลอดภัยสามประการ ได้แก่ การป้องกันการเปิดอุณหภูมิปลอดภัย การป้องกันการเปิดอุณหภูมิของตัวควบคุม และการป้องกันการหยุดฉุกเฉินของอุปกรณ์ ได้รับการดำเนินการอย่างเต็มที่เพื่อความปลอดภัยของเครื่องมือ;
เรามีประสบการณ์ 16 ปีในด้านการขายอุปกรณ์ และสามารถให้บริการโซลูชันอุปกรณ์สายการผลิต IC Package แบบครบวงจรแก่คุณได้!
คุณกำลังมองหาอุปกรณ์ RTP ที่น่าเชื่อถือสำหรับกระบวนการผลิต SlC LED MEMS เซมิคอนดักเตอร์ผสมของคุณหรือไม่? อย่ามองหาที่ไหนไกลเลยเมื่อมี Minder-Hightech
แสดงให้เห็นถึงความสามารถพิเศษในการประมวลผลอย่างรวดเร็วและสร้างความร้อน ทำให้เหมาะสำหรับการสร้างองค์ประกอบชั้นนำ เช่น เซมิคอนดักเตอร์, อุปกรณ์ SlC MEMS และ LEDs โดยมีเทคโนโลยี Minder-Hightech อยู่ในมือ คุณสามารถบรรลุอุณหภูมิที่แม่นยำ การทำความร้อนที่คงที่ และลดความหนาแน่นของปัญหาในผลิตภัณฑ์หรือบริการของคุณได้
มาพร้อมกับอินเทอร์เฟซผู้ใช้ที่ใช้งานง่าย ทำให้ผู้ปฏิบัติงานทุกระดับความสามารถสามารถใช้งานและนำทางได้อย่างสะดวก นอกจากนี้ ฟังก์ชันการอัตโนมัติขั้นสูงยังช่วยให้คุณปรับปรุงกระบวนการผลิต ลดความจำเป็นในการดูแลและทำงานด้วยมือ ช่วยประหยัดเงินและเวลาของคุณ
ความสำคัญถูกเข้าใจผ่านทีมงานของเราที่เน้นความน่าเชื่อถือของเครื่องมือ นั่นคือเหตุผลว่าทำไมอุปกรณ์ RTP ของเราจึงได้รับการพัฒนาควบคู่ไปกับปัจจัยคุณภาพสูงสุด และออกแบบมาเพื่อทนต่อการใช้งานหนักในชีวิตประจำวัน โดยไม่มีการลดลงของประสิทธิภาพหรือแม้แต่ฟังก์ชัน นอกจากนี้ทีมงานของเราให้บริการช่วยเหลือและบำรุงรักษาเป็นประจำ เพื่อรับรองความคงทนของอุปกรณ์ของคุณ
ไม่ว่าคุณจะเกี่ยวข้องกับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ผสม การผลิต LED หรือการพัฒนาระบบ MEMS อุปกรณ์ RTP จาก Minder-Hightech ก็มอบประสิทธิภาพและความแม่นยำที่เหนือกว่า ดังนั้นอย่าเสียเวลา! พัฒนากระบวนการผลิตของคุณให้ทันสมัยโดยการซื้ออุปกรณ์ RTP จาก Minder-Hightech วันนี้
หากคุณต้องการอุปกรณ์ RTP คุณภาพสูงเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและความสำเร็จของกระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำผสม LED SlC MEMS ของคุณ ให้พึ่งพา Minder-Hightech เทคโนโลยีขั้นสูง อุปกรณ์ที่น่าเชื่อถือ และบริการลูกค้าที่ยอดเยี่ยมของเราทำให้เราเป็นทางเลือกอันดับหนึ่งสำหรับธุรกิจทั่วโลก
อย่ารอช้าในการยกระดับกระบวนการผลิตของคุณไปอีกขั้น
ซื้ออุปกรณ์ RTP จาก Minder-Hightech วันนี้