แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้
|
ขนาด
|
นิ้ว
|
4,5,6,8
|
วิธีการถู
|
-
|
วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก
|
|
แกนของล้อบด
|
ประเภท
|
-
|
หมุดอากาศ
|
ปริมาณ
|
-
|
1
|
|
ความเร็ว
|
รอบต่อนาที
|
0~5000
|
|
กำลังไฟฟ้าออก
|
กิโลวัตต์
|
5.5/7.5
|
|
ช่วงการเคลื่อนที่
|
มม
|
150
|
|
ความเร็วในการป้อน
|
um/s
|
0.01~100
|
|
ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า
|
มม/นาที
|
300
|
|
ความละเอียด
|
อืม
|
0.1
|
|
แกนชิ้นงาน
|
ประเภท
|
-
|
ลูกปืน
|
ปริมาณ
|
-
|
1
|
|
ความเร็ว
|
รอบต่อนาที
|
0 ~ 300
|
|
พลังงาน
|
กิโลวัตต์
|
0.75
|
|
ชนิดดูดติด
|
-
|
เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก
|
|
วิธีดูดเวเฟอร์
|
-
|
การดูดด้วยแรงดูด
|
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์
|
-
|
คู่มือ
|
|
หน้าที่อื่น ๆ
|
การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์
|
-
|
-
|
การทำความสะอาดเวเฟอร์
|
-
|
-
|
|
การทำความสะอาดคัพดูด
|
-
|
-
|
|
ใบเจียร
|
มม
|
φ200
|
|
ออนไลน์
การวัด |
ช่วงการวัด
|
อืม
|
0~1800
|
ความละเอียด
|
อืม
|
0.1
|
|
ความแม่นยำในการทำซ้ำ
|
อืม
|
±0.5
|
|
การแปรรูป
ความแม่นยำ |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV)
|
อืม
|
≤2
|
ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW)
|
อืม
|
±3
|
|
ความขรุขระของผิว (Ry)
|
อืม
|
0.1(2000#finish)
|
|
ลักษณะ
|
การแต่งสีลักษณะ
|
อืม
|
ลวดลายส้ม
|
มิติ(กว้าง×ลึก×สูง)
|
มม
|
690×1720×1780
|
|
น้ำหนัก
|
กิโลกรัม
|
1400
|
แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้
|
ขนาด
|
นิ้ว
|
6,8,12
|
วิธีการถู
|
-
|
วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก
|
|
แกนของล้อบด
|
ประเภท
|
-
|
หมุดอากาศ
|
ปริมาณ
|
-
|
1
|
|
ความเร็ว
|
รอบต่อนาที
|
0~5000
|
|
กำลังไฟฟ้าออก
|
กิโลวัตต์
|
5.5/7.5
|
|
ช่วงการเคลื่อนที่
|
มม
|
150
|
|
ความเร็วในการป้อน
|
um/s
|
0.01~100
|
|
ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า
|
มม/นาที
|
300
|
|
ความละเอียด
|
อืม
|
0.1
|
|
แกนชิ้นงาน
|
ประเภท
|
-
|
ลูกปืน
|
ปริมาณ
|
-
|
1
|
|
ความเร็ว
|
รอบต่อนาที
|
0 ~ 300
|
|
ชนิดดูดติด
|
-
|
เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก
|
|
วิธีดูดเวเฟอร์
|
-
|
การดูดด้วยแรงดูด
|
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์
|
-
|
คู่มือ
|
|
หน้าที่อื่น ๆ
|
การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์
|
-
|
-
|
การทำความสะอาดเวเฟอร์
|
-
|
-
|
|
การทำความสะอาดคัพดูด
|
-
|
-
|
|
ใบเจียร
|
มม
|
φ300
|
|
ออนไลน์
การวัด |
ช่วงการวัด
|
อืม
|
0~1800
|
ความละเอียด
|
อืม
|
0.1
|
|
ความแม่นยำในการทำซ้ำ
|
อืม
|
±0.5
|
|
การแปรรูป
ความแม่นยำ |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV)
|
อืม
|
≤3
|
ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW)
|
อืม
|
±3
|
|
ความขรุขระของผิว (Ry)
|
อืม
|
0.13(2000#finish)
|
|
ลักษณะ
|
การแต่งสีลักษณะ
|
อืม
|
ลวดลายส้ม
|
มิติ(กว้าง×ลึก×สูง)
|
มม
|
790×2170×1830
|
|
น้ำหนัก
|
กิโลกรัม
|
1800
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved